JP2010540263A - ナノポアデバイスのためのカーボンナノチューブ合成 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1B
Description
Claims (30)
- ナノポアデバイスを作製する方法であって:
構造体上に少なくとも1つのカーボンナノチューブ触媒領域を形成し;
触媒領域からの距離が、その触媒領域から合成されるカーボンナノチューブのおおよその予想長以下の距離で、構造体に複数のナノポアを形成し;及び
触媒領域から少なくとも1本のカーボンナノチューブを合成する
ことを含む、前記方法。 - 触媒領域から、約20ミクロン以下の距離で構造体に複数のナノポアを形成する、請求項1に記載の方法。
- 複数のナノポアを形成することが、ナノポアのアレイを形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つのカーボンナノチューブ触媒領域を形成することが、複数の触媒領域を形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1本のカーボンナノチューブを合成することが、複数のカーボンナノチューブを合成することを含む、請求項4に記載の方法。
- 複数のナノポアを形成することが、少なくとも1つの触媒領域の周辺にナノポアのアレイを形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 複数のナノポアを形成することが、ナノポアアレイの周辺に位置する触媒領域の中心にナノポアアレイを形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 触媒領域の形成が、Al2O3領域の形成及びそのAl2O3領域上にFeを含む金属触媒領域を形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1本のカーボンナノチューブの合成が、少なくとも1本のカーボンナノチューブの気相合成を含む、請求項1に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブの一部が複数のナノポアのうちの1つに位置しているそのカーボンナノチューブを同定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブを同定することが、合成したカーボンナノチューブを原子間力顕微鏡により調べることを含む、請求項10に記載の方法。
- 複数のナノポアのうちの1つにおいて、合成したカーボンナノチューブを同定することが、カーボンナノチューブの一部がその複数のナノポアのうちの1つを横断するカーボンナノチューブを同定することを含む、請求項10に記載の方法。
- 複数のナノポアのうちの1つにおいて、合成したカーボンナノチューブを同定することが、カーボンナノチューブの一部がその複数のナノポアのうちの1つに隣接するカーボンナノチューブを同定することを含む、請求項10に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブを選択されたナノポアに移動させることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブを移動させることが、原子間力顕微鏡の先端によりカーボンナノチューブを押すことを含む、請求項14に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブを移動させることが、合成したそのカーボンナノチューブの一部が選択されたナノポアを横切るように配置することを含む、請求項14に記載の方法。
- ナノポアを直径約100 nm以下で形成する、請求項1に記載の方法。
- 複数のナノポアを形成することが、構造体上の選択されたナノポアの位置で構造体に集束イオンビームを向けることを含む、請求項1に記載の方法。
- 複数のナノポアを形成することが、構造体上の選択されたナノポアの位置で構造体を薄くすることを含む、請求項1に記載の方法。
- 構造体が、基板によって構造体の端が支持され、自立している膜を含む、請求項1に記載の方法。
- 膜が、SiNx膜を含む、請求項20に記載の方法。
- 同定されたナノチューブの一部が位置するナノポアの両端上のそのナノチューブに、電気的接触領域を形成することをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 電気的接触領域に連結した外部電気的接触端子を形成することをさらに含む、請求項22に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブが位置していないナノポアを同定し、同定したそれらのナノポアを被覆することをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- カーボンナノチューブが位置していない同定したナノポアを被覆することが、その同定されたナノポアの位置における構造体上に材料層を形成することを含む、請求項24に記載の方法。
- 合成したカーボンナノチューブが位置することが同定されたナノポアを、材料層で被覆し、選択されたナノポア径を作製することをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- ナノポアを被覆することが、原子層堆積を含む、請求項26に記載の方法。
- ナノポアの被覆が、Al2O3層を形成する、請求項26に記載の方法。
- ナノポアで同定されたナノチューブの一部を切断して、ナノポアの周囲に位置するナノチューブ末端を形成することをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 同定されたナノチューブの一部を切断することが、そのナノチューブの一部に電子ビームを向けることを含む、請求項29に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014529082A (ja) * | 2011-09-28 | 2014-10-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 単一分子を処理するための装置 |
JP2014531580A (ja) * | 2011-09-09 | 2014-11-27 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation | ナノチューブをナノ細孔内に埋め込む方法、およびそれによって得られた装置 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8206568B2 (en) * | 1999-06-22 | 2012-06-26 | President And Fellows Of Harvard College | Material deposition techniques for control of solid state aperture surface properties |
US7435353B2 (en) * | 2004-12-09 | 2008-10-14 | President And Fellows Of Harvard College | Patterning by energetically-stimulated local removal of solid-condensed-gas layers and solid state chemical reactions produced with such layers |
US7524431B2 (en) * | 2004-12-09 | 2009-04-28 | President And Fellows Of Harvard College | Lift-off patterning processing employing energetically-stimulated local removal of solid-condensed-gas layers |
US7468271B2 (en) * | 2005-04-06 | 2008-12-23 | President And Fellows Of Harvard College | Molecular characterization with carbon nanotube control |
US8926904B2 (en) | 2009-05-12 | 2015-01-06 | Daniel Wai-Cheong So | Method and apparatus for the analysis and identification of molecules |
EP2580588B1 (en) | 2010-06-08 | 2014-09-24 | President and Fellows of Harvard College | Nanopore device with graphene supported artificial lipid membrane |
GB201020503D0 (en) * | 2010-12-03 | 2011-01-19 | Imp Innovations Ltd | Nanopore devices |
US11053535B2 (en) * | 2011-09-12 | 2021-07-06 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Devices with a fluid transport nanochannel intersected by a fluid sensing nanochannel and related methods |
EP3591408A1 (en) | 2012-02-10 | 2020-01-08 | The University of North Carolina at Chapel Hill | Devices with fluidic nanofunnels, associated methods, fabrication and analysis systems |
US10876157B2 (en) | 2012-09-27 | 2020-12-29 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Insulated nanoelectrode-nanopore devices and related methods |
WO2014078732A1 (en) * | 2012-11-15 | 2014-05-22 | California Institute Of Technology | Systems and methods for implementing robust carbon nanotube-based field emitters |
JP2016504714A (ja) | 2012-11-21 | 2016-02-12 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | カーボンナノチューブが用いられた真空電子装置を製作するためのシステム及び方法 |
JP6510984B2 (ja) | 2013-02-28 | 2019-05-08 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒルThe University Of North Carolina At Chapel Hill | 巨大分子の制御される捕捉、捕獲、及び輸送の為の統合された構成要素を有するナノ流体の装置、及び関連する分析方法 |
KR20150130314A (ko) | 2013-03-13 | 2015-11-23 | 더 유니버시티 오브 노쓰 캐롤라이나 엣 채플 힐 | 전체 게놈의 신속한 맵핑을 위한 나노유체 장치 및 관련 시스템 및 분석 방법 |
WO2016094131A2 (en) * | 2014-12-01 | 2016-06-16 | Cornell University | Nanopore-containing substrates with aligned nanoscale electronic elements and methods of making and using same |
CN105712314B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-12-01 | 清华大学 | 碳纳米管阵列的制备方法和碳纳米管膜的制备方法 |
US10030265B2 (en) | 2015-01-14 | 2018-07-24 | International Business Machines Corporation | DNA sequencing using MOSFET transistors |
EP4293349A3 (en) | 2015-02-05 | 2024-02-21 | President and Fellows of Harvard College | Nanopore sensor including fluidic passage |
WO2016182811A1 (en) | 2015-05-11 | 2016-11-17 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Fluidic devices with nanoscale manifolds for molecular transport, related systems and methods of analysis |
WO2018067457A1 (en) | 2016-10-03 | 2018-04-12 | So Daniel Wai Cheong | Method and apparatus for the analysis and identification of molecules |
CN106916737A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-07-04 | 王哲 | 一种纳米孔单分子传感器以及制造纳米孔阵列的方法 |
US10830756B2 (en) * | 2017-09-22 | 2020-11-10 | Applied Materials, Inc. | Method to create a free-standing membrane for biological applications |
CN109795983A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-24 | 中国科学院微电子研究所 | 纳米孔结构及其加工设备和方法 |
Citations (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11139815A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Canon Inc | カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法 |
JP2003502166A (ja) * | 1999-06-22 | 2003-01-21 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | 固体状態の次元的特徴の制御 |
JP2003531592A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | イーグル リサーチ アンド ディベロップメント,リミティッド ライアビリティー カンパニー | 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置 |
JP2003332266A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Kansai Tlo Kk | ナノチューブの配線方法及びナノチューブ配線用制御回路 |
WO2004035211A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-29 | Advanced Research Corporation | Solid state membrane channel device for the measurement and characterization of atomic and molecular sized samples |
JP2004136377A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分子ナノワイヤ−ナノ微粒子複合体、その製造方法ならびに該複合体を用いた分子ワイヤリング法 |
US20040121525A1 (en) * | 2002-12-21 | 2004-06-24 | Chopra Nasreen G. | System with nano-scale conductor and nano-opening |
JP2004217456A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カーボンナノ細線の形成方法 |
JP2004233356A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-19 | Agilent Technol Inc | ナノポアを通って移動するバイオポリマーの識別装置及び方法 |
WO2004104568A1 (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-02 | Japan Science And Technology Agency | 単一電子型トランジスタ、電界効果型トランジスタ、センサー、センサーの製造方法ならびに検出方法 |
JP2005510711A (ja) * | 2001-11-26 | 2005-04-21 | ソニー インターナショナル (ヨーロッパ) ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途 |
JP2005111583A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Sii Nanotechnology Inc | ナノメータスケールの構造物の作製方法 |
JP2005277182A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Sharp Corp | ナノワイヤ及びその製造方法、半導体装置 |
JP2006051574A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ナノサイズ材料の設置方法 |
JP2006507692A (ja) * | 2002-09-30 | 2006-03-02 | ナノシス・インコーポレイテッド | 大面積ナノ可能マクロエレクトロニクス基板およびその使用 |
JP2006513878A (ja) * | 2002-10-29 | 2006-04-27 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | カーボンナノチューブ素子の製造 |
US20060211183A1 (en) * | 2002-09-30 | 2006-09-21 | Nanosys, Inc. | Large-area nanoenabled macroelectronic substrates and uses therefor |
WO2006134942A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | 電界効果トランジスタ、それを具備するバイオセンサ、および検出方法 |
JP2007093294A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Sharp Corp | 化学物質検出用センサ |
JP2007165678A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置の製造方法および装置 |
JP2007160483A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Hitachi Ltd | ナノチューブの配線方法とこれを用いた電子部品及び電子放出源 |
WO2007084163A2 (en) * | 2005-04-06 | 2007-07-26 | President And Fellows Of Harvard College | Molecular characterization with carbon nanotube control |
US20080013052A1 (en) * | 2004-09-08 | 2008-01-17 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Projection Display Device |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6346189B1 (en) * | 1998-08-14 | 2002-02-12 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Carbon nanotube structures made using catalyst islands |
US6333016B1 (en) * | 1999-06-02 | 2001-12-25 | The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma | Method of producing carbon nanotubes |
EP1059266A3 (en) * | 1999-06-11 | 2000-12-20 | Iljin Nanotech Co., Ltd. | Mass synthesis method of high purity carbon nanotubes vertically aligned over large-size substrate using thermal chemical vapor deposition |
US6361861B2 (en) * | 1999-06-14 | 2002-03-26 | Battelle Memorial Institute | Carbon nanotubes on a substrate |
US6375751B2 (en) * | 1999-08-19 | 2002-04-23 | Tate & Lyle, Inc. | Process for production of purified cane juice for sugar manufacture |
WO2001039292A2 (en) * | 1999-11-29 | 2001-05-31 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Fabrication of nanometer size gaps on an electrode |
EP1247089B1 (en) | 1999-12-15 | 2008-07-23 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Carbon nanotube devices |
EP1149932A3 (en) * | 2000-01-26 | 2003-09-10 | Iljin Nanotech Co., Ltd. | Thermal chemical vapor deposition apparatus and method of synthesizing carbon nanotubes using the same |
KR100360476B1 (ko) * | 2000-06-27 | 2002-11-08 | 삼성전자 주식회사 | 탄소나노튜브를 이용한 나노 크기 수직 트랜지스터 및 그제조방법 |
US6515339B2 (en) * | 2000-07-18 | 2003-02-04 | Lg Electronics Inc. | Method of horizontally growing carbon nanotubes and field effect transistor using the carbon nanotubes grown by the method |
US6566983B2 (en) * | 2000-09-02 | 2003-05-20 | Lg Electronics Inc. | Saw filter using a carbon nanotube and method for manufacturing the same |
KR100362377B1 (ko) * | 2000-12-05 | 2002-11-23 | 한국전자통신연구원 | 탄소 나노 튜브를 이용한 전계 방출 소자 및 그 제조 방법 |
US6423583B1 (en) * | 2001-01-03 | 2002-07-23 | International Business Machines Corporation | Methodology for electrically induced selective breakdown of nanotubes |
US6803840B2 (en) * | 2001-03-30 | 2004-10-12 | California Institute Of Technology | Pattern-aligned carbon nanotube growth and tunable resonator apparatus |
US20020172767A1 (en) * | 2001-04-05 | 2002-11-21 | Leonid Grigorian | Chemical vapor deposition growth of single-wall carbon nanotubes |
JP3948223B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2007-07-25 | 株式会社日立製作所 | 遺伝子配列の読み取り装置 |
US6919592B2 (en) * | 2001-07-25 | 2005-07-19 | Nantero, Inc. | Electromechanical memory array using nanotube ribbons and method for making same |
US6706402B2 (en) * | 2001-07-25 | 2004-03-16 | Nantero, Inc. | Nanotube films and articles |
US6643165B2 (en) * | 2001-07-25 | 2003-11-04 | Nantero, Inc. | Electromechanical memory having cell selection circuitry constructed with nanotube technology |
FR2833935B1 (fr) * | 2001-12-26 | 2004-01-30 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication d'au moins un nanotube entre deux elements electriquement conducteurs et dispositif pour mettre en oeuvre un tel procede |
US6894359B2 (en) * | 2002-09-04 | 2005-05-17 | Nanomix, Inc. | Sensitivity control for nanotube sensors |
US6689674B2 (en) * | 2002-05-07 | 2004-02-10 | Motorola, Inc. | Method for selective chemical vapor deposition of nanotubes |
US7253434B2 (en) * | 2002-10-29 | 2007-08-07 | President And Fellows Of Harvard College | Suspended carbon nanotube field effect transistor |
US20040200734A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-10-14 | Co Man Sung | Nanotube-based sensors for biomolecules |
US6764874B1 (en) * | 2003-01-30 | 2004-07-20 | Motorola, Inc. | Method for chemical vapor deposition of single walled carbon nanotubes |
ITTO20030425A1 (it) * | 2003-06-06 | 2004-12-07 | St Microelectronics Srl | Dispositivo interruttore elettrico a comando ottico basato su nanotubi di carbonio e sistema interruttore elettrico utilizzante tale dispositivo interruttore. |
JP2008505044A (ja) * | 2004-03-26 | 2008-02-21 | フォスター−ミラー,インコーポレーテッド | 電解析出によって製造されたカーボンナノチューブに基づく電子デバイス及びその応用 |
US7312155B2 (en) * | 2004-04-07 | 2007-12-25 | Intel Corporation | Forming self-aligned nano-electrodes |
BRPI0607284A2 (pt) * | 2005-01-28 | 2009-08-25 | Innovative Product Man Llc | método de tratamento de uma bebida para reduzir seu teor de açúcar |
US20070178507A1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-02 | Wei Wu | Method and apparatus for detection of molecules using nanopores |
EP3196645B1 (en) * | 2009-09-18 | 2019-06-19 | President and Fellows of Harvard College | Bare single-layer graphene membrane having a nanopore enabling high-sensitivity molecular detection and analysis |
-
2008
- 2008-10-02 JP JP2010527989A patent/JP5539210B2/ja active Active
- 2008-10-02 US US12/286,849 patent/US8470408B2/en active Active
- 2008-10-02 EP EP08835267.9A patent/EP2205522B1/en active Active
- 2008-10-02 AU AU2008307486A patent/AU2008307486B2/en active Active
- 2008-10-02 CA CA2700862A patent/CA2700862C/en active Active
- 2008-10-02 WO PCT/US2008/011413 patent/WO2009045473A2/en active Application Filing
-
2010
- 2010-03-28 IL IL204801A patent/IL204801A0/en unknown
Patent Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11139815A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Canon Inc | カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法 |
JP2003502166A (ja) * | 1999-06-22 | 2003-01-21 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | 固体状態の次元的特徴の制御 |
JP2003531592A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | イーグル リサーチ アンド ディベロップメント,リミティッド ライアビリティー カンパニー | 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置 |
JP2005510711A (ja) * | 2001-11-26 | 2005-04-21 | ソニー インターナショナル (ヨーロッパ) ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途 |
JP2003332266A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Kansai Tlo Kk | ナノチューブの配線方法及びナノチューブ配線用制御回路 |
JP2006507692A (ja) * | 2002-09-30 | 2006-03-02 | ナノシス・インコーポレイテッド | 大面積ナノ可能マクロエレクトロニクス基板およびその使用 |
US20060211183A1 (en) * | 2002-09-30 | 2006-09-21 | Nanosys, Inc. | Large-area nanoenabled macroelectronic substrates and uses therefor |
WO2004035211A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-29 | Advanced Research Corporation | Solid state membrane channel device for the measurement and characterization of atomic and molecular sized samples |
JP2004136377A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分子ナノワイヤ−ナノ微粒子複合体、その製造方法ならびに該複合体を用いた分子ワイヤリング法 |
JP2006513878A (ja) * | 2002-10-29 | 2006-04-27 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | カーボンナノチューブ素子の製造 |
US20040121525A1 (en) * | 2002-12-21 | 2004-06-24 | Chopra Nasreen G. | System with nano-scale conductor and nano-opening |
JP2004217456A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カーボンナノ細線の形成方法 |
JP2004233356A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-19 | Agilent Technol Inc | ナノポアを通って移動するバイオポリマーの識別装置及び方法 |
WO2004104568A1 (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-02 | Japan Science And Technology Agency | 単一電子型トランジスタ、電界効果型トランジスタ、センサー、センサーの製造方法ならびに検出方法 |
JP2005111583A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Sii Nanotechnology Inc | ナノメータスケールの構造物の作製方法 |
JP2005277182A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Sharp Corp | ナノワイヤ及びその製造方法、半導体装置 |
JP2006051574A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ナノサイズ材料の設置方法 |
US20080013052A1 (en) * | 2004-09-08 | 2008-01-17 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Projection Display Device |
WO2007084163A2 (en) * | 2005-04-06 | 2007-07-26 | President And Fellows Of Harvard College | Molecular characterization with carbon nanotube control |
JP2008536124A (ja) * | 2005-04-06 | 2008-09-04 | ザ プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ | カーボンナノチューブコントロールを用いる分子特性解析 |
WO2006134942A1 (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | 電界効果トランジスタ、それを具備するバイオセンサ、および検出方法 |
JP2007093294A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Sharp Corp | 化学物質検出用センサ |
JP2007165678A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置の製造方法および装置 |
JP2007160483A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Hitachi Ltd | ナノチューブの配線方法とこれを用いた電子部品及び電子放出源 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
BRIAN C. GIERHART, DAVID G. HOWITT, SHIAHN J. CHEN, ZHINENG ZHU, DAVID E. KOTECKI, ROSEMARY L. SMITH: "Nanopore with Transverse Nanoelectrodes for Electrical Characterization and Sequencing of DNA", THE 14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS, JPN6013047832, 10 June 2007 (2007-06-10), pages 399 - 402, XP031133212, ISSN: 0002778582 * |
PENG CHEN, TOSHIYUKI MITSUI, DAMON B. FARMER, JENE GOLOVCHENKO, ROY G. GORDON, DANIEL BRANTON: "Atomic Layer Deposition to Fine-Tune the Surface Properties and Diameters of Fabricated Nanopores", NANO LETTERS, vol. 4, no. 7, JPN6013047833, 25 June 2004 (2004-06-25), pages 1333 - 1337, XP055171588, ISSN: 0002778583, DOI: 10.1021/nl0494001 * |
佐々木敬彦、池上亜紗土、望月芳香、青木伸之、落合勇一: "カーボンナノチューブを微小電極としたDNAの電気伝導測定", 日本物理学会講演概要集, vol. Vol. 59, No. 2-4, JPN6013047831, 5 August 2004 (2004-08-05), pages 767ページ, ISSN: 0002778581 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014531580A (ja) * | 2011-09-09 | 2014-11-27 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation | ナノチューブをナノ細孔内に埋め込む方法、およびそれによって得られた装置 |
JP2014529082A (ja) * | 2011-09-28 | 2014-10-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 単一分子を処理するための装置 |
US10281453B2 (en) | 2011-09-28 | 2019-05-07 | Koninklijke Philips N.V. | Apparatus for the processing of single molecules |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009045473A2 (en) | 2009-04-09 |
WO2009045473A3 (en) | 2009-12-10 |
US8470408B2 (en) | 2013-06-25 |
CA2700862A1 (en) | 2009-04-09 |
EP2205522B1 (en) | 2019-03-13 |
CA2700862C (en) | 2016-11-15 |
US20090136682A1 (en) | 2009-05-28 |
IL204801A0 (en) | 2010-11-30 |
AU2008307486A1 (en) | 2009-04-09 |
JP5539210B2 (ja) | 2014-07-02 |
EP2205522A2 (en) | 2010-07-14 |
AU2008307486B2 (en) | 2014-08-14 |
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---|---|---|
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