JP2011025284A - 銅または銅合金材およびその製造方法、並びに半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面粗さが算術平均粗さ(Ra)で0.1μm以下、かつ最大高さ(Rz)で1μm以下であり、さらに材料表面にロールスクラッチが存在しない銅または銅合金材を製造する。仕上げ圧延として、フィルムラッピング処理した、Raで0.1〜0.05μmの表面粗さを有するロールを用いて、圧延量を10μm以上100μm以下の範囲で圧延を行い、製造する。
【選択図】図2
Description
本発明の実施の形態に係る銅または銅合金材は、表面粗さが算術平均粗さ(RaC)で0.1μm以下、かつ最大高さ(Rz)で1μm以下であり、さらに材料表面のロールスクラッチが当該表面に存在しないことを特徴とする。
上記本発明の実施の形態に係る銅または銅合金材は、仕上げ圧延として、フィルムラッピング処理をした、算術平均粗さ(RaR)で0.1〜0.05μmの表面粗さを有するロールを用いて、圧延量を10〜100μmの範囲で圧延を行うことにより製造される。
仕上げ前圧延を行った圧延材を用いて仕上げ圧延を実施する。仕上げ圧延の圧延量は10μm以上100μm以下とする。圧延量とは仕上げ圧延にて加工される圧延量の総量であり、パス数は規定しない。
上記の本発明の実施の形態によれば、下記の効果を奏する。
本発明の実施例として、以下のように試料No.1を製造した。
次に、実施例とは異なる製造条件の比較例を挙げて説明する。
得られた実施例および比較例の各試料について、株式会社東京精密製の触針式表面粗さ測定器を用いて、JIS B0651−1996に基づき、表面粗さを測定した。得られたプロファイルを基に、算術平均粗さ(RaC)および最大高さ(Rz)を算出した(JIS B0601−2001)。
Claims (4)
- 表面粗さが算術平均粗さ(Ra)で0.1μm以下、かつ最大高さ(Rz)で1μm以下であり、さらに材料表面のロールスクラッチのないことを特徴とする銅または銅合金材。
- 仕上げ圧延として、フィルムラッピング処理した、算術平均粗さ(Ra)で0.1〜0.05μmの表面粗さを有するロールを用いて、圧延量を10μm以上100μm以下の範囲で圧延を行うことを特徴とする銅または銅合金材の製造方法。
- 請求項2に記載の製造方法により製造された銅または銅合金材であって、材料表面のロールスクラッチのないことを特徴とする銅または銅合金材。
- 表面に2層又は3層構造のめっきが施された請求項1又は請求項3に記載の銅または銅合金材をリードフレーム材として備えることを特徴とする半導体パッケージ。
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