JP2010536001A - シリコンベース電子回路を乾燥させるための装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
Claims (20)
- シリコンベース電子回路(30)、とりわけ光起電力セルの乾燥装置であって、
−前記シリコンベース電子回路(30)が、少なくとも1つの乾燥サイクルにさらされるように内部に導入可能な入口アパーチャー(19)と、前記シリコンベース電子回路(30)が取外し可能であり、またこの乾燥チャンバ(46)において前記シリコンベース電子回路(30)を乾燥可能な乾燥手段(50)が配置されている出口アパーチャー(21)とを設ける乾燥チャンバ(46)を有する乾燥オーブン(20)と、
−前記入口アパーチャー(19)と前記出口アパーチャー(21)との間の進行方向(X)に、前記乾燥チャンバ(46)の内側で前記シリコンベース電子回路(30)を移動させることができる移動手段(14)であって、複数のサポート部材(12)が搭載可能な閉リング手段(22)を備える移動手段(14)であり、各サポート部材が、上下に重ねて配置されている複数のサポート要素(16)を備え、各サポート部材には前記シリコンベース電子回路(30)のうちの1つが位置決め可能である移動手段(14)と、を備え、起動手段(25)が、前記乾燥サイクルの期間と関連付けられた前記乾燥チャンバ(46)の内側の既定の進行速度を前記サポート部材(12)に伝えるために前記閉リング手段(22)に連結されている乾燥装置。 - 前記閉リング手段(22)に搭載されている複数のサポートプレート(24)を備え、各サポートプレート(24)には前記サポート部材(12)のうちの少なくとも1つが位置決め可能である、請求項1に記載の装置。
- 前記サポート部材(12)が、前記サポートプレート(24)の各々に横方向に隣接して、ペアで位置決めされている、請求項2に記載の装置。
- 前記サポート部材(12)が、前記進行方向(X)に直交した軸(Y)に対して既定の角度(α)だけ傾斜して位置決めされている、請求項3に記載の装置。
- 前記サポート部材(12)が、前記サポートプレート(24)の各々に横方向に隣接して3つで位置決めされている、請求項2に記載の装置。
- 前記サポート部材(12)の最初の2つが、前記進行方向(X)に直交する軸(Y)に対して既定の角度(α)だけ傾斜して位置決めされており、前記サポート部材(12)の3つ目が前記最初の2つのサポート部材(12)間の中央に垂直に位置決めされている、請求項5に記載の装置。
- 前記サポートプレート(24)の各々が、空気が通過するチャネル(224)を画成する2つの相対的垂直壁(124)を有する、請求項2に記載の装置。
- 各サポート部材(12)は、総数約40〜60個のシリコンベース電子回路(30)を、相互に離れた前記サポート要素(16)上にサポートすることができる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置。
- 入口アパーチャー(19)と出口アパーチャー(21)間の前記乾燥チャンバ(46)の長さが約8〜12メートルである、請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記乾燥サイクルの期間が約40〜50分である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記閉リング手段(22)の進行速度が、毎分約16センチメートル〜毎分約30センチメートルである、請求項1〜10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記サポート部材が、前記シリコンベース電子回路(30)をロードするための少なくとも1つの開放側部を有し、かつ前記シリコンベース電子回路(30)がロードされる内側容積を画成するコンテナ(12)であり、前記サポート要素は、前記シリコンベース電子回路(30)が前記コンテナ(12)の前記内側容積の内側に積層されるように、相互から所定の距離で前記コンテナ(12)の高さに沿って、前記コンテナ(12)の前記内側容積に配置されている複数のガイド(16)からできている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の装置。
- シリコンベース電子回路(30)が、少なくとも1つの乾燥サイクルにさらされるように導入可能な入口アパーチャー(19)、前記シリコンベース電子回路(30)が取外し可能であり、また前記シリコンベース電子回路(30)を乾燥可能な乾燥手段(50)が配置されている出口アパーチャー(21)を設ける乾燥チャンバ(46)を有する乾燥オーブン(20)と、前記入口アパーチャー(19)と前記出口アパーチャー(21)との間の進行方向(X)に、前記乾燥チャンバ(46)の内側で前記シリコンベース電子回路(30)を移動させることができる移動手段(14)において、シリコンベース電子回路(30)、とりわけ光起電力セルを乾燥させるための方法であって、
前記シリコンベース電子回路(30)が、上下に重ねて配置されているサポート要素(16)上に1つずつ位置決めされている複数のサポート部材(12)に挿入され、前記サポート部材(12)が前記移動手段(14)の閉リング手段(22)に搭載される第1のステップと、
前記閉リング手段(22)が、前記乾燥サイクルの期間と関連付けられた前記乾燥チャンバ(46)の内側の既定の進行速度を各サポート部材(12)に伝えるように、起動手段(25)によって駆動される第2のステップと、
前記サポート部材(12)に挿入されている前記シリコンベース電子回路(30)の前記乾燥サイクルが実現される、前記第2のステップと関連付けられた第3のステップと、
前記サポート部材(12)の各々が、前記乾燥オーブン(20)の外側に前記移動手段(14)によって移動される第4のステップと、
を備える方法。 - 前記サポート部材(12)は、約40〜60個の多数のシリコンベース電子回路(30)を前記サポート要素(16)上に、互いに離してサポートすることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記乾燥サイクルの期間が約40〜50分である、請求項13または14に記載の方法。
- 前記進行速度が略一定である、請求項13、14または15に記載の方法。
- 前記進行速度が、毎分約16センチメートル〜毎分30センチメートルである、請求項16に記載の方法。
- 前記進行速度は、ほぼ一定の加速を伴う、請求項13、14または15に記載の方法。
- 前記進行速度の傾向が、一定の加速部分と一定の減速部分とを備える、請求項13、14または15に記載の方法。
- 前記進行速度が断続的である、請求項13、14または15に記載の方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108582803A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-09-28 | 武汉中科鑫海科技有限公司 | 一种动车组轴箱弹簧防雪罩的油电烤箱系统 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101826576B (zh) * | 2010-04-12 | 2012-07-25 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种用于太阳能电池片自动烘干链条式传动系统 |
CN103543258B (zh) * | 2012-07-12 | 2015-09-02 | 艾博生物医药(杭州)有限公司 | 一种自动化快速烘干样品接收垫的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02226790A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の乾燥装置 |
EP1041866A2 (en) * | 1999-04-02 | 2000-10-04 | Gisulfo Baccini | Device to produce electronic circuits |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60154531A (ja) * | 1984-01-24 | 1985-08-14 | Nec Corp | 半導体基板の乾燥方法 |
EP0441743A1 (de) * | 1990-02-05 | 1991-08-14 | Ciba-Geigy Ag | Transportvorrichtung für Platten mit empfindlicher Oberfläche, insbesondere für nassbeschichtete Leiterplatten |
IT1252949B (it) * | 1991-09-30 | 1995-07-06 | Gisulfo Baccini | Procedimento per la lavorazione di circuiti tipo green-tape e dispositivo adottante tale procedimento |
IT1259732B (it) * | 1992-07-07 | 1996-03-26 | Gisulfo Baccini | Dispositivo di prelievo, sovrapposizione e bloccaggio di fogli per circuiti green-tape |
ES2082431T3 (es) | 1992-09-09 | 1996-03-16 | Ciba Geigy Ag | Dispositivo para revestir articulos en forma de placas, particularmente placas de circuito impreso. |
US5379784A (en) * | 1993-01-23 | 1995-01-10 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for cleaning conveyor chuck |
JP2604561B2 (ja) * | 1994-12-26 | 1997-04-30 | 山形日本電気株式会社 | ウェーハ乾燥装置 |
KR980012044A (ko) * | 1996-03-01 | 1998-04-30 | 히가시 데츠로 | 기판건조장치 및 기판건조방법 |
US5873177A (en) * | 1996-05-20 | 1999-02-23 | Tokyo Electron Limited | Spin dryer and substrate drying method |
TW416261B (en) * | 1997-04-24 | 2000-12-21 | Ciba Sc Holding Ag | Process and apparatus for the treatment of coated printed circuit boards |
US6164297A (en) * | 1997-06-13 | 2000-12-26 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying apparatus for objects to be processed |
JP3151613B2 (ja) * | 1997-06-17 | 2001-04-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄・乾燥処理方法及びその装置 |
IT1310557B1 (it) * | 1999-04-02 | 2002-02-18 | Gisulfo Baccini | Apparecchiatura per la produzione di circuiti elettronicimultistrato |
CN1442661A (zh) * | 2002-03-05 | 2003-09-17 | 株式会社萌力克 | 烘干装置 |
KR100505061B1 (ko) * | 2003-02-12 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 기판 이송 모듈 |
CN1278390C (zh) * | 2003-02-26 | 2006-10-04 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 晶片干燥方法和装置 |
KR100696379B1 (ko) * | 2005-04-26 | 2007-03-19 | 삼성전자주식회사 | 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법 |
JP5140641B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2013-02-06 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US8756826B2 (en) * | 2010-11-30 | 2014-06-24 | Mei, Llc | Liquid coalescence and vacuum dryer system and method |
CN103250230B (zh) * | 2010-12-13 | 2016-08-31 | Tp太阳能公司 | 掺杂剂涂布系统以及涂布蒸气化掺杂化合物于光伏太阳能晶圆的方法 |
-
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2008
- 2008-06-25 TW TW097123689A patent/TW200921755A/zh unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02226790A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の乾燥装置 |
EP1041866A2 (en) * | 1999-04-02 | 2000-10-04 | Gisulfo Baccini | Device to produce electronic circuits |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108582803A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-09-28 | 武汉中科鑫海科技有限公司 | 一种动车组轴箱弹簧防雪罩的油电烤箱系统 |
CN108582803B (zh) * | 2018-04-02 | 2020-06-19 | 武汉中科鑫海科技有限公司 | 一种动车组轴箱弹簧防雪罩的油电烤箱系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200921755A (en) | 2009-05-16 |
EP2162900A1 (en) | 2010-03-17 |
CN101730924B (zh) | 2013-02-13 |
JP5043185B2 (ja) | 2012-10-10 |
US20100307022A1 (en) | 2010-12-09 |
KR20100049565A (ko) | 2010-05-12 |
WO2009001379A1 (en) | 2008-12-31 |
CN101730924A (zh) | 2010-06-09 |
KR101379811B1 (ko) | 2014-05-07 |
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