JP2011014327A - コネクタ、及びコネクタを備える半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の挿入過程において必要とされる挿入力を低減すると同時に、接触部を電子部品に押し付ける力を確保することのできるコネクタ、及びコネクタを備える半導体試験装置の提供。
【解決手段】コネクタは板バネ状の第１端子２０を備えている。第１端子２０は可動部２２を有し、当該可動部２２は、ケーブルアッセンブリの進路Ｃ上に位置する接触部２１を先端側に有している。また、第１端子２０は、可動部２２の基部側に位置し、その移動が規制された固定部２３を備え、可動部２２は、固定部２３を支点として挿入孔１１ａの側面１１ｂの側に傾くように弾性変形可能に構成されている。そして、可動部２２は、接触部２１と固定部２３との間に、挿入孔１１ａの側面１１ｂから離れて位置する当接部２４を有し、当該当接部２４は、可動部２２が挿入孔１１ａの側面１１ｂの側に傾く途中で挿入孔１１ａの側面１１ｂに当るように設けられている。
【選択図】図９

Description

本発明は、板バネ状の端子を有するコネクタ、及び当該コネクタを備える半導体試験装置に関し、特に、電子部品をコネクタへ挿入する際に要する力を低減するとともに、端子を電子部品の導体に押し付ける力を確保するための技術に関する。

従来、板バネ状の端子を有するコネクタが利用されている。特許文献１のコネクタは、接続対象となる電子部品（回路基板やケーブルの端子など）が挿入可能な挿入孔が形成されたハウジングと、挿入孔に挿入された端子とを有している。端子は電子部品の挿入方向に伸びる板バネ状であり、その先端側に電子部品の進路上に位置する接触部を有している。電子部品の挿入過程では、電子部品の先端部が接触部を押す結果、接触部が電子部品の進路から退くように端子が弾性変形する。

電子部品の挿入過程においては、電子部品の先端部が接触部を押しながら必要量だけ挿入されるときに、端子の弾性力に起因する反力（挿入方向と反対方向の力であって、主に端子の弾性力と、端子と電子部品との間の摩擦力）が発生する。そのため、その反力に抗する力（以下、挿入力）で電子部品をコネクタに押し込むことが必要となる。そして、電子部品がコネクタに押し込まれ、電子部品の先端部が接触部の位置を通過した後、接触部は端子の弾性力によって電子部品の表面に形成された導体に押し付けられる。

特開２００６−１６４９４６号公報

しかしながら、上記従来のコネクタでは、必要な挿入力を低減すると同時に、接触部を電子部品の導体に押し付ける力（以下、接触力）を確保するのが難しかった。つまり、必要とされる挿入力を低減するために、端子の弾性力を下げると、接触力も低下してしまい、接触不良を生じる可能性が高くなる。一方、端子の弾性力を増すと、弾性力に起因する反力も大きくなり、必要とされる挿入力も大きくなる。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、電子部品の挿入過程において必要とされる挿入力を低減すると同時に、十分な接触力を確保することのできるコネクタ、及び半導体試験装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るコネクタは、接続対象となる電子部品の挿抜方向に延伸するように配置された板バネ状の端子と、前記端子を収容するとともに前記電子部品が挿入可能な挿入孔が形成されたハウジングと、を備える。前記端子は可動部と固定部とを有する。前記可動部は、前記挿入孔における前記電子部品の進路上に位置する接触部を先端側に有し、当該接触部から、前記進路から離れて位置する前記挿入孔の側面に向かって伸びている。前記固定部は前記可動部の基部側に位置し、その移動が規制されている。前記可動部は、前記固定部を支点として前記挿入孔の側面の側に傾くように弾性変形可能に構成されている。また、前記可動部は、前記接触部と前記固定部との間に、前記挿入孔の側面から離れて位置し、前記可動部が前記挿入孔の側面の側に傾く途中で前記挿入孔の側面に当るように設けられた当接部を有する。

また、本発明に係る半導体試験装置は、前記コネクタが取り付けられた回路基板を有する。

本発明によれば、電子部品が接触部に当った当初は、固定部を支点として可動部を弾性変形させることができる。そして、可動部の弾性変形の途中からは、当接部を支点として可動部を弾性変形させることができる。当接部は固定部と接触部との間に位置しているので、当接部を支点とする弾性変形による端子の弾性力を、固定部を支点とする弾性変形による端子の弾性力に比べて大きくできる。その結果、電子部品の挿入過程において必要とされる挿入力を低減すると同時に、十分な接触力を確保し易くなる。

また、本発明の一態様では、前記コネクタは、前記進路を挟んで前記端子と向き合う板バネ状の第２の端子をさらに備えてもよい。前記第２の端子は第２の可動部と第２の固定部とを有し、前記第２の可動部は、前記電子部品の進路上に位置する第２の接触部を先端側に有し、当該第２の接触部から、前記挿入孔の側面に向かって伸び、前記第２の固定部は、前記第２の可動部の基部側に位置し、その移動が規制されてもよい。そして、前記接触部の位置と前記第２の接触部の位置は、前記電子部品の挿入方向において互いにずれていてもよい。この態様によれば、前記端子に対して必要な挿入力が最大となる時期と、前記第２の端子に対して必要な挿入力が最大となる時期とを異ならせることができる。その結果、必要とされる挿入力の合計の最大値を低減できる。

また、この態様では、前記第２の接触部の位置は、前記接触部の位置より前記挿入孔の奥側に位置し、前記接触部と前記第２の接触部は、それぞれ、前記電子部品の挿入方向とは反対方向に伸びるとともにそれらの間が広くなるように傾斜するガイド部を有してもよい。そして、前記第２の接触部の前記ガイド部の前記挿入方向に対する傾斜角は、前記接触部の前記ガイド部の前記挿入方向に対する傾斜角より小さくてもよい。こうすることによって、第２の端子について必要となる挿入力を、前記端子について必要となる挿入力より小さくでき、電子部品を円滑に挿入できる。

また、この態様では、前記第２の可動部は、前記第２の接触部と前記第２の固定部との間に第２の当接部を有し、当該第２の当接部は、前記挿入孔の側面から離れて位置し、前記第２の可動部が前記挿入孔の側面の側に傾く途中で前記挿入孔の側面に当るように設けられてもよい。この態様によれば、電子部品が第２の接触部に当った当初は、第２の固定部を支点として第２の可動部を弾性変形させることができる。そして、第２の可動部の弾性変形の途中からは、第２の当接部を支点として第２の可動部を弾性変形させることができる。第２の当接部は第２の固定部と第２の接触部との間に位置しているので、第２の当接部を支点とする弾性変形による第２の端子の弾性力を、第２に固定部を支点とする弾性変形による第２の端子の弾性力に比べて大きくできる。その結果、電子部品の挿入過程において必要とされる挿入力を低減すると同時に、第２の接触部の接触力を十分に確保し易くなる。

本発明に係るコネクタが取り付けられた回路基板を備える半導体試験装置の概略図である。 上記コネクタ及び当該コネクタに接続されるケーブルアッセンブリの斜視図である。 上記コネクタと、上記ケーブルアッセンブリの分解斜視図である。 上記ケーブルアッセンブリの斜視図である。同図（Ａ）は上記ケーブルアッセンブリの分解斜視図であり、同図（Ｂ）は図（Ａ）の破線Ｂで囲んだ部分の拡大図である。 図３に示すＶ−Ｖ線での断面図である。 本発明に係る上記コネクタの分解斜視図である。 図３に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線での断面図である。 本発明に係る上記コネクタが有する端子の斜視図である。 本発明に係る上記コネクタの拡大断面図である。 本発明に係る上記コネクタにケーブルアッセンブリが挿入される過程を示す断面図である。同図では、ケーブルアッセンブリの先端部が上記コネクタの第１端子の接触部に当っている様子が示されている。 本発明に係る上記コネクタにケーブルアッセンブリが挿入される過程を示す断面図である。同図では、ケーブルアッセンブリの先端部が第１端子の接触部の頂部を通過するとともに、第２端子の接触部に当っている様子が示されている。 本発明に係る上記コネクタにケーブルアッセンブリが挿入された後の様子を示す断面図であり、同図では、ケーブルアッセンブリの先端部が第２端子の接触部の頂部を通過した様子が示されている。 上記ケーブルアッセンブリの挿入に必要な挿入力の変化の例を示すグラフである。同図において線Ａは第１端子について必要な挿入力を示し、線Ｂは第２端子について必要な挿入力を示している。また、線Ｃは線Ａと線Ｂで示される挿入力の合計を示している。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態の例であるコネクタ１を搭載した半導体試験装置１０の概略図である。図２はコネクタ１及びコネクタ１に接続されるケーブルアッセンブリ６の斜視図であり、図３はコネクタ１とケーブルアッセンブリ６の分解斜視図である。

図１に示すように、半導体試験装置１０は、テストヘッド１０５と、テストヘッド１０５上に配置されるマザーボード１０４と、マザーボード１０４上に配置されるパフォーマンスボード（回路基板）１０３と、パフォーマンスボード１０３上に配置されるデバイスソケット１０２とを備えている。試験対象となる半導体１０１はデバイスソケット１０２に装着され、半導体１０１はデバイスソケット１０２を介してパフォーマンスボード１０３に接続される。パフォーマンスボード１０３の裏面には複数のコネクタ１が取り付けられている。コネクタ１には、後述する複数の端子２０，３０が設けられており、各端子２０，３０は、パフォーマンスボード１０３に形成された伝送線路と、デバイスソケット１０２に設けられた端子とを介して、半導体１０１の端子と電気的に繋がっている。マザーボード１０４の上面には複数のコネクタ８が取り付けられ、各コネクタ８にマザーボード１０４が収容する複数の同軸ケーブル７が接続されている（図２又は図３参照）。複数のコネクタ８は、それぞれパフォーマンスボード１０３に設けられたコネクタ１に対応する位置に保持されており、パフォーマンスボード１０３又はマザーボード１０４を上下方向に動かすことによって、複数のコネクタ８を、対応するコネクタ１に一度に嵌めることができる。なお、複数の同軸ケーブル７と、それらが接続されたコネクタ８とによって、ケーブルアッセンブリ６が構成されている。また、図２に示すように、コネクタ８には、当該コネクタ８をマザーボード１０４の上面に固定するための取付部８２が設けられている。取付部８２は例えば、ボルトやリベットによってマザーボード１０４に固定される。

マザーボード１０４の下面には複数のコネクタ１０６が保持されている。各コネクタ１０６に複数の同軸ケーブル７の下端が接続されている。テストヘッド１０５の上面には、コネクタ１０６に接続される複数のコネクタ１０７が設けられている。各コネクタ１０７にはテストヘッド１０５が収容する試験モジュール１０８が取り付けられている。試験モジュール１０８は伝送線路１１０を介して試験装置本体１０９に接続されている。試験モジュール１０８は、試験装置本体１０９からの指示に応じて試験信号を発生し、当該試験信号は同軸ケーブル７、コネクタ１、パフォーマンスボード１０３等を介して半導体１０１に入力される。

上述したように、この例の半導体試験装置１０には、コネクタ１に接続される電子部品としてケーブルアッセンブリ６が設けられている。図４（Ａ）はケーブルアッセンブリ６の分解斜視図であり、同図には、ケーブルアッセンブリ６を構成する複数の同軸ケーブル７と、コネクタ８とが示されている。図４（Ｂ）は図４（Ａ）の破線Ｂで囲んだ部分の拡大図である。図５はケーブルアッセンブリ６の断面図である。

同軸ケーブル７は、信号線と、当該信号線を囲む管状のグランド線とを有している。図４又は図５に示すように、同軸ケーブル７の端部に取り付けられたケーブル端子７０は、信号線に接続された信号端子７１と、グランド線に接続されたグランド端子７２とによって構成されている。ここで説明する例では、信号端子７１は上方に伸びる板状の接触プレート７１ａを有している。グランド端子７２は、グランド線と信号線とを囲むよう湾曲した半円筒状をなし、内面にグランド線が取り付けられた基部７２ｃを有している。また、グランド端子７２は、基部７２ｃから上方に伸びる細長い板状の接触プレート７２ａを有している。接触プレート７１ａ，７２ａは互いに隣り合うように配置されている。また、同軸ケーブル７は上方に伸びる細長い板状のベース７３を有し、接触プレート７１ａ，７２ａはベース７３上に配置されている。

コネクタ８には、上下方向に伸びる複数の挿入孔８ａが形成されている。挿入孔８ａは下方に向かって開いており、ケーブル端子７０は下方から挿入孔８ａに挿入されている。挿入孔８ａの奥部には、コネクタ８を貫通する貫通孔８ｂが形成されている。ベース７３と、接触プレート７１ａ，７２ａは、この貫通孔８ｂを通って上方に突出する。コネクタ８は貫通孔８ｂの縁から上方に伸びる突出部８１を有している。貫通孔８ｂを通過したベース７３と接触プレート７１ａ，７２ａは、この突出部８１に沿って配置される。

この例では、図５に示すように、前後方向（Ｙ１−Ｙ２方向）には複数（この例では４つ）の挿入孔８ａが並んでおり、隣接する２つの挿入孔８ａが対をなしている。突出部８１は、一対の挿入孔８ａの貫通孔８ｂの間から上方に伸びており、当該一対の挿入孔８ａに挿入されたケーブル端子７０のベース７３と接触プレート７１ａ，７２ａは、突出部８１を挟んで反対側に位置している。また、複数の挿入孔８ａは左右方向にも並んでいる。突出部８１は左右方向（Ｘ１−Ｘ２方向）に伸びる板状に形成されており、突出部８１上のケーブル端子７０も左右方向に並んでいる。そして、突出部８１と、当該突出部８１を挟む一対のベース７３と接触プレート７１ａ，７２ａとによって、コネクタ１に挿入されるケーブルアッセンブリ６の被挿入部６ａが構成されており、被挿入部６ａは、その両側面に、コネクタ１が有する端子２０，３０と接触する接触プレート７１ａ，７２ａを有している。なお、突出部８１の両側面には、各貫通孔８ｂを区切るように上下方向に伸びる壁部８１ａが形成されている。２つの壁部８１ａの間にベース７３と接触プレート７１ａ，７２ａとが配置されている（図３参照）。

被挿入部６ａには、先端に近づくにしたがって細くなるテーパが設けられている。詳細には、図４（ｂ）又は図５に示すように、ベース７３の先端部にはテーパ７３ａが形成されている。また、信号端子７１は、接触プレート７１ａの先端部にテーパ７１ｂを有し、グランド端子７２は、接触プレート７２ａの先端部にテーパ７２ｂを有している。テーパ７３ａとテーパ７１ｂは被挿入部６ａの先端からこの順に並んでいる。同様に、テーパ７３ａとテーパ７２ｂも被挿入部６ａの先端からこの順に並んでいる。これらテーパ７３ａ，７１ｂ及びテーパ７３ａ，７２ｂは、ケーブルアッセンブリ６の挿入方向に対して傾斜している。すなわち、突出部８１の左右に設けられたテーパ７３ａ，７１ｂ，７２ｂは、先端に近づくにしたがって、それらの間隔が小さくなるように傾斜しており、被挿入部６ａの先端側には、その先端に近づくにしたがって細くなっている。

コネクタ１について詳細に説明する。図６はコネクタ１の分解斜視図である。図７はコネクタ１の断面図である。図８はコネクタ１が有する第１端子２０及び第２端子３０の斜視図である。図９はコネクタ１の拡大断面図である。図１０乃至図１２は、コネクタ１にケーブルアッセンブリ６が挿入される過程を示す断面図である。図１０ではケーブルアッセンブリ６の先端部がコネクタ１の第１端子２０の接触部２１に当っている様子が示されている。図１１ではケーブルアッセンブリ６の先端部が第１端子２０の接触部２１の頂部２１ｂを通過するとともに、第２端子３０の接触部３１に当っている様子が示されている。図１２ではケーブルアッセンブリ６の先端部が第２端子３０の接触部３１の頂部３１ｂを通過した様子が示されている。

図６及び図７に示すように、コネクタ１は、ハウジング１１と、複数の板バネ状の第１端子２０及び第２端子３０と、を有している。ハウジング１１には、ハウジング１１を上下方向に貫通する複数の挿入孔１１ａが形成されている。第１端子２０と第２端子３０は挿入孔１１ａに収容され、ケーブルアッセンブリ６の挿抜方向（上下方向（Ｚ１−Ｚ２方向））に伸びるように配置されている。また、一対の第１端子２０と第２端子３０は互いに向き合うように、各挿入孔１１ａ内に配置されている。

複数の挿入孔１１ａは左右方向（Ｘ１−Ｘ２方向）に並び、各挿入孔１１ａは前後方向（Ｙ１−Ｙ２方向）で対向する側面１１ｂ，１１ｄと、隣接する２つの挿入孔１１ａを仕切る壁部１２とによって画定されている。挿入孔１１ａに挿入された第１端子２０と第２端子３０は左右方向において交互に並んでいる。また、複数の挿入孔１１ａは前後方向にも並んでいる。この例では、複数の挿入孔１１ａは左右方向に伸びる２つの列を構成している。後述するように、一対の第１端子２０と第２端子３０の固定部２３，３３はハウジング１１に対して固定され、第１端子２０と第２端子３０は、それらの可動部２２，３２が側面１１ｂ，１１ｄへ向けて弾性変形可能なようにハウジング１１に取り付けられている。

複数の挿入孔１１ａはケーブルアッセンブリ６の被挿入部６ａが挿入可能に形成されている。この例では、左右方向（Ｘ１−Ｘ２方向）において隣接する２つの複数の挿入孔１１ａの下部は繋がっており、挿入孔１１ａの下部に被挿入部６ａが挿入可能となっている。詳細には、隣接する２つの挿入孔１１ａの間にはそれらを仕切る壁部１２が設けられている。壁部１２には、ケーブルアッセンブリ６の挿入方向（上方（Ｚ１方向））に凹む凹部１２ａが形成されており、挿入孔１１ａは凹部１２ａを介して繋がっている。上述したように、被挿入部６ａは、左右方向に長い板状の突出部８１と、突出部８１の両側面に沿って配置される接触プレート７１ａ，７２ａとを有している。凹部１２ａには上下方向に伸びる一対の縁１２ｃ，１２ｃが設けられ、被挿入部６ａは縁１２ｃに沿ってハウジング１１内を進む。すなわち、凹部１２ａの縁１２ｃによって被挿入部６ａの進路Ｃが規定されている。

第１端子２０は、その先端側に、挿入孔１１ａにおける進路Ｃの中心線ＣＬに向かって膨らむように湾曲した接触部２１を有している。接触部２１は、挿入孔１１ａにおける進路Ｃ上に位置している。すなわち、接触部２１は、凹部１２ａの縁１２ｃよりも進路Ｃの中心線ＣＬ寄りに位置している。そのため、図１０に示すように、ケーブルアッセンブリ６の挿入過程においては、被挿入部６ａの先端部（ここではケーブル端子７０の先端部に設けられたテーパ７３ａ，７１ｂ）は接触部２１に当る。この例では、接触部２１はケーブルアッセンブリ６の挿入方向とは反対方向に伸びるガイド部２１ａを有している。このガイド部２１ａは、進路Ｃから離れるように伸び、挿入方向に対して角度θ１で傾斜している。ケーブルアッセンブリ６の挿入過程においては、被挿入部６ａの先端部は、まずこのガイド部２１ａに当り、進路Ｃから離れて位置する挿入孔１１ａの側面１１ｂ側に接触部２１を押す。

また、第１端子２０は、接触部２１を先端側に有する可動部２２を有している。可動部２２は、挿入孔１１ａの側面１１ｂに向かって、接触部２１から伸びている。すなわち、可動部２２は、挿入孔１１ａの奥側に向かって、ケーブルアッセンブリ６の挿入方向に対して斜めに伸びている。

第１端子２０は、可動部２２の基部側に固定部２３を有している。固定部２３は、ハウジング１１に対して固定され、その移動が規制されている。この例では、図８又は図９に示すように、固定部２３は、可動部２２より幅の広い板状であり、側面１１ｂに接するように当該側面１１ｂに沿って配置されている。また、固定部２３は、隣接する２つの挿入孔１１ａを仕切る壁部１２に挟まれ、当該壁部１２に対して引っ掛かっている。詳細には、固定部２３の左右の縁に係合部２３ａが形成されている。固定部２３は挿入孔１１ａに圧入され、係合部２３ａが壁部１２に引っ掛かっている。

上述したように第１端子２０は板バネ状であり、可動部２２は固定部２３を支点として挿入孔１１ａの側面１１ｂの側に傾くように弾性変形可能となっている。すなわち、図１０及び図１１に示すように、接触部２１が側面１１ｂに向かって進路Ｃ上の位置から退くように（すなわち、ケーブルアッセンブリ６の挿入方向に対して直交する方向に移動するように）、可動部２２は弾性変形可能となっている。接触部２１が、ケーブル端子７０のテーパ７３ａ，７１ｂによって押されたときには、可動部２２は固定部２３を支点として傾く。なお、この例では、可動部２２は、固定部２３の可動部２２側の端部２３ｂを支点として傾く。

可動部２２は、接触部２１と固定部２３との間に当接部２４を有している。図９に示すように、当接部２４は、可動部２２の自由状態（可動部２２に外力が作用していない状態）では、挿入孔１１ａの側面１１ｂから離れて位置している。この例では、当接部２４と固定部２３との間には段差が設けられており、この段差によって、当接部２４は固定部２３よりも進路Ｃの中心線ＣＬ側に位置し、当接部２４と側面１１ｂとの間に隙間が設けられている。この例では、側面１１ｂには進路Ｃ側に張り出す凸部１１ｃが形成されている。この凸部１１ｃと当接部２４との間に隙間が設けられている。当接部２４は、可動部２２の自由状態では、凸部１１ｃの表面と概ね平行に配置されている。

また、当接部２４は、可動部２２が側面１１ｂ側に傾く途中で、凸部１１ｃに当るように設けられている。すなわち、接触部２１が進路Ｃを退いた位置（図１１又は図１２で示される接触部２１の位置）に達するまでに、当接部２４が側面１１ｂに当るように、自由状態での当接部２４と凸部１１ｃとの間の距離が規定されている。そのため、図１０及び図１１に示すように、ケーブル端子７０の先端部（ここではテーパ７３ａ，７１ｂ）が接触部２１のガイド部２１ａに当ってから、ケーブル端子７０の先端部が接触部２１の頂部２１ｂの位置を通りすぎるまでの間に、当接部２４は側面１１ｂに当る。詳細には、図１０に示すように、テーパ７３ａ，７１ｂが接触部２１のガイド部２１ａに当った当初は、可動部２２が固定部２３の端部を支点として側面１１ｂ側に傾く。この時、当接部２４は側面１１ｂに近づくものの、未だ側面１１ｂから離れた位置に位置している。図１１に示すように、テーパ７３ａ，７１ｂが接触部２１の頂部２１ｂを通り過ぎ、接触プレート７１ａが接触部２１の頂部２１ｂの位置に達したときには、当接部２４は側面１１ｂに押し付けられる。そして、図１０に示す状態から図１１に示す状態に至る途中で、当接部２４が凸部１１ｃに当るように、自由状態での当接部２４と凸部１１ｃとの間の距離が規定されている。

可動部２２は当接部２４を支点として弾性変形可能に構成されている。そのため、当接部２４が側面１１ｂに当った後は、可動部２２は固定部２３に替えて当接部２４を支点として側面１１ｂ側にさらに傾く。そして、接触部２１の頂部２１ｂは、当接部２４を支点とする可動部２２の弾性力によって、接触プレート７１ａに押し付けられる。

当接部２４から接触部２１までの距離Ｌ２は、固定部２３の端部２３ｂから接触部２１までの距離Ｌ１より小さくなっている。その結果、当接部２４を支点とする可動部２２の弾性力は、固定部２３の端部２３ｂを支点とする可動部２２の弾性力より大きくなっている。そのため、テーパ７３ａ，７１ｂがガイド部２１ａに当った当初に可動部２２が発揮する弾性力より大きな弾性力で、接触部２１の頂部２１ｂは接触プレート７１ａに押し付けられる。

上述したようにコネクタ１は第２端子３０を有している。図９に示すように、第２端子３０は進路Ｃを挟んで第１端子２０と向き合うように配置されている。第２端子３０は、第１端子２０と同様に、その先端側に、進路Ｃ側に膨らむように湾曲した接触部３１を有している。この接触部３１も進路Ｃ上に位置している。そのため、図１１に示すように、ケーブルアッセンブリ６の挿入過程においては、被挿入部６ａの先端部（ここではケーブル端子７０の先端部に設けられたテーパ７３ａ，７２ｂ）は接触部３１に当る。特に、この例では、接触部３１は、ガイド部２１ａと同様に、進路Ｃから離れるように伸び挿入方向に対して角度θ２で傾斜したガイド部３１ａを有している。テーパ７３ａ，７２ｂは、まずガイド部３１ａに当る。なお、第１端子２０と第２端子３０は互いに向き合うように配置されており、ガイド部２１ａとガイド部３１ａは、それらの先端に近づくにしたがって、間隔が広くなるように傾斜している。

また、第２端子３０は、接触部３１を先端側に有する可動部３２を有している。可動部３２も、可動部２２と同様に、接触部３１から挿入孔１１ａの側面（第１端子２０が設けられた側面１１ｂとは反対側の側面）１１ｅに向かって伸びている。

第２端子３０は、可動部３２の基部側に、固定部３３を有している。この固定部３３も、固定部２３と同様に、ハウジング１１に対して固定され、その移動が規制されている。この例では、固定部３３は、可動部３２より幅の広い板状であり、側面１１ｅに沿って配置されている。また、固定部３３は、隣接する２つの壁部１２に挟まれ、当該壁部１２に対して引っ掛かっている。詳細には、図８に示すように、固定部３３の左右の縁に係合部３３ａが形成されている。固定部３３は挿入孔１１ａに圧入され、係合部３３ａが壁部１２に引っ掛かっている。

可動部３２は、可動部２２と同様に、固定部３３を支点として、挿入孔１１ａの側面１１ｅ側に傾くように弾性変形可能となっている。この例では、接触部３１のガイド部３１ａがテーパ７３ａ，７２ｂによって押されたときには、接触部３１が進路Ｃ上の位置から退くように、可動部３２は固定部３３の端部３３ｂを支点として傾く。

可動部３２は、接触部３１と固定部３３との間に当接部３４を有している。図９に示すように、当接部３４は、当接部２４と同様に、可動部３２の自由状態（可動部３２に外力が作用していない状態）では、挿入孔１１ａの側面１１ｅから離れて位置している。この例では、第１端子２０が設けられた側面１１ｅと反対側の側面１１ｅにも、進路Ｃ側に張り出す凸部１１ｄが形成されている。この凸部１１ｄと当接部３４との間に隙間が設けられている。

また、当接部３４は、当接部２４と同様に、可動部３２が側面１１ｅ側に傾く途中で、側面１１ｅ（この例では凸部１１ｄ）に当るように設けられている。そのため、図１１乃至図１２に示すように、ケーブル端子７０の先端部（ここではテーパ７３ａ，７２ｂ）が接触部３１のガイド部３１ａに当ってから、テーパ７３ａ，７２ｂが接触部３１の位置を通りすぎるまでの間に、当接部３４は凸部１１ｄに当る。可動部３２も、可動部２２と同様に、当接部３４を支点として弾性変形可能に構成されている。そのため、当接部３４が側面１１ｅに当った後は、可動部３２は固定部３３に替えて当接部３４を支点として側面１１ｅ側にさらに傾く。そして、接触部３１は、当接部３４を支点とする可動部３２の弾性力によって、接触プレート７２ａに押し付けられる。

なお、当接部３４から接触部３１までの距離Ｌ４は、当接部２４から接触部２１までの距離Ｌ２と等しくなっている。そのため、接触部２１と接触部３１は、概ね等しい力で接触プレート７１ａ，７２ａに押し付けられる。また、固定部２３の端部２３ｂから接触部２１までの距離Ｌ１は、固定部３３の端部３３ｂから接触部３１までの距離Ｌ３と等しくなっている。

図９に示すように、第１端子２０の接触部２１の位置と、第２端子３０の接触部３１の位置は、ケーブルアッセンブリ６の挿入方向において互いにずれている。この例では、第２端子３０の接触部３１は、接触部２１より挿入孔１１ａの奥側に位置している。詳細には、接触部３１の頂部３１ｂは、接触部２１の頂部２１ｂより挿入孔１１ａの奥側に位置している。そして、接触部３１の頂部３１ｂは、接触部２１の端部から伸びるとともに頂部２１ｂより側面１１ｂ側に位置する延伸部２２ａと向き合っている。

上述したように、ガイド部２１ａとガイド部３１ａは、それらの先端に近づくにしたがって、間隔が広くなるように傾斜している。この例では、ガイド部３１ａの挿入方向に対する傾斜角度θ２は、ガイド部２１ａの挿入方向に対する傾斜角度θ１より小さくなっている。そのため、ケーブルアッセンブリ６の挿入過程において、第１端子２０について必要な挿入力の上昇率よりも、第２端子３０について必要な挿入力の上昇率の方が低くなる。

図１３は挿入力の変化の例を示すグラフであり、同図において横軸はケーブルアッセンブリ６の位置を示し、縦軸は挿入力を示している。また、同図において線Ａは第１端子２０について必要な挿入力を示し、線Ｂは第２端子３０について必要な挿入力を示している。また、線Ｃは線Ａと線Ｂで示される挿入力の合計を示している。

同図の線Ａで示すように、被挿入部６ａのテーパ７３ａ，７１ｂが接触部２１のガイド部２１ａに当る位置Ｐ１までケーブルアッセンブリ６が挿入された時点から、挿入力は上昇し始める。この時点では、可動部２２が側面１１ｂ側に撓むときの弾性力に起因して発生する反力（挿入方向と反対方向の力）と、ガイド部２１ａとテーパ７３ａ，７１ｂとの摩擦力に抗する力の双方が挿入力として必要とされる。第１端子２０について必要な挿入力は位置Ｐ３で最大となる。接触プレート７１ａが接触部２１の頂部２１ｂに達する位置Ｐ４までケーブルアッセンブリ６が挿入された後は、接触プレート７１ａと接触部２１の頂部２１ｂとの摩擦に抗する力のみが、第１端子２０についての挿入力として必要とされる。そのため、位置Ｐ４より後では、位置Ｐ３での挿入力より小さな挿入力Ｆ１でケーブルアッセンブリ６を挿入できる。

また、線Ｂで示すように、第２端子３０について必要な挿入力は、テーパ７３ａ，７２ｂが接触部３１のガイド部３１ａに当る位置Ｐ２までケーブルアッセンブリ６が挿入された時点から、徐々に上昇し始める。この時点では、可動部３２が側面１１ｅ側に撓むときの弾性力に起因して発生する反力（挿入方向と反対方向の力）と、ガイド部３１ａとテーパ７３ａ，７２ｂとの摩擦力に抗する力の双方が挿入力として必要とされる。

上述したように、接触部３１のガイド部３１ａの挿入方向に対する傾斜角度θ２は、ガイド部２１ａの挿入方向に対する傾斜角度θ１より小さくなっている。そのため、第２端子３０について必要な挿入力は、第１端子２０について必要な挿入力より緩やかに上昇する。

第２端子３０について必要な挿入力は位置Ｐ５で最大となる。上述したように、接触部３１の頂部３１ｂは接触部２１の頂部２１ｂより挿入孔１１ａの奥側に位置している。そのため、第２端子３０について必要な挿入力が最大となる位置Ｐ５は、第１端子２０について必要な挿入力が最大となる位置Ｐ３より後（挿入孔１１ａの奥側）になる。特に、この例では、接触プレート７１ａが接触部２１の頂部２１ｂに達する位置Ｐ４より挿入孔１１ａの奥側に、位置Ｐ５が位置するように、頂部２１ｂと頂部３１ｂとの位置関係が規定されている。

また、接触部３１のガイド部３１ａの傾斜角度θ２は接触部２１のガイド部２１ａの傾斜角度θ１より小さく、また、頂部３１ｂの曲率は頂部２１ｂの曲率より大きい。そのため、第２端子３０の弾性力に起因して発生する反力（挿入方向と反対方向の力）は、第１端子２０の弾性力に起因して発生する反力に比べて小さい。その結果、第２端子３０について必要な挿入力の最大値（位置Ｐ５での挿入力）は、第１端子２０について必要な挿入力の最大値（位置Ｐ３での挿入力）より小さくなっている。

接触プレート７２ａが接触部３１の頂部３１ｂに達する位置Ｐ６までケーブルアッセンブリ６が挿入された後は、接触プレート７２ａとの頂部３１ｂとの摩擦に抗する力のみが、第２端子３０について必要な挿入力となるため、位置Ｐ５での挿入力より小さな挿入力Ｆ２でケーブルアッセンブリ６を挿入できる。

上述したように、第２端子３０について必要な挿入力が最大となる位置Ｐ５は、接触プレート７１ａが接触部２１の頂部２１ｂに達する位置Ｐ４より挿入孔１１ａの奥側に位置している。すなわち、第１端子２０について必要な挿入力が、接触プレート７１ａと接触部２１の頂部２１ｂとの摩擦に抗する力のみとなってから、第２端子３０について必要な挿入力が最大となる。そのため、線Ｃで示すように、位置Ｐ５での挿入力の合計は、位置Ｐ３での挿入力の合計より低くなっている。これによって、位置Ｐ５で挿入力の合計が最大となるコネクタに比べて、ケーブルアッセンブリ６を円滑にコネクタ１に挿入できる。

最後に、コネクタ１のパフォーマンスボード１０３への取付構造について説明する。図８に示すように、この例の第１端子２０と第２端子３０は、それぞれ、固定部２３，３３から上方に伸びる被押圧部２５，３５を有している。被押圧部２５，３５は、上方に伸びるとともに、上下方向に伸縮可能なように湾曲している。すなわち、被押圧部２５，３５は、それぞれ延伸部２５ａ，３５ａと、湾曲部２５ｂ，３５ｂとを有している。延伸部２５ａ，３５ａは、固定部２３，３３から挿入孔１１ａの中心線ＣＬに向かって伸びている。湾曲部２５ｂ，３５ｂは、延伸部２５ａ，３５ａから上方に伸びるとともに、それらの間が広がるように湾曲している。湾曲部２５ｂ，３５ｂの先端には、パフォーマンスボード１０３の裏面に対して向き合う接触部２５ｃ，３５ｃを有している。接触部２５ｃ，３５ｃがパフォーマンスボード１０３の裏面に形成された導体部（不図示）に押し付けられると、接触部２５ｃ，３５ｃの位置が下がるように被押圧部２５，３５は下方に撓む。なお、図６又は図７に示すように、コネクタ１は、ハウジング１１に加えて被押圧部２５，３５が挿入される挿入孔１９ａ，１９ａが形成されたハウジング１９を有している。

図６に示すように、ハウジング１１の外面には取付部１３が設けられている。この取付部１３は、例えば、リベットやボルトなどによってパフォーマンスボード１０３に取り付けられる。すなわち、取付部１３には、当該取付部１３を貫通する貫通孔が形成されており、リベット等はこの貫通孔に挿通されて、パフォーマンスボード１０３に固定される。これによって、被押圧部２５，３５はパフォーマンスボード１０３の裏面に押し付けられる。

なお、ハウジング１９は、ハウジング１１がパフォーマンスボード１０３に取り付けられたときには、パフォーマンスボード１０３とハウジング１１とによって挟まれる（図７参照）。また、ハウジング１９の外面にも取付部１９ｂが設けられている。この取付部１９ｂには、ハウジング１１をパフォーマンスボード１０３に取り付けるリベット等が通される貫通孔が形成されている。

以上説明したように、コネクタ１は、ケーブルアッセンブリ６の挿抜方向に延伸するように配置された板バネ状の第１端子２０を備えている。第１端子２０の可動部２２は、挿入孔１１ａにおけるケーブルアッセンブリ６の進路Ｃ上に位置する接触部２１を先端側に有し、当該接触部２１から、進路Ｃから離れて位置する挿入孔１１ａの側面１１ｂに向かって伸びている。また、第１端子２０は固定部２３を備え、可動部２２は、固定部２３を支点として挿入孔１１ａの側面１１ｂの側に傾くように弾性変形可能に構成されている。また、可動部２２は、接触部２１と固定部２３との間に、挿入孔１１ａの側面１１ｂから離れて位置する当接部２４を有している。当接部２４は、可動部２２が挿入孔１１ａの側面１１ｂの側に傾く途中で挿入孔１１ａの側面１１ｂに当るように設けられている。

このようなコネクタ１によれば、図１０乃至図１１で示したように、ケーブルアッセンブリ６が接触部２１に当った当初は、固定部２３を支点として可動部２２を弾性変形させることができる。そして、可動部２２の弾性変形の途中からは、当接部２４を支点として可動部２２を弾性変形させることができる。当接部２４は固定部２３と接触部２１との間に位置しているので、当接部２４を支点とする弾性変形による第１端子２０の弾性力は、固定部２３を支点とする弾性変形による第１端子２０の弾性力に比べて大きくできる。その結果、接触部２１から固定部２３までの距離を大きくし、接触部２１から当接部２４までの距離を小さくすることによって、接触部２１をケーブルアッセンブリ６の導体（ここでは接触プレート７１ａ）に押し付ける力を十分に確保しながら、ケーブルアッセンブリ６が接触部２１に当った時に発生する反力を低減できる。

なお、本発明は以上説明したコネクタ１に限られず、種々の変更が可能である。

以上の説明では、コネクタ１には同軸ケーブル７を有するケーブルアッセンブリ６が接続されていた。しかしながら、コネクタ１に接続される電子部品はケーブルアッセンブリ６に限られず、例えば、回路基板や、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）などの電子部品がコネクタ１に接続されてもよい。

また、以上の説明では、第１端子２０の当接部２４は、挿入孔１１ａの側面１１ｂに形成された凸部１１ｃに当っていたが、側面１１ｂには凸部１１ｃは形成されていなくてもよい。

また、凸部１１ｃの表面に当接部２４は当っていた。しかしながら、凸部１１ｃの角に当接部２４が当るように、凸部１１ｃ及び当接部２４が形成されてもよい。

また、以上の説明では、コネクタ１は半導体試験装置１０で用いられていた。しかしながら、コネクタ１は、その他の電子機器で用いられてもよい。

また、コネクタ１には一対の第１端子２０と第２端子３０とが設けられていた。しかしながら、コネクタ１には、第１端子２０又は第２端子３０のいずれか一方のみが設けられてもよい。

また、以上の説明では、第１端子２０は接触プレート７１ａに接触し、第２端子３０は接触プレート７２ａに接触していた。しかしながら、第１端子２０が接触プレート７２ａに接触し、第２端子３０は接触プレート７１ａに接触してもよい。

１ コネクタ、６ ケーブルアッセンブリ、６ａ 被挿入部、７ 同軸ケーブル、８ コネクタ、８ａ 挿入孔、８ｂ 貫通孔、１０ 半導体試験装置、１１ ハウジング、１１ａ 挿入孔、１１ｂ，１１ｅ 側面、１１ｃ，１１ｄ 凸部、１２ 壁部、１２ａ 凹部、１２ｃ 縁、１３ 取付部、１９ ハウジング、１９ａ 挿入孔、１９ａ 取付部、２０ 第１端子、２１ 接触部、２１ａ ガイド部、２１ｂ 頂部、２２ 可動部、２２ａ 延伸部、２３ 固定部、２３ａ 係合部、２３ｂ 端部、２４ 当接部、２５ 被押圧部、２５ａ 延伸部、２５ｂ 湾曲部、２５ｃ 接触部、３０ 第２端子、３１ 接触部、３１ａ ガイド部、３１ｂ 頂部、３２ 可動部、３３ 固定部、３３ａ 係合部、３３ｂ 端部、３４ 当接部、７０ ケーブル端子、７１ 信号端子、７１ａ 接触プレート、７１ｂ テーパ、７２ グランド端子、７２ａ 接触プレート、７２ｂ テーパ、７２ｃ 基部、７３ ベース、７３ａ テーパ、８１ 突出部、８１ａ 壁部、８２ 取付部、Ｃ 進路、ＣＬ 中心線、１０１ 半導体、１０２ デバイスソケット、１０３ パフォーマンスボード、１０４ マザーボード、１０５ テストヘッド、１０６ コネクタ、１０７ コネクタ、１０８ 試験モジュール、１０９ 試験装置本体、１１０ 伝送線路。

Claims (5)

1. 接続対象となる電子部品の挿抜方向に延伸するように配置された板バネ状の端子と、
   前記端子を収容するとともに前記電子部品が挿入可能な挿入孔が形成されたハウジングと、を備え、
   前記端子は、
   前記挿入孔における前記電子部品の進路上に位置する接触部を先端側に有し、当該接触部から、前記進路から離れて位置する前記挿入孔の側面に向かって伸びる可動部と、
   前記可動部の基部側に位置し、その移動が規制された固定部と、を備え、
   前記可動部は、前記固定部を支点として前記挿入孔の側面の側に傾くように弾性変形可能に構成され、
   前記可動部は、前記接触部と前記固定部との間に、前記挿入孔の側面から離れて位置し、前記可動部が前記挿入孔の側面の側に傾く途中で前記挿入孔の側面に当るように設けられた当接部を有する、
   ことを特徴とするコネクタ。
2. 請求項１に記載のコネクタにおいて、
   前記進路を挟んで前記端子と向き合う板バネ状の第２の端子をさらに備え、
   前記第２の端子は、
   前記電子部品の進路上に位置する第２の接触部を先端側に有し、当該第２の接触部から、前記挿入孔の側面に向かって伸びる第２の可動部と、
   前記第２の可動部の基部側に位置し、その移動が規制された第２の固定部と、を備え、
   前記接触部の位置と前記第２の接触部の位置は、前記電子部品の挿入方向において互いにずれている、
   ことを特徴とするコネクタ。
3. 請求項２に記載のコネクタにおいて、
   前記第２の接触部の位置は、前記接触部の位置より前記挿入孔の奥側に位置し、
   前記接触部と前記第２の接触部は、それぞれ、前記電子部品の挿入方向とは反対方向に伸びるとともにそれらの間が広くなるように傾斜するガイド部を有し、
   前記第２の接触部の前記ガイド部の前記挿入方向に対する傾斜角は、前記接触部の前記ガイド部の前記挿入方向に対する傾斜角より小さい、
   ことを特徴とするコネクタ。
4. 請求項３に記載のコネクタにおいて、
   前記第２の可動部は、前記第２の接触部と前記第２の固定部との間に、前記挿入孔の側面から離れて位置し、前記第２の可動部が前記挿入孔の側面の側に傾く途中で前記挿入孔の側面に当るように設けられた第２の当接部を有する、
   ことを特徴とするコネクタ。
5. 請求項１乃至４に記載のコネクタを備える半導体試験装置であって、
   前記コネクタが取り付けられた回路基板を有する、
   ことを特徴とする半導体試験装置。

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