JP2010529656A - プラズマプロセスの処理均一性を改善する装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2007年6月1日に出願された米国仮特許出願第60/941,518号の利益を主張する。この仮出願の開示は、参照によってその全体が本明細書に援用される。
Claims (19)
- 外周縁を有する加工物のプラズマ加工において使用する装置であって、
プラズマによって除去可能な材料から成る犠牲体であって、前記加工物の外径が効果的に増大するように該加工物の前記外周縁の周りに配置されるようになっている犠牲体を備える、装置。 - 前記犠牲体は、並置した関係で配置されると環状の幾何学的形状を有するように配置される複数のセクションを含み、該複数のセクションは、前記加工物と同心配置されるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記犠牲体は有機ポリマーから成る、請求項1に記載の装置。
- 前記有機ポリマーはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリイミド又はポリアミドである、請求項3に記載の装置。
- 前記犠牲体は、プラズマに暴露される前記加工物の一部を構成する材料と同様の組成である材料から成る、請求項1に記載の装置。
- 前記犠牲体は、環状の幾何学的形状と、前記加工物の前記外周縁の外径と実質的に等しい内径とを有する、請求項1に記載の装置。
- 外周縁と、該外周縁によって接続されている第1の面及び第2の面とを有する加工物をプラズマ加工する装置であって、
プラズマを収容するように構成されている真空筐体であって、前記加工物の前記第1の面がプラズマに暴露されるときに、前記加工物の前記第2の面と接触して支持するようになっている支持台座を含む、真空筐体と、
プラズマによって除去可能な材料から成る犠牲体であって、前記加工物の外径が効果的に増大するように、前記台座上で支持される前記加工物の前記外周縁の周りに延在する犠牲体とを備える、装置。 - 前記犠牲体は、並置した関係で配置されると環状の幾何学的形状を有するように配置される複数のセクションを含み、該複数のセクションは、前記加工物と同心配置されるように構成されている、請求項7に記載の装置。
- 前記真空筐体内に配置されているウエハリフト機構をさらに備え、該ウエハリフト機構はウエハ固定具を含み、該ウエハ固定具は、該ウエハ固定具が前記加工物を前記支持台座と接触しない関係で保持する第1の位置と、該ウエハ固定具が前記加工物の前記第2の面を前記支持台座と接触する関係で配置する第2の位置との間で移動可能であり、前記犠牲体の前記第1のセクションは前記ウエハ固定具によって担持される、請求項8に記載の装置。
- 前記第2のセクションは、前記支持台座に隣接して取り付けられ、前記ウエハ固定具が前記第1の位置と前記第2の位置との間を移動するときに静止したままである、請求項9に記載の装置。
- 前記犠牲体は有機ポリマーから成る、請求項7に記載の装置。
- 前記有機ポリマーはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリイミド又はポリアミドである、請求項11に記載の装置。
- 前記犠牲体は、プラズマに暴露される前記加工物の一部を構成する材料と同様の組成である材料から成る、請求項7に記載の装置。
- 前記犠牲体は、環状の幾何学的形状と、前記加工物の前記外周縁の外径と実質的に等しい内径とを有する、請求項7に記載の装置。
- 第1の面と、第2の面と、該第1の面及び該第2の面を接続している外周縁とを有する加工物をプラズマエッチングする方法であって、
前記加工物の前記外周縁の周りに、プラズマによって除去可能な材料から成る犠牲体を配置すること、
前記加工物の前記第1の面及び前記犠牲体をプラズマに暴露すること、並びに
最大エッチング速度を、前記加工物の前記第1の面上の位置から前記犠牲体上の異なる位置へシフトすることを含む、方法。 - 前記加工物の前記第1の面を、前記エッチングプロセス中にプラズマを閉じ込める真空筐体内に位置決めされる支持台座上で支持することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記犠牲体は、位置合わせされると環状の幾何学的形状を画定する複数のセクションに分割されており、前記方法は、
前記加工物を、前記真空筐体内に配置されているウエハリフト機構上で一時的に支持すること、
前記ウエハリフト機構を移動させて前記加工物を該ウエハリフト機構から前記支持台座へ搬送すること、及び
前記加工物を搬送するとき、前記犠牲体の前記セクションのうちの少なくとも一方と該犠牲体の該セクションのうちの少なくとも別のセクションとを位置合わせすることであって、実質的に連続する環状の幾何学的形状を画定する、位置合わせすることをさらに含む、請求項15に記載の方法。 - 前記加工物の前記第1の面をエッチングしている間に該加工物を前記支持台座で支持することをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記犠牲体の材料をプラズマに暴露することによって侵食すること、及び
前記犠牲体の十分な侵食が起こった後で該犠牲体を別の犠牲体と交換することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US94151807P | 2007-06-01 | 2007-06-01 | |
US12/125,335 US20080296261A1 (en) | 2007-06-01 | 2008-05-22 | Apparatus and methods for improving treatment uniformity in a plasma process |
PCT/US2008/064670 WO2008150739A1 (en) | 2007-06-01 | 2008-05-23 | Apparatus and methods for improving treatment uniformity in a plasma process |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010529656A true JP2010529656A (ja) | 2010-08-26 |
JP2010529656A5 JP2010529656A5 (ja) | 2011-07-07 |
Family
ID=40086939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010510438A Pending JP2010529656A (ja) | 2007-06-01 | 2008-05-23 | プラズマプロセスの処理均一性を改善する装置及び方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080296261A1 (ja) |
JP (1) | JP2010529656A (ja) |
KR (1) | KR20100025515A (ja) |
CN (1) | CN101681785B (ja) |
DE (1) | DE112008001482T5 (ja) |
TW (1) | TW200905777A (ja) |
WO (1) | WO2008150739A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015532001A (ja) * | 2012-08-06 | 2015-11-05 | ノードソン コーポレーションNordson Corporation | 異なるサイズのワークを取り扱う装置及び方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG174093A1 (en) | 2006-08-22 | 2011-09-29 | Nordson Corp | Apparatus and methods for handling workpieces in a processing system |
US8372238B2 (en) | 2008-05-20 | 2013-02-12 | Nordson Corporation | Multiple-electrode plasma processing systems with confined process chambers and interior-bussed electrical connections with the electrodes |
KR20110042053A (ko) * | 2008-06-11 | 2011-04-22 | 솔라 임플란트 테크놀로지스 아이엔씨. | 주입을 이용한 솔라 셀-선택 에미터의 형성 및 어닐링 방법 |
US8749053B2 (en) * | 2009-06-23 | 2014-06-10 | Intevac, Inc. | Plasma grid implant system for use in solar cell fabrications |
US9324598B2 (en) | 2011-11-08 | 2016-04-26 | Intevac, Inc. | Substrate processing system and method |
CN103165374B (zh) * | 2011-12-08 | 2017-05-10 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 一种等离子体处理装置及应用于等离子处理装置的边缘环 |
US9318332B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-04-19 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
CN113035680A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 用于真空设备的调平机构和等离子体处理装置 |
CN111180370A (zh) * | 2020-02-21 | 2020-05-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶圆承载托盘及半导体加工设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0373524A (ja) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Fujitsu Ltd | エッチング方法 |
JP2000299305A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置 |
JP2010502016A (ja) * | 2006-08-22 | 2010-01-21 | ノードソン コーポレーション | 処理システムでワークピースを扱うための装置及び方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4786359A (en) * | 1987-06-24 | 1988-11-22 | Tegal Corporation | Xenon enhanced plasma etch |
US6284093B1 (en) * | 1996-11-29 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Shield or ring surrounding semiconductor workpiece in plasma chamber |
US20010049196A1 (en) * | 1997-09-09 | 2001-12-06 | Roger Patrick | Apparatus for improving etch uniformity and methods therefor |
US6074488A (en) * | 1997-09-16 | 2000-06-13 | Applied Materials, Inc | Plasma chamber support having an electrically coupled collar ring |
US6014979A (en) * | 1998-06-22 | 2000-01-18 | Applied Materials, Inc. | Localizing cleaning plasma for semiconductor processing |
DE29813326U1 (de) * | 1998-07-29 | 1998-12-10 | Protec Ges Fuer Werkstoff Und | Verbesserte Vorrichtung zum Schutz von elektrostatischen Haltesystemen in Anlagen zur Bearbeitung von Wafern |
US6344105B1 (en) * | 1999-06-30 | 2002-02-05 | Lam Research Corporation | Techniques for improving etch rate uniformity |
US6475336B1 (en) * | 2000-10-06 | 2002-11-05 | Lam Research Corporation | Electrostatically clamped edge ring for plasma processing |
US6391787B1 (en) * | 2000-10-13 | 2002-05-21 | Lam Research Corporation | Stepped upper electrode for plasma processing uniformity |
US6554954B2 (en) * | 2001-04-03 | 2003-04-29 | Applied Materials Inc. | Conductive collar surrounding semiconductor workpiece in plasma chamber |
JP2003100713A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Kawasaki Microelectronics Kk | プラズマ電極用カバー |
US6776849B2 (en) * | 2002-03-15 | 2004-08-17 | Asm America, Inc. | Wafer holder with peripheral lift ring |
KR100610010B1 (ko) * | 2004-07-20 | 2006-08-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 식각 장치 |
KR100674922B1 (ko) * | 2004-12-02 | 2007-01-26 | 삼성전자주식회사 | 포커스 링을 냉각하는 냉각 유로를 가지는 웨이퍼지지장치 |
-
2008
- 2008-05-22 US US12/125,335 patent/US20080296261A1/en not_active Abandoned
- 2008-05-23 DE DE112008001482T patent/DE112008001482T5/de not_active Withdrawn
- 2008-05-23 CN CN2008800184440A patent/CN101681785B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-23 KR KR1020097024756A patent/KR20100025515A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-05-23 JP JP2010510438A patent/JP2010529656A/ja active Pending
- 2008-05-23 WO PCT/US2008/064670 patent/WO2008150739A1/en active Application Filing
- 2008-05-30 TW TW097120323A patent/TW200905777A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0373524A (ja) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Fujitsu Ltd | エッチング方法 |
JP2000299305A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置 |
JP2010502016A (ja) * | 2006-08-22 | 2010-01-21 | ノードソン コーポレーション | 処理システムでワークピースを扱うための装置及び方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015532001A (ja) * | 2012-08-06 | 2015-11-05 | ノードソン コーポレーションNordson Corporation | 異なるサイズのワークを取り扱う装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100025515A (ko) | 2010-03-09 |
WO2008150739A1 (en) | 2008-12-11 |
CN101681785B (zh) | 2012-05-09 |
US20080296261A1 (en) | 2008-12-04 |
TW200905777A (en) | 2009-02-01 |
CN101681785A (zh) | 2010-03-24 |
DE112008001482T5 (de) | 2010-04-29 |
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