JP2011014324A - コネクタ、ケーブルアッセンブリ、半導体試験装置、及びコネクタのハウジング - Google Patents

Abstract

【課題】コネクタの大型化を抑えつつ、信号伝送におけるノイズの発生を抑える。
【解決手段】コネクタは複数のケーブル端子３と、複数のケーブル端子３がそれぞれ挿入された互いに独立した複数の挿入孔１１ａが形成されたハウジングと、を備える。複数の挿入孔１１ａは前後方向と左右方向とに並ぶよう形成されている。グランド端子は、当該グランド端子の外面から外方に張り出す係合部を有している。挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して係合部が位置する方向は、前後方向及び左右方向の双方に対して傾斜している。
【選択図】図５

Description

本発明は、コネクタ、複数の同軸ケーブルとコネクタとによって構成されるケーブルアッセンブリ、ケーブルアッセンブリを備える半導体試験装置、及び、コネクタのハウジングに関し、特に、コネクタの大型化及びノイズの発生を抑制する技術に関する。

従来、複数の同軸ケーブルが接続されるコネクタが利用されている。特許文献１に開示されるコネクタのハウジングには、ケーブル端子が挿入される複数の挿入孔が形成され、それらは左右方向に並んでいる。ケーブル端子は、同軸ケーブルのグランド導体に接続されるグランド端子を含んでいる。グランド端子は同軸ケーブルの半径方向に張り出す板バネ状の係合部を有している。ケーブル端子がハウジングに挿入されると、係合部は、ハウジングの挿入孔の内面に引っ掛かり、これによってケーブル端子がハウジングに対して抜け止めされる。

特開２００８−２２６７３６号公報

係合部はグランド端子から張り出しているため、信号線に高周波信号が流れたときに係合部から電磁波が放出され易い。上記従来のコネクタでは係合部が上方に張り出しているため、同軸ケーブルを左右方向だけでなく上下方向にも並ぶよう配置した場合、係合部は、その上方に配置されるケーブル端子に向かって張り出すこととなり、係合部と上方のケーブル端子との距離が小さくなる。そのため、係合部から放出された電磁波が、上方のケーブル端子の信号伝送に伝播し、当該ケーブル端子を介した信号伝送にノイズを発生させる可能性がある。この点、ハウジングは通常、樹脂によって形成され、その誘電率は空気に比べて高いため、挿入孔間の距離、すなわちケーブル端子間の距離を大きくすることによって、電磁波の伝播が抑えられる。しかしながら、そのように挿入孔間の距離を大きくすると、コネクタが大型化する。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数のケーブル端子が挿入されるコネクタ、複数の同軸ケーブルとコネクタとによって構成されるケーブルアッセンブリ、ケーブルアッセンブリを備える半導体試験装置、及びコネクタのハウジングにおいて、コネクタの大型化及びノイズの発生を抑えることにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るコネクタは、同軸ケーブルのグランド導体を覆う形状のグランド端子を有する複数のケーブル端子と、前記複数のケーブル端子がそれぞれ挿入される互いに独立した複数の挿入孔が形成されたハウジングとを備える。前記複数の挿入孔は、前記ケーブル端子の挿入方向に対して直交する２つの方向であって、互いに直交する第１の方向と第２の方向とに並ぶよう形成されている。前記グランド端子は、その外面から外方に張り出すとともに、当該グランド端子の内側に向かって弾性変形可能な係合部を有する。前記ハウジングは、前記複数の挿入孔の内面に、前記係合部が引っ掛かる被係合部を有する。前記挿入孔の中心線に対して前記係合部が位置する方向は、前記第１の方向及び第２の方向の双方に対して傾斜している。

本発明に係るケーブルアッセンブリは前記コネクタを有し、前記複数のケーブル端子が端部に取り付けられた複数の同軸ケーブルを備える。また、本発明に係る半導体試験装置は前記ケーブルアッセンブリを有する。

本発明では、挿入孔の中心線に対して係合部が位置する方向は、互いに直交する第１の方向（例えば左右方向）及び第２の方向（例えば前後方向）の双方に対して傾斜しているので、係合部が中心線に対して第１の方向又は第２の方向に位置している場合に比べて、係合部と、他のケーブル端子との間に十分な距離を確保し易くなる。そのため、コネクタの大型化を抑えつつ、係合部から放出される電磁波が他のケーブル端子に伝播することを抑えることができ、信号伝送におけるノイズの発生を抑えることができる。

また、本発明の一態様では、前記ケーブル端子は、前記挿入方向に伸びる板状のベースをさらに備え、前記グランド端子は、前記グランド導体を覆うように形成されるとともに前記ベースと組み合わされて筒状をなすカバー部を備えてもよい。そして、前記複数の挿入孔の内面には前記ベースに沿う面が形成されてもよい。この態様よれば、ケーブル端子の挿入過程で、ベースが挿入孔の内面に沿って円滑にスライドするので、ケーブル端子の挿入を円滑化できる。

本発明の一態様では、前記グランド端子は、前記グランド導体を覆う半筒状のカバー部を含み、前記係合部は前記カバー部に形成され、隣接する２つの前記ケーブル端子の前記係合部は、それらが挿入される前記挿入孔の中心線に対して同じ方向に位置している。係合部から放出される電磁波は、アンテナ状に突出する部分によって受信され易い。この態様によれば、互いに隣り合う２つのケーブル端子の係合部が近接しないので、係合部から放出された電磁波が隣のカバー部に伝播することをさらに抑えることができる。

また、本発明の一態様では、前記ケーブル端子は、前記グランド端子の内面に沿って立つとともに前記係合部の内側に位置する壁部を有する。この態様によれば、係合部の過剰な沈み込みを抑制でき、ケーブル端子の耐久性を向上できる。

また、本発明の一態様では、前記複数の挿入孔は、一列に並ぶ複数の第１の挿入孔と、前記複数の第１の挿入孔の隣において一列に並ぶ複数の第２の挿入孔とを含み、前記第１の挿入孔に挿入された前記ケーブル端子の前記係合部と、前記第２の挿入孔に挿入された前記ケーブル端子の前記係合部は、前記第１の挿入孔の中心線と前記第２の挿入孔の中心線とを含む平面を挟んで互いに反対側に位置してもよい。この態様によれば、被係合部に引っ掛かる係合部間の距離を大きくできるので、係合部から放出される電磁波が他のケーブル端子にまで伝播することを、さらに効果的に抑えることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るコネクタのハウジングは、同軸ケーブルのグランド導体を覆う形状のグランド端子であって、当該グランド端子の外面から外方に張り出すとともに、当該グランド端子の内側に向かって弾性変形可能な係合部を有するグランド端子を含む複数のケーブル端子が挿入可能となっている。前記ハウジングには、前記複数のケーブル端子がそれぞれ挿入可能な、互いに独立した複数の挿入孔が形成され、前記複数の挿入孔は、前記ケーブル端子の挿入方向に対して直交する２つの方向であって、互いに直交する第１の方向と第２の方向とに並ぶよう形成されている。前記複数の挿入孔の内面に、前記グランド端子の前記係合部が引っ掛かる被係合部が設けられ、前記挿入孔の中心線に対して前記被係合部が位置する方向は、前記第１の方向及び第２の方向の双方に対して傾斜している。

本発明では、挿入孔の中心線に対して被係合部が位置する方向が、互いに直交する第１方向と第２方向の双方に対して傾斜しているため、被係合部が第１方向又は第２方向に位置している場合に比べて、被係合部に引っ掛かる係合部と、他のケーブル端子との間の距離が確保し易くなる。そのため、コネクタの大型化を抑えつつ、係合部から放出される電磁波が他のケーブル端子に伝播することを抑えることができ、ノイズの発生を抑えることができる。

本発明の実施形態に係るコネクタを備えた半導体試験装置の概略図である。 本発明の実施形態に係る上記コネクタと当該コネクタが接続される相手方コネクタの分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る上記コネクタと上記相手方コネクタの断面図である。 本発明の実施形態に係る上記コネクタの分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る上記コネクタを下方から臨む図である。 図５に示すＶＩ−ＶＩ線での断面図である。 本発明の実施形態に係る上記コネクタを構成するケーブル端子の斜視図である。 上記ケーブル端子の分解斜視図である。 上記ケーブル端子の断面図である。同図（ａ）は図７に示すａ−ａ線での断面図であり、同図（ｂ）は図７に示すｂ−ｂ線での断面図である。 上記ケーブル端子が有する信号端子の斜視図である。 ケーブル端子の他の形態を示す斜視図である。 グランド端子の他の形態を示す断面図である。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態の例であるコネクタ１を備えた半導体試験装置１００の概略図である。図２はコネクタ１と当該コネクタ１が接続される相手方コネクタ６の分解斜視図である。図３はコネクタ１とコネクタ６の断面図である。図４はコネクタ１の分解斜視図である。図５はコネクタ１を下方から臨む図である。図６は図５に示すＶＩ−ＶＩ線での断面図である。図７はコネクタ１を構成するケーブル端子３の斜視図である。図８はケーブル端子３の分解斜視図である。図９はケーブル端子３の断面図であり、同図（ａ）は図７に示すａ−ａ線での断面図であり、同図（ｂ）は図７に示すｂ−ｂ線での断面図である。図１０はケーブル端子３が有する信号端子４０の斜視図である。

図１に示すように、半導体試験装置１００は、テストヘッド１０５と、テストヘッド１０５上に配置されるマザーボード１０４と、マザーボード１０４上に配置されるパフォーマンスボード１０３と、パフォーマンスボード１０３上に配置されるデバイスソケット１０２とを備えている。試験対象となる半導体１０１はデバイスソケット１０２に装着され、半導体１０１はデバイスソケット１０２を介してパフォーマンスボード１０３に接続される。パフォーマンスボード１０３の下面には複数のコネクタ６が取り付けられている。コネクタ６には、複数の端子６１，６２が設けられており、各端子６１，６２は、パフォーマンスボード１０３に形成された伝送線路と、デバイスソケット１０２に設けられた端子とを介して、半導体１０１の端子と電気的に繋がっている。

マザーボード１０４には、複数のケーブルアッセンブリ１０が設けられている。ケーブルアッセンブリ１０はコネクタ１と、コネクタ１に接続される複数の同軸ケーブル２とを備えている。この例では、同軸ケーブル２はマザーボード１０４において用いられている。複数のコネクタ１は、それぞれパフォーマンスボード１０３に設けられたコネクタ６に対応する位置に保持されており、パフォーマンスボード１０３又はマザーボード１０４を上下方向に動かすことによって、複数のケーブルアッセンブリ１０を、対応するコネクタ６に一度に嵌めることができる。なお、図２に示すように、コネクタ１が有するハウジング１１の側面には、当該コネクタ１をマザーボード１０４の上面に固定するための取付部１９が設けられている。取付部１９は例えば、ボルトやリベットによってマザーボード１０４に固定される。

マザーボード１０４の下面には複数のコネクタ１０６が保持されている。各コネクタ１０６に複数の同軸ケーブル２の下端が接続されている。テストヘッド１０５の上面には、コネクタ１０６に接続される複数のコネクタ１０７が設けられている。各コネクタ１０７にはテストヘッド１０５が収容する試験モジュール１０８が取り付けられている。試験モジュール１０８は伝送線路１１０を介して試験装置本体１０９に接続されている。試験モジュール１０８は、試験装置本体１０９からの指示に応じて試験信号を発生し、当該試験信号は同軸ケーブル２、コネクタ６、パフォーマンスボード１０３等を介して半導体１０１に入力される。

図８に示すように、同軸ケーブル２は、信号線２１と、信号線２１を囲む管状のグランド導体（例えば管状に形成された網組線）２２と、信号線２１とグランド導体２２の間に介在する誘電体部２３と、グランド導体２２を囲む外皮部２４とを有している。同軸ケーブル２の先端部では、グランド導体２２、誘電体部２３及び信号線２１がこの順に露出している。

コネクタ１は、樹脂などの絶縁体によって形成された概略箱状のハウジング１１と、ハウジング１１に挿入された複数のケーブル端子３とを有している。ハウジング１１の下面には上方に伸びる複数の挿入孔１１ａが形成されている（図６参照）。図７又は図８に示すように、ケーブル端子３は同軸ケーブル２の端部に取り付けられる。ケーブル端子３は信号線２１に接続される信号端子４０と、グランド導体２２に接続されるグランド端子３０とを有している。また、ケーブル端子３は同軸ケーブル２の端部を挟むようにグランド端子３０と組み合わされるベース５０を有している。このベース５０は樹脂などの絶縁体によって形成されている。複数のケーブル端子３は、それぞれ挿入孔１１ａに挿入されてハウジング１１によって保持され、ハウジング１１とともにコネクタ１を構成している。

図８又は図９に示すように、ベース５０は、同軸ケーブル２の直径と概ね等しい幅を有する細長い平板状の部材である。ベース５０は、同軸ケーブル２から、当該同軸ケーブル２の延伸方向にさらに伸びるように配置されている。ベース５０は、その基部の表面に、凹部５１を有している。凹部５１は、同軸ケーブル２の誘電体部２３の外周面に合わせて湾曲し、凹部５１上には誘電体部２３が配置される。ベース５０は、凹部５１に隣接する位置に、ベース５０から立ち上がる一対の保持壁部５２，５２を有している。この保持壁部５２，５２の間に、誘電体部２３を越えてさらに伸びる信号線２１が配置され、保持壁部５２，５２は、幅方向（図８及び図９のＷ方向）における信号線２１の動きを規制している。

図８又は図１０に示すように、信号端子４０は細長い板状の部材であり、その基部側に接続プレート部４２を有し、その先端側に、接続プレート部４２から上方に伸びる接触プレート部４１を有している。接触プレート部４１の位置と接続プレート部４２の位置は、幅方向においてずれている。詳細には、図９に示すように、接続プレート部４２は幅方向の中心に位置し、接触プレート部４１は、同軸ケーブル２の中心線ＣＬに対して幅方向の一方側（図８及び図９においてＷ１の示す方向）にずれている。接続プレート部４２と接触プレート部４１は、同軸ケーブル２の延伸方向に対して斜めに伸びる傾斜部４３を介して繋がっている（図１０参照）。中心線ＣＬ上に位置する信号線２１は接続プレート部４２上に配置され、半田等によって接続プレート部４２に取り付けられている。

信号端子４０はベース５０上に配置されている。詳細には、図９（ｂ）に示すように、ベース５０の表面には、同軸ケーブル２の延伸方向に伸びる溝５０ａが形成されている。溝５０ａは信号端子４０の形状に対応しており、当該溝５０ａに信号端子４０が収まっている。図９（ａ）に示すように、溝５０ａは保持壁部５２の下方の位置にまで伸びており、保持壁部５２は信号端子４０から立つように設けられている。また、ベース５０は、幅方向に伸びるブリッジ５３を有している（図８参照）。信号端子４０はブリッジ５３と保持壁部５２とによってベース５０からの分離が抑えられている。このような信号端子４０とベース５０は、例えば、金属とともに樹脂を成型するインサート成型によって形成される。また、ベース５０のみをモールドし、その後、信号端子４０がベース５０に取り付けられてもよい。

図８に示すように、グランド端子３０は、同軸ケーブル２の端部において露出したグランド導体２２を覆うように形成され、当該グランド導体２２に接続されている。詳細には、グランド端子３０は、その基端側に、グランド導体２２を覆う形状のカバー部３２を有している。この例では、カバー部３２は、側面の一部が開いた略円筒状をなしている。すなわち、カバー部３２は半円筒状を呈し、円弧状の断面を有するように形成されている。また、カバー部３２の径は外皮部２４の径と概ね等しくなっている。カバー部３２は、グランド導体２２と誘電体部２３と信号線２１の露呈した部分と、接続プレート部４２とを外方から覆うように配置され、カバー部３２の内面はグランド導体２２に接している。カバー部３２には開口３２ｃが形成されており、当該開口３２ｃの縁がグランド導体２２に半田等によって取り付けられている。

カバー部３２はベース５０と組み合わされて筒状をなしている。この例では、カバー部３２はベース５０を覆うように配置され、カバー部３２の左右の縁がベース５０の側面に引っ掛かっている。詳細には、ベース５０の側面には、複数の突起５４が形成されている。カバー部３２は、その左右の縁に、ベース５０の側面に沿って配置される側壁部３２ａを有している。側壁部３２ａには孔３２ｂが形成され、当該孔３２ｂに突起５４が嵌っている。なお、上述した保持壁部５２は、図９（ａ）に示すように、カバー部３２の内面に沿って立っている。詳細には、保持壁部５２の外面は、カバー部３２の内面に合わせて湾曲し、当該カバー部３２の内面に接している。

グランド端子３０は、その先端側に、細長い板状の接触プレート部３１を有している。接触プレート部３１は、カバー部３２から同軸ケーブル２の延伸方向に伸びるように設けられている。この例では、接触プレート部３１は側壁部３２ａに繋がっている。接触プレート部３１は、信号端子４０の接触プレート部４１の隣に配置されている。すなわち、接触プレート部３１と接触プレート部４１はベース５０の幅方向に並んだ状態で、互いに平行に伸び、カバー部３２から露呈している。

図９（ｂ）に示すように、接触プレート部３１も、接触プレート部４１と同様に、ベース５０上に配置されている。この例では、ベース５０の表面には、接触プレート部３１に対応する形状の凹部５０ｂが形成され、接触プレート部３１は凹部５０ｂに配置されている。なお、グランド端子３０は、ベース５０の側面に沿って配置される側壁部３３を有し、当該側壁部３３は接触プレート部３１の縁から屈曲している。グランド端子３０は、金属板に打ち抜き加工や曲げ加工を施すことによって一体的に形成される。

上述したように、ハウジング１１には、ケーブル端子３が挿入される挿入孔１１ａが形成されている。図３又は図６に示すように、挿入孔１１ａの奥部には、ハウジング１１を貫通する、挿入孔１１ａより小さい貫通孔１１ｂが形成されている。貫通孔１１ｂの形状は、ベース５０と接触プレート部３１，４１の断面形状に対応している。この例では、図５に示すように、貫通孔１１ｂは四角形となっている。図３又は図６に示すように、ケーブル端子３が挿入孔１１ａに挿入されると、ベース５０と接触プレート部３１，４１は貫通孔１１ｂを通ってハウジング１１の上方に突出する。

上述したようにベース５０は板状の部材であり、その外面（カバー部３２とは反対側の面）は平らになっている。図５に示すように、挿入孔１１ａの内面には、ベース５０の外面に沿う平らな面１１ｄが形成されている。すなわち、面１１ｄはベース５０の外面と平行になるように形成されている。これによって、ケーブル端子３の挿入過程においては、ケーブル端子３を面１１ｄに沿って滑らかに挿入できる。特にこの例では、ベース５０とハウジング１１の双方が樹脂によって形成されており、ケーブル端子３の挿入がさらに円滑化されている。

図５に示すように、複数の挿入孔１１ａは格子状に設けられている。すなわち、挿入孔１１ａは、ケーブル端子３の挿入方向（この例では上方）に直交する方向であって、互いに直交する２方向（ここでは前後方向（Ｙ１−Ｙ２方向）と左右方向（Ｘ１−Ｘ２方向））とに並んでいる。その結果、挿入孔１１ａに挿入されたケーブル端子３も、挿入孔１１ａに挿入されたときには、前後方向及び左右方向に並ぶ。

図５に示すように、挿入孔１１ａは互いに独立した孔である。すなわち、隣接する２つの挿入孔１１ａは、ハウジング１１の壁部１２，１３，１４によって仕切られている。左右方向において並ぶ２つの挿入孔１１ａは壁部１２によって仕切られている。複数の挿入孔１１ａは、左右方向においては等間隔で設けられている。

前後方向で並ぶ複数の挿入孔１１ａは、２つずつで纏まっており、２つの挿入孔１１ａは１つの対をなしている。この例では、前後方向には４つの挿入孔１１ａが並んでいる。ハウジング１１の一方の縁側に配置される挿入孔１１ａ（図５において矢印Ａが指す挿入孔）と、その隣に配置される挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｂが指す挿入孔）とが対をなし、残りの２つの挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｃと矢印Ｄとが指す挿入孔）が別の対をなしている。前後方向で並ぶ２つの挿入孔１１ａは壁部１３又は壁部１４によって仕切られている。すなわち、対をなす２つの挿入孔１１ａは壁部１３によって仕切られ、異なる対に含まれる２つの挿入孔１１ａの間には、壁部１３より厚い壁部１４が設けられている。すなわち、異なる対に含まれる２つの挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｂで指す挿入孔と矢印Ｃで指す挿入孔）の間隔は、対をなす２つの挿入孔１１ａの間隔より大きくなっている。

図３又は図６に示すように、ハウジング１１は壁部１３から上方に伸びる支持プレート１５を有している。対をなす２つの挿入孔１１ａの奥部に形成された貫通孔１１ｂは、支持プレート１５に沿って位置しており、支持プレート１５は２つの貫通孔１１ｂの間から上方に伸びている。貫通孔１１ｂに挿通されたケーブル端子３のベース５０、接触プレート部３１，４１はこの支持プレート１５に沿って配置される。図４に示すように、支持プレート１５は左右方向に長い板状である。複数のベース５０、及び接触プレート部３１，４１は、支持プレート１５の両側面に沿って左右方向に並んでいる（図２参照）。また、接触プレート部３１と接触プレート部４１は左右方向において交互に並んでいる。

なお、図４に示すように、支持プレート１５の両側面にはケーブル端子３の挿入方向に伸びる壁部１５ａが形成されている。この壁部１５ａは、互いに隣接するベース５０及び接触プレート部３１，４１との間に位置している。壁部１５ａは、ハウジング１１に挿入される際の、ベース５０及び接触プレート部３１，４１の進路を規定している。

支持プレート１５と、ベース５０と、接触プレート部３１，４１は、コネクタ１の上方に配置されるコネクタ６に挿入される。コネクタ６は、図３に示すように、互いに向き合うように配置される信号端子６１とグランド端子６２とを有している。また、コネクタ６は、ハウジング６０を有している。ハウジング６０には下方に開いた挿入孔６０ａが形成されている。信号端子６１とグランド端子６２はこの挿入孔６０ａに収容されている。支持プレート１５と、当該支持プレート１５の両側に配置されたベース５０及び接触プレート部３１，４１は、挿入孔６０ａに挿入され、信号端子６１とグランド端子６２とによって挟まれる。信号端子６１の位置は接触プレート部３１の位置に対応しており、接触プレート部３１が挿入孔６０ａ内に配置されたときには、信号端子６１の先端が接触プレート部３１に接触する。同様に、グランド端子６２の位置は接触プレート部４１の位置に対応しており、接触プレート部４１が挿入孔６０ａ内に配置されたときにはグランド端子６２の先端が接触プレート部４１に接触する。この例では、図６に示すように、コネクタ６に挿入されるベース５０及び接触プレート部３１，４１の厚さが、同軸ケーブル２の径より小さくなっているため、互いに向き合うグランド端子６２と信号端子６１の距離を狭めることができ、コネクタ６の小型化が可能となっている。なお、信号端子６１とグランド端子６２は、パフォーマンスボード１０３の下面から下方に伸びるように配置されており、それらの上端６１ａ，６２ａはパフォーマンスボード１０３の下面に形成された導体（不図示）に接続されている。

図６乃至図８に示すように、グランド端子６２は、ケーブル端子３が挿入孔１１ａから抜けるのを防止する係合部３２ｄを有している。この例では、係合部３２ｄはカバー部３２に形成されている。係合部３２ｄは、その自由状態（外力が作用していない状態）では、カバー部３２の外面から外方（同軸ケーブル２の半径方向）に張り出している。すなわち、係合部３２ｄは、カバー部３２に形成された開口３２ｅの縁から、ケーブル端子３のハウジング１１への挿入方向とは反対方向に向かって斜めに伸び、係合部３２ｄの先端は、係合部３２ｄの基部（カバー部３２に接続された部分）より半径方向の外側に位置している。

係合部３２ｄは、板バネ状であり、カバー部３２の内側に向かって弾性変改可能となっている。すなわち、係合部３２ｄは、同軸ケーブル２の半径方向の中心（図９（ａ）において中心線ＣＬ）に向かって弾性変形可能となっている。詳細には、係合部３２ｄは、その先端が中心線ＣＬに向かって移動するように、その基部を支点として弾性変形可能となっている。開口３２ｅは、係合部３２ｄをカバー部３２から切り起こすことによって形成された開口であり、開口３２ｅの大きさは、係合部３２ｄの形状に対応している。係合部３２ｄが中心線ＣＬに向かって弾性変形したときには、係合部３２ｄは開口３２ｅに収まるように配置される。

図５又は図６に示すように、挿入孔１１ａの内面には、挿入孔１１ａの中心線（挿入孔１１ａの中心を通って、その長さ方向に伸びる直線）Ｃｈに向かって突出する被係合部１６が形成されている。係合部３２ｄがこの被係合部１６に引っ掛かることによって、ケーブル端子３の抜けが防止されている。詳細には、挿入孔１１ａの内面には、ケーブル端子３の挿入方向（ここでは上下方向（Ｚ１−Ｚ２方向））に伸びる溝１６ａが形成されている。溝１６ａは係合部３２ｄに対応する位置に形成されており、ケーブル端子３の挿入過程では、係合部３２ｄはこの溝１６ａを通ってケーブル端子３の挿入方向に進む。被係合部１６は、溝１６ａの途中に形成され、溝１６ａの底から中心線Ｃｈに向かって突出している。溝１６ａを進む係合部３２ｄは、中心線Ｃｈ側に変位することによって被係合部１６を越える。係合部３２ｄの先端が被係合部１６を越えると、係合部３２ｄは再び半径方向の外方に張り出し、被係合部１６に引っ掛かる。

なお、図６に示すように、ハウジング１１には、溝１６ａからさらに延伸して、挿入孔１１ａの奥部に設けられた壁部１１ｃを貫通する貫通孔１６ｂが形成されている。この貫通孔１６ｂからピン状の工具を挿入することによって、係合部３２ｄの被係合部１６に対する引っ掛かりを解消し、ケーブル端子３をハウジング１１から抜くことができる。

図５に示すように、挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して被係合部１６、溝１６ａ及び貫通孔１６ｂが位置する方向（図５のＥ方向（中心線Ｃｈと被係合部１６とを結ぶ直線の方向））は、前後方向（Ｙ１−Ｙ２方向）及び左右方向（Ｘ１−Ｘ２方向）の双方に対して傾斜している。そのため、挿入孔１１ａにケーブル端子３が挿入された時には、中心線Ｃｈに対して係合部３２ｄが位置する方向も、前後方向及び左右方向の双方に対して傾斜する。この例では、左右方向において隣接する２つのケーブル端子３の係合部３２ｄは、それらが挿入される挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して同じ方向に位置している。

また、この例では、左右方向における被係合部１６及び係合部３２ｄの位置は、左右方向に並ぶ２つの挿入孔１１ａを仕切る壁部１２と、中心線Ｃｈとの間の位置となっている。また、カバー部３２には半円筒状に形成されているため、隣接する２つのカバー部３２の外周面の間には、隣接する２つの側壁部３２ａの間の間隔より大きな間隔が設けられている。係合部３２ｄと被係合部１６は、隣接する２つのカバー部３２の間であって、このように間隔が大きくなっている部分に位置している。これによって、係合部３２ｄを側壁部３２ａに形成する場合に比べて壁部１２を薄くすることができ、コネクタ１の左右方向の幅を抑えることができている。また、前後方向における被係合部１６の位置は、挿入孔１１ａの内面において最も前の位置Ｐｆと中心線Ｃｈとの間、又は最も後の位置Ｐｒと中心線Ｃｈとの間に位置している。これによって、コネクタ１の前後方向の幅を抑えることができている。

係合部３２ｄはカバー部３２に形成されており、挿入孔１１ａに挿入されたケーブル端子３の係合部３２ｄは、隣のケーブル端子３のカバー部３２側に傾いている。そのため、信号線２１を介して高周波の信号が伝送される際に係合部３２ｄから放出される電磁波が、隣のカバー部３２に伝播し難くなっている。つまり、アンテナ状の係合部３２ｄから放出される電磁波は、同じくアンテナ状に突出する部分によって受信され易い。しかしながら、本実施形態では、係合部３２ｄには、隣のカバー部３２の外周面が隣接しており、当該係合部３２ｄから放出される電磁波が隣のカバー部３２において受信され難くなっている。

上述したように、ベース５０には、カバー部３２の内面に沿って立つ保持壁部５２が設けられている。この保持壁部５２は、係合部３２ｄの内側に位置している。すなわち、保持壁部５２は、カバー部３２に形成された開口３２ｃの内側に位置し、当該開口３２ｃを内側から閉じるように配置されている。この保持壁部５２によって、係合部３２ｄの過剰な傾きを抑えることができる。また、開口３２ｃからの電磁波の漏洩を抑えることができる。

なお、保持壁部５２は、カバー部３２の内側であって係合部３２ｄの基部（係合部３２ｄの立ち上がり部）に位置してもよい。こうすることによって、保持壁部５２によって、係合部３２ｄの基部が支持され得る。例えば、係合部３２ｄが被係合部１６と係合した後に、ケーブル端子３を引き抜こうとする力が作用したときに、係合部３２ｄの基部が保持壁部５２に支持されるため、係合部３２ｄの強度を保つことができる。

なお、上述したように、挿入孔１１ａの内面には、ベース５０に沿うように形成された面１１ｄが形成されている。中心線Ｃｈと被係合部１６とを結ぶ直線と、中心線Ｃｈと係合部３２ｄとを結ぶ直線は、ベース５０及び面１１ｄに対して垂直な直線に対して傾斜している。

上述したように、挿入孔１１ａは格子状に設けられ、左右方向に伸びる４つの列を構成している。互いに隣り合う２つの列で並ぶ挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｂと矢印Ｃとが指す挿入孔（請求項における第１の挿入孔と第２の挿入孔））の被係合部１６は、交互に設けられている。この例では、２列目で並ぶ複数の挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｂが指す挿入孔）の被係合部１６と、３列目で並ぶ複数の挿入孔１１ａ（図５において矢印Ｃが指す挿入孔）の被係合部１６は、それらの挿入孔１１ａの中心線Ｃｈを通る平面Ｘを挟んで互いに反対側に位置している。

また、２列目で並ぶ挿入孔１１ａと、３列目で並ぶ挿入孔１１ａとの間には壁部１４が設けられ、この壁部１４は、対をなす挿入孔１１ａの間に設けられる壁部１３より厚くなっている。そして、２列目で並ぶ挿入孔１１ａの中心線Ｃｈと、３列目で並ぶ挿入孔１１ａの中心線Ｃｈとの間に、それらの挿入孔１１ａに形成された被係合部１６は位置している。また、対をなす挿入孔１１ａ（例えば、矢印Ａで示す挿入孔と、矢印Ｂで示す挿入孔）の被係合部１６は、それらの挿入孔１１ａの間に位置する壁部１３を挟んで反対側に位置している。

以上説明したように、コネクタ１のハウジング１１には、複数のケーブル端子３がそれぞれ挿入される互いに独立した複数の挿入孔１１ａが形成されている。複数の挿入孔１１ａは、ケーブル端子３の挿入方向に対して直交する２つの方向であって、互いに直交する前後方向と左右方向とに並ぶよう形成されている。グランド端子３０は、当該グランド端子３０の外面から外方に張り出すとともに、当該グランド端子３０の内側に向かって弾性変形可能な係合部３２ｄを有している。ハウジング１１は、挿入孔１１ａの内面に、係合部３２ｄが引っ掛かる被係合部１６を有している。そして、中心線Ｃｈに対して係合部３２ｄが位置する方向Ｅは、前後方向及び左右方向の双方に対して傾斜している。

このようなコネクタ１によれば、係合部３２ｄが中心線Ｃｈに対して前後方向又は左右方向に位置している場合に比べて、係合部３２ｄと、隣のケーブル端子３との間に十分な距離を確保し易くなる。また、アンテナ状に突出する２つの係合部３２ｄは向き合っていないので、係合部３２ｄから放出された電磁波が別の係合部３２ｄで受信されることを抑えることができる。そのため、コネクタの大型化を抑えつつ、係合部３２ｄから放出される電磁波が他のケーブル端子３にまで伝播することを抑えることができ、ノイズの発生を抑えることができる。

また、ハウジング１１では、挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して被係合部１６が位置する方向Ｅは、前後方向及び左右方向の双方に対して傾斜している。このようなハウジング１１によれば、被係合部１６が前後方向又は左右方向に位置している場合に比べて、被係合部１６に引っ掛かる係合部３２ｄと、別のケーブル端子３との間に十分な距離を確保し易くなる。そのため、コネクタの大型化を抑えつつ、係合部３２ｄから放出される電磁波が他のケーブル端子３にまで伝播することを抑えることができ、ノイズの発生を抑えることができる。

なお、本発明は、以上説明したコネクタ１及びハウジング１１に限られず、種々の変更が可能である。例えば、以上の説明では、ケーブル端子３はベース５０を有し、グランド端子３０はカバー部３２を有し、ベース５０とカバー部３２は、互いに組み合わされることによって、筒状を呈していた。しかしながら、ケーブル端子３にベース５０を設けることなく、グランド端子３０が筒状に形成されてもよい。また、ケーブル端子３はグランド端子３０と信号端子４０とを有していた。しかしながら、ケーブル端子３はグランド端子のみによって構成されてもよい。図１１はこの形態の例であるケーブル端子３Ａを示す斜視図であり、同図ではケーブル端子３Ａに同軸ケーブル２Ａが取り付けられている。この例では、ケーブル端子３Ａには信号端子が設けられることなく、同軸ケーブル２Ａの信号線２１Ａがケーブル端子３Ａの先端部まで伸びている。ケーブル端子３Ａは同軸ケーブル２Ａの端部を収容する円筒状であり、その内周面は同軸ケーブル２Ａのグランド導体２２に接している。これによって、ケーブル端子３Ａはグランド端子として機能する。このようなケーブル端子３Ａが用いられる場合、当該ケーブル端子３Ａを有するコネクタに接続される相手方コネクタには、ケーブル端子３Ａに接触する端子と、信号線２１Ａに接触する端子とが設けられる。

また、以上の説明では、グランド端子３０のカバー部３２は、円弧状の断面を有する半円筒状に形成されていた。しかしながら、カバー部は多角形の断面を有する筒状に形成されてもよい。図１２はこの形態に係るグランド端子３０Ｂが左右方向に並んだ状態を示す断面図である。この例のグランド端子３０Ｂはカバー部３２Ｂを有している。カバー部３２Ｂは、複数（ここでは３つ）の平らな壁部３２ｆと側壁部３２ａとを有している。複数の壁部３２ｆは全体として断面多角形の半筒状の壁を構成するように周方向に並んでおり、これによってカバー部３２は略半円筒状に形成されている。この場合、上述した開口３２ｅ及び係合部３２ｄは一つの壁部３２ｆに形成される。これによって、カバー部の断面が完全な円弧を呈する場合に比べて、係合部３２ｄの加工（カバー部からの切り起こし）及び係合部３２ｄの弾性変形が容易になっている。また、この例では、挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して係合部３２ｄが位置する方向Ｅは、隣のグランド端子３０Ｂのカバー部３２Ｂを構成する壁部３２ｆに沿った方向となっている。すなわち、方向Ｅは壁部３２ｆと概ね平行となっている。これによって、係合部３２ｄから放出された電磁波が、隣のグランド端子３０Ｂのカバー部３２Ｂで受信され難くなっている。

また、以上の説明では、前後方向に並ぶ複数の挿入孔１１ａは、２つずつでまとまり、２つの挿入孔１１ａが一つの対をなしていた。しかしながら、複数の挿入孔１１ａは、そのような対を構成していなくてもよい。その場合、各挿入孔１１ａに設けられた被係合部１６は、挿入孔１１ａの中心線Ｃｈに対して同じ方向に位置してもよい。

また、以上の説明では、ケーブルアッセンブリ１０は半導体試験装置１００に搭載されていた。しかしながら、ケーブルアッセンブリ１０は、半導体試験装置とは異なる電子機器で用いられてもよい。

１ コネクタ、２，２Ａ 同軸ケーブル、３，３Ａ ケーブル端子、６ コネクタ、１０ ケーブルアッセンブリ、１１ ハウジング、１１ａ 挿入孔、１１ｂ 貫通孔、１１ｃ 壁部、１２，１３，１４ 壁部、１５ 支持プレート、１５ａ 壁部、１６ 被係合部、１６ａ 溝、１６ｂ 貫通孔、１９ 取付部、２１ 信号線、２２ グランド導体、２３ 誘電体部、２４ 外皮部、３０，３０Ｂ グランド端子、３１ 接触プレート部、３２，３２Ｂ カバー部、３２ａ 側壁部、３２ｂ 孔、３２ｃ 開口、３２ｄ 係合部、３２ｅ 開口、３２ｆ 壁部、３３ 側壁部、４０ 信号端子、４１ 接触プレート部、４２ 接続プレート部、４３ 傾斜部、５０ ベース、５０ａ 溝、５０ｂ 凹部、５１ 凹部、５２ 保持壁部、５３ ブリッジ、５４ 突起、６０ ハウジング、６０ａ 挿入孔、６１ 信号端子、６１ａ 上端、６２ グランド端子、１００ 半導体試験装置、１０１ 半導体、１０２ デバイスソケット、１０３ パフォーマンスボード、１０４ マザーボード、１０５ テストヘッド、１０６ コネクタ、１０７ コネクタ、１０８ 試験モジュール、１０９ 試験装置本体、１１０ 伝送線路。

Claims (8)

1. 同軸ケーブルのグランド導体を覆う形状のグランド端子を有する複数のケーブル端子と、
   前記複数のケーブル端子がそれぞれ挿入された互いに独立した複数の挿入孔が形成されたハウジングと、を備え、
   前記複数の挿入孔は、前記ケーブル端子の挿入方向に対して直交する２つの方向であって、互いに直交する第１の方向と第２の方向とに並ぶよう形成され、
   前記グランド端子は、当該グランド端子の外面から外方に張り出すとともに、当該グランド端子の内側に向かって弾性変形可能な係合部を有し、
   前記ハウジングは、前記複数の挿入孔の内面に、前記係合部が引っ掛かる被係合部を有し、
   前記挿入孔の中心線に対して前記係合部が位置する方向は、前記第１の方向及び第２の方向の双方に対して傾斜している、
   ことを特徴とするコネクタ。
2. 請求項１に記載のコネクタにおいて、
   前記ケーブル端子は、前記挿入方向に伸びる板状のベースをさらに備え、
   前記グランド端子は、前記グランド導体を覆うように形成されるとともに前記ベースと組み合わされて筒状をなすカバー部を備え、
   前記複数の挿入孔の内面には前記ベースに沿う面が形成されている、
   ことを特徴とするコネクタ。
3. 請求項１に記載のコネクタにおいて、
   前記グランド端子は、前記グランド導体を覆う半筒状のカバー部を含み、
   前記係合部は前記カバー部に形成され、
   隣接する２つの前記ケーブル端子の前記係合部は、それらが挿入される前記挿入孔の中心線に対して同じ方向に位置している、
   ことを特徴とするコネクタ。
4. 請求項１に記載のコネクタにおいて、
   前記ケーブル端子は、前記グランド端子の内面に沿って立つとともに前記係合部の内側に位置する壁部を有する、
   ことを特徴とするコネクタ。
5. 請求項１に記載のコネクタにおいて、
   前記複数の挿入孔は、一列に並ぶ複数の第１の挿入孔と、前記複数の第１の挿入孔の隣において一列に並ぶ複数の第２の挿入孔とを含み、
   前記第１の挿入孔に挿入された前記ケーブル端子の前記係合部と、前記第２の挿入孔に挿入された前記ケーブル端子の前記係合部は、前記第１の挿入孔の中心線と前記第２の挿入孔の中心線とを含む平面を挟んで互いに反対側に位置している、
   ことを特徴とするコネクタ。
6. 請求項１に記載のコネクタを含むケーブルアッセンブリであって、
   前記複数のケーブル端子が端部に取り付けられた複数の同軸ケーブルを備える、
   ことを特徴とするケーブルアッセンブリ。
7. 請求項６に記載のケーブルアッセンブリを備える半導体試験装置。
8. 同軸ケーブルのグランド導体を覆う形状のグランド端子であって、当該グランド端子の外面から外方に張り出すとともに、前記グランド端子の内側に向かって弾性変形可能な係合部を有するグランド端子を含む複数のケーブル端子が挿入可能なコネクタのハウジングであって、
   前記複数のケーブル端子がそれぞれ挿入可能な、互いに独立した複数の挿入孔が形成され、
   前記複数の挿入孔は、前記ケーブル端子の挿入方向に対して直交する２つの方向であって、互いに直交する第１の方向と第２の方向とに並ぶよう形成され、
   前記複数の挿入孔の内面に、前記グランド端子の前記係合部が引っ掛かる被係合部が設けられ、
   前記挿入孔の中心線に対して前記被係合部が位置する方向は、前記第１の方向及び第２の方向の双方に対して傾斜している、
   ことを特徴とするコネクタのハウジング。
   

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