JP2011014781A - 集積回路の試験に用いるテストチップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査体の電気試験のための信号処理回路130と、電気信号の受け渡しをする回路132とを含むテストチップを使用する。信号処理回路130は、外部供給パターン情報を基に、信号を発生するフォーマッタ134と、信号を基に被検査体駆動信号を発生するドライバー136と、被検査体からの応答信号を受けて、被検査体不良信号を受け渡し回路132に出力する比較回路138とを含む。受け渡し回路132は、レイト・ジェネレータ144と、不良セルを特定して、外部に出力するフェイル・キャプチャー・コントロール146と、基準試験周波数信号を基に、タイミング信号を発生するタイミング・ジェネレータ148と、パターン情報を外部から読み出すためのアドレス信号外部に出力するパターン・ジェネレータ150とを備える。
【選択図】図16
Description
パルス信号
S3 駆動信号
S4 応答信号
S5 不良信号
S6 特殊試験信号
S8 アドレス信号
S10 基準試験周波数信号
S12 タイミング信号
VOH H基準信号
VOL L基準信号
10 試験装置
12 多数の被検査体が形成された半導体ウエーハ
20 支持ユニット
22 検査ステージ
24 カード組立体
26 外部装置
28 コンピュータ
34 支持ベース
40 チャックトップ
42 ステージ移動機構
44 接触子
46 チップユニット
48 プローブユニット
50,170 接続ユニット
52,54 上下の結合ユニット
56 テストチップ
58 チップ支持体
66,70 コネクタ
78 プローブ支持体
88 ピン支持体
94 仮想軸線
Claims (6)
- 被検査体の電気試験のための試験信号を発生すると共に、被検査体からの応答信号を受けるテストチップであって、
前記試験信号発生しかつ前記応答信号を受けて処理する少なくとも1つの信号処理回路と、該信号処理回路及び外部に対する電気信号の受け渡しをする受け渡し回路とを含み、
前記信号処理回路は、外部より供給されるパターン情報を基に、真理値1及び0のパルス信号を発生するフォーマッタと、前記パルス信号を基に被検査体を駆動させる駆動信号を発生する複数のドライバーと、被検査体からの応答信号を受けて、被検査体の中のセルが不良であることを表す不良信号を前記受け渡し回路に出力する複数の比較回路とを含み、
前記受け渡し回路は、基準試験周波数信号を発生するレイト・ジェネレータと、前記不良信号を基に、不良セルを特定して、外部に出力するフェイル・キャプチャー・コントロールと、前記基準試験周波数信号を基に、該基準試験周波数信号に対応したタイミング信号を発生するタイミング・ジェネレータと、前記パターン情報を外部から読み出すためのアドレス信号外部に出力するパターン・ジェネレータとを備える、テストチップ。 - 前記信号処理回路及び前記受け渡し回路は、外部のコンピュータに接続可能であり、また外部から電力を受けて作動する、請求項1に記載のテストチップ。
- 前記信号処理回路は、さらに、被検査体から該信号処理回路に入力する過電圧から該信号処理回路を保護するクランプ/ロード回路を備える、請求項1及び2のいずれか1項に記載のテストチップ。
- 前記信号処理回路は、さらに、被検査体の入出力端子の電圧・電流を測定する定電圧及び定電流測定回路を備える、請求項1から3のいずれか1項に記載のテストチップ。
- 前記比較回路は、前記応答信号をH側の基準信号と比較する第1のアナログコンパレータと、前記応答信号をL側の基準信号と比較する第2のアナログコンパレータと、両アナログコンパレータの出力信号を基に前記不良信号を出力する不良信号発生回路とを備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のテストチップ。
- 前記不良信号は、前記被検査体中の不良セルの座標位置を特定する情報を含む、請求項5に記載のテストチップ。
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