JP5511794B2 - 気相反応装置 - Google Patents
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Description
SiCl4+H2→SiHCl3+HCl (1)
この反応は、熱平衡気相反応であり、ガス化したテトラクロロシランと水素からなる原料ガスを約700〜1400℃の高温に加熱することにより正反応が起こり、トリクロロシランが得られる。
反応室の出口ガス温度が低下してしまう問題があった。
また、反応生成ガスの冷却を急速に行えないため、生成したトリクロロシランがテトラクロロシランに逆反応してしまう虞があり、高い反応収率が得られないという問題もある。
本発明の他の目的は、伝熱効率を高く保つ気相反応装置を提供することにある。
本発明の更なる目的は、逆反応等をできるだけ防止して高い反応収率を達成することができる気相反応装置、特にクロロシランと水素の高温気相反応に適した反応装置を提供することにある。
流入口から所定の流入流速で供給される複数種の原料ガスを気相反応させて流出口から反応生成ガスとして排出する反応容器と、
反応容器に付設されて反応容器の内部を加熱する加熱手段と、
反応容器の内部に配設されてガスの流路を絞ってガス流速を高める伝熱部材とを具備してなる気相反応装置が提供される。
このような構成とすることによって、ガス流の流れが反応容器の下部の流入口から上部側の流出口に流れていく間に十分に混合されて化学反応が促進され、かつ対流伝熱等による伝熱量が増加する。
かかる構成とすることによって、加熱手段から発生された熱を装置外部に逃がすことを極力防止することができ、また反応容器の加熱を極力均一に行わせることができる。
ここで、原料ガスには、テトラクロロシランと水素以外の化学種が含まれていてもよく、また他の系からの循環液等も蒸発させて併せて供給されてもよい。また、反応生成ガスには、トリクロロシランと塩化水素以外の化学種、例えば未反応の原料成分やヘキサクロロジシラン等の高沸点物質、ジクロロシラン等の低沸点物質等々が含まれうる。
かかる反射部材は、反応生成ガスの流れが当たるとこれを反射させ、反応生成ガスの流れを流出口に向け得る部材であれば、如何なるものでも構わないが、加熱手段が反応容器の内部を加熱する結果、反応容器の内部に配設されている反射部材自体も加熱され、反応容器内のガス流にその熱を移動させる伝熱部材であるのが好ましい。よって、反射部材は、好ましくは反応生成ガスの流れを受けて反射させ流れを流出口へ向ける板材であって、熱移動に適した材料から構成され、例えばカーボン製の板状体が好適に利用できる。
かかる気相反応装置では、反射部材により反応容器中のガス流への伝熱効率を更に高めることができ、高い反応収率を達成することができる。
このような構成によって、反応生成ガスを可能な限り瞬時に冷却して平衡を凍結し、逆反応が起こるのを極力防止することができる。
すなわち、本発明の一態様では、
流入口から所定の流入流速で供給される複数種の原料ガスを気相反応させて流出口から反応生成ガスとして排出する反応容器と、
反応容器に付設されて反応容器の内部を加熱する加熱手段と、
反応容器の内部に配設されてガスの流路を絞ってガス流速を高める伝熱部材と
反応容器に接続されて反応容器の流出口から導出される反応生成ガスを急冷する急冷装置と
を具備してなる気相反応装置が提供される。
11 収容容器
11a 胴部
11b 天蓋部
11c 底板部
11d 支持部材
11e,11f 貫通孔
12 反応容器
12a 流入口
12b 流出口
13 ヒータ(加熱手段)
13a 発熱体
13b 電極
14 急冷塔(急冷装置)
15 外筒容器
16a,16b 断熱煉瓦層,断熱材層(断熱層)
17 円筒体(筒状体)
18 底板部材(底部)
19 天蓋部材(天板部)
20 流入管
21 抜き出し管
22 塔本体
23 スプレー装置
24 反応生成ガス導入管
25 多孔板(伝熱部材)
25a 孔部
26 スペーサ部材
図1に示す実施形態では、気相反応装置10は、円筒状の収容容器11と、収容容器11の内部に収容された反応容器12と、収容容器11の内部に収容されると共に反応容器12に付設されて反応容器12の内部を加熱するヒータ(加熱手段)13と、反応容器12に接続された急冷塔(急冷装置)14とを具備する。
収容容器11の内部にはアルゴン等の不活性ガスが充填され、反応容器12の周りと上部には不活性ガスが存在しており、ヒータ13が印加されると、発熱体13aが加熱され、不活性ガスと共に反応容器12が外周及び上方から例えば1300℃程度に加熱される構成とされている。
・通過するガスの流速を2m/s以上とする多孔部25aを有するもの
・25%以下の開孔率を有するもの
・反応容器12の内壁との間のクリアランスが、反応容器12の内壁直径の6/1000〜50/1000の範囲にあるもの
・孔部の孔径が反応容器12の内壁直径の25/1000以下であり、孔数が開孔率を25%以下とする数であるもの。
・多孔板の厚さt は10mm≦t≦60mmが好ましく、製作加工上問題が無ければこの限りではない。
ここで、多孔板の開孔率とは、多孔板の孔部を含む平面視における総面積に対する孔部横断面積の総計の割合であり、クリアランスとは、多孔板の外縁端面と反応容器の内壁面との距離である。
更に、カーボンは、反応容器内に供給される水素や、水素の燃焼により生成する水によって、以下に示すように、組織の減肉または脆化を受けてしまう。
C+2H2→CH4
C+H2O→H2+CO
C+2H2O→2H2+CO2
これを防止するために、上記カーボン製の部材の表面には炭化ケイ素被膜が形成されるのが好ましい。
蒸発缶でガス化されたテトラクロロシランと水素の混合ガスは流入口12aから所定の導入流速で反応容器12中に導入される。反応容器12は、ヒータ13によって外部から加熱されるが、ヒータ13は反応容器12の外部に周方向に等間隔に配設され、収容容器11内にはアルゴンガス等の不活性ガスが充填されているので、反応容器12の外周面が比較的均一に加熱される。ヒータ13から輻射伝熱によって熱が反応容器12の外面に到達し(図2(a)参照)、反応容器12全体が加熱されると、反応容器12はカーボン製であるため、反応容器12の壁体では、その外表面から内表面に向けて伝導伝熱によって効率的に熱が反応容器12内壁表面へと伝わり、円筒体17の内壁表面が高温になり(図2(b)参照)、反応容器12の内部が輻射伝熱等によって約700〜1400℃の高温に加熱される。そして、反応容器12内を流れるガス流に対流伝熱によってその熱が伝わり、ガス流が加熱されると同時に、反応容器12の円筒体17の内壁表面から多孔板25に向けて輻射伝熱が生じ、多孔板25が加熱される(図2(c)参照)と共に、多孔板25からの熱が、多孔板25にぶつかり又は多孔板25の孔部25aを流通するガス流に伝わっていく。また原料ガスと反応生成ガスが入り交じって流れ、多孔板25の孔部25a周辺では対流伝熱が生じ、これによってもガスが加熱される(図2(d)参照)。このように加熱される多孔板25が反応容器12内に配置されているので反応容器12内における伝熱面積が増加しまた対流伝熱も生じる結果、ガス流への伝熱量が高まり、また多孔板25の孔部25aをガス流が通過する際にガス流の流速が高まるので、多孔板25の孔部25a付近での伝熱効率が高まる。このようにして、反応容器12内を流れるガス流が効率よく加熱され、式(1)の熱平衡反応が正方向に進行し、導入された原料ガスがトリクロロシランと塩化水素を主成分とする反応生成ガスに転換され、流出口12bから抜き出し管21を介して急冷塔14に導かれる。
また、反応容器12の流出口12bに抜き出し管21を設け、急冷塔14に接続したので、多孔板25の効果も相俟って、反応生成ガスは抜き出し管21から抜き出される状態では十分に加熱された状態にあり、この状態から急冷塔14において反応生成ガスを瞬時に冷却するので、平衡反応が凍結され、逆反応が効果的に防止される。
<伝熱量に対する多孔板の厚みの影響>
次の反応装置において多孔板の設置効果に対する多孔板の厚みの影響を検証した。
収容容器:
外筒容器:SUS304製、19mm厚
断熱材層:アルミナ製断熱材、29mm厚
断熱煉瓦層:アルミナ製煉瓦、500mm厚
不活性ガス層:アルゴン、163mm層
反応容器:
カーボン製円筒状反応器、100mm厚
円筒部内径:750mm
先ず40mmの厚みの基準多孔板を、反応容器内の円筒体内部に上下に間隔をあけて、スペーサ部材を用いて水平に配置していった。また反応装置のガス入口、ガス出口、胴部中央部等に適宜熱電対を設置した。
この状態で、ヒータを印加して反応容器を1300℃まで加熱した後、反応装置にテトラクロロシランと水素(モル=1:2)の混合ガスを1513kg/hで供給し、0.1MPaGで反応を行わせてトリクロロシランを生成した。そして、反応過程中におけるガス温度:1124.9℃、出口ガス温度等の各温度測定点の温度を測定し、反応容器全体における伝熱量を算定したところ、8760kcal/hであった。
同様にして、20mmの厚みの多孔板1及び60mmの厚みの多孔板2について操作を繰り返して、測定温度から伝熱量を算定した。
この結果、次表に示すような結果が得られた。
これらの結果から分かるように、基準多孔板に対して厚みを1.5倍にした多孔板2では、伝面積が25%上昇しており、基準多孔板に対して厚みを1/2にした多孔板1では、伝面積当たりの伝熱量が26%上昇した。これらの結果から、多孔板は薄くし、枚数を増やせば、伝熱量が増加することが期待できることが分かる。
<伝熱量に対する多孔板のクリアランスの影響>
用いた多孔板を代えた以外は、実施例1に記載したものと同じ反応装置、操作条件を用いて、多孔板の設置効果に対する多孔板と反応容器の内壁との間のクリアランスの影響を検証した。
外径が746mm、740mm、736〜710mmと様々で、厚みが40mmの円板状の多孔板(順に多孔板3、基準多孔板、多孔板4〜7)をそれぞれ複数枚製作した。各多孔板は、孔径5mmの多数の孔部が同一パターンで形成され、所定位置にスペーサ部材に固定するための複数の凹所を備えたカーボン製のものであった。
先ず外径が740mmの基準多孔板を、反応容器内の円筒体内部に上下に間隔をあけて、配置した。このときの多孔板と反応容器内壁間のクリアランスは5mmであった。この状態で、トリクロロシランの生成反応を行わせ、反応過程中における入口ガス温度、出口ガス温度等の各温度測定点の温度を測定し、反応容器全体における伝熱量を算定したところ、8760kcal/hであった。
同様にして、外径が746mm、736mm、730mm、720mm、710mm(クリアランスで2、7、10、15、20mm)の多孔板3〜7をそれぞれ設置し、操作を繰り返して、測定温度から伝熱量を算定した。
この結果、次表に示すような結果が得られた。
これらの結果から分かるように、多孔板のクリアランスの最適値は10mmであり、このときに伝熱量は最大となる。これにより、伝熱係数、反応容器外表面からの伝熱量の増加により、伝熱量は5%上昇する。
<伝熱量に対する多孔板の孔径・孔数の影響>
用いた多孔板を代えた以外は、実施例1に記載したものと同じ反応装置、操作条件を用いて、多孔板の設置効果に対する孔径・孔数の影響を検証した。
孔径、孔数、開孔率を変更した3種類の多孔板を製作した。先ず、第1の多孔板は基準多孔板で、孔径15mmφ、孔数504個、開孔率20.7%、第2の多孔板(多孔板8)は、孔径15mmφ、孔数1024個、開孔率42.1%のものであり、第3の多孔板(多孔板9)は、孔径10.5mmφ、孔数1024個、開孔率20.7%のものであった。
各多孔板を、反応容器内の円筒体内部に上下に間隔をあけて配置し、この状態で、トリクロロシランの生成反応を行わせ、反応過程中における入口ガス温度、出口ガス温度等の各温度測定点の温度を測定し、反応容器全体における伝熱量を算定した。
得られた結果を表3に示す。
Claims (8)
- 流入口から所定の流入流速で供給される複数種の原料ガスを気相反応させて流出口から反応生成ガスとして排出する反応容器と、
反応容器に付設されて反応容器の内部を加熱する加熱手段と、
反応容器の内部に配設されてガスの流路面積を絞ってガス流速を高める伝熱部材とを具備し、
反応容器が円筒体であり、伝熱部材が反応容器の内壁との間に反応容器の内壁直径の6/1000〜50/1000の範囲のクリアランスをあけて配設された円板状の多孔板である気相反応装置。 - 反応容器が、上下方向に延び、下部側の流入口から上部側の流出口に至るガス流路を形成する筒状体からなり、
伝熱部材が、反応容器の内部に、筒状体を略水平方向に横断し上下方向に間隔をあけて配設された複数の多孔板からなる請求項1に記載の気相反応装置。 - 伝熱部材が、25%以下の開孔率を有する多孔板である請求項1又は2に記載の気相反応装置。
- 多孔板の孔部の孔径が反応容器の内壁直径の25/1000以下である請求項3に記載の気相反応装置。
- 複数の多孔板が上下方向に間隔をあけて配設され、上下に隣接する各多孔板は、孔部が互いに偏心位置に形成されてなる請求項2から4の何れか一項に記載の気相反応装置。
- 伝熱部材が、表面が炭化ケイ素被覆されたカーボン製の多孔板である請求項2から5の何れか一項に記載の気相反応装置。
- 金属製の外筒容器と外筒容器に内張りされた断熱層とを具備し内部に不活性ガスが封入された収容容器に反応容器と加熱手段が収容されてなる請求項1から6の何れか一項に記載の気相反応装置。
- 複数種の原料ガスが、テトラクロロシランと水素を含み、反応生成ガスがトリクロロシランと塩化水素を含む請求項1から7の何れか一項に記載の気相反応装置。
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