JP2010529486A5

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Publication number: JP2010529486A5
Application number: JP2010509735A
Authority: JP
Filing date: 2008-05-30
Publication date: 2011-07-14
Anticipated expiration: 2028-05-30

Claims

２つの異なる光成分（１７，２２）を投影空間内に投影する１つの対物レンズ（１９）と１つの光学部品とを有する光学装置であって、前記投影空間内の一方の光成分（２２）の強度分布が、それ自体の干渉によってこの投影空間内の他方の光成分（１７）の強度分布と異なるように、前記光学部品が、透過して進行する前記一方の光成分（２２）の波面（５，６）を歪ませ、
前記他方の光成分（１７）の波面（１５）が、前記一方の光成分（２２）の波面（５）と同様に前記光学部品（１）を透過して進行し、この光学部品（１）は、前記他方の光成分（１７）の波面（１５）を歪ませず且つ／又はこの他方の光成分（１７）に対して位相補正されているか又は位相補正可能であり、
前記光学部品（１）は、その能動面にわたって、前記一方の光成分（２２）の波長の少なくとも１／４、特に少なくとも半分の位相シフトに相当する少なくとも１つのステップ、不連続面又は局所的な変化部分を有し、前記光学部品（１）は、この位相シフトをこの一方の光成分に及ぼし、前記他方の光成分（１７）が、このステップ、不連続面又は局所的な変化部分によって変化しないように、前記位相シフトが調整されているか又は調整可能であり、前記光学部品（１）が、この位相シフトを前記他方の光成分（１７）に及ぼす、光学装置において、
前記両光成分（１７，２２）は、それらの波長において相違すること、及び
前記光学部品（１）の２つの異なる領域が、位相シフトのステップ又は不連続面に対して異なる分布特性ｎ（λ）で互いに隣接していることを特徴とする光学装置。
前記対物レンズ（１９）は、両光成分（１７，２２）を１つの焦点領域に焦点合わせし、前記一方の光成分（２２）の強度分布が、この焦点領域の中心に零地点を有し、前記他方の光成分（１７）の強度分布が、当該中心に集中されているように、前記光学部品（１）が、この一方の光成分（２２）の波面（５）を歪ませることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
前記一方の光成分（２２）及び前記他方の光成分（１７）は、前記光学部品（１）の前方で１つの光ファイバー（２５）及び／又は１つの開口（１２）を一緒に透過することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
前記対物レンズ（１９）によって前記焦点領域から捕捉した光（２０）も、前記光ファイバー（２５）及び／又は前記開口（１２）を透過して進行することを特徴とする請求項３に記載の光学装置。
前記両光成分（２２，１７）の平面波面（５，１５）が、前記光学部品（１）に向かって進行することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学装置。
ステップ又は不連続面の位相シフトは、前記一方の光成分（２２）の波長の少なくとも半分であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学装置。
前記光学部品（１）は、この光学部品の光学軸線（２）に対してあらゆる法線方向に延在する方向に沿って少なくとも１／４の波長に相当するステップ又は不連続面を位相シフト中に有し、前記光学部品は、この位相シフトを前記一方の光成分（２２）に及ぼすことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学装置。
前記光学部品（１）の光学能動面が、円形の中央領域及びこの中央領域を周回する環状に延在する周辺を有し、この中央領域とこの周辺との間では、前記一方の光成分（２２）の位相シフトの差が、この一方の光成分（２２）の波長の半分になることを特徴とする請求項７に記載の光学装置。
前記光学部品（１）は、前記一方の光成分（２２）の光学軸線の周りの周囲方向にこの一方の光成分（２２）の波長まで増大する差の位相シフトをこの一方の光成分（２２）に及ぼすことを特徴とする請求項７に記載の光学装置。
前記両異なる領域はそれぞれ、前記光学部品の光学軸線（２）の方向に平面平行な面によって仕切られていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の光学装置。
前記光学部品（１）は、その異なる領域内に異なる材料（８，９）又は異なる材料の組み合わせを有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光学装置。
同じ材料（８，９）が、異なる領域内で異なる厚さで設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の光学装置。
前記材料のうちの少なくとも１つの材料（９）が、温度に依存する分布特性ｎ（λ，Ｔ）を有し、温度装置が、この材料に付設されていることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の光学装置。
前記材料のうちの少なくとも１つの材料が、電気的に変化可能な分布特性ｎ（λ，Ｕ）を有し、電圧Ｕで印加可能な電極が、この材料に付設されていることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の光学装置。
前記材料のうちの少なくとも１つの材料（９）は、ポリマー、ゲル、イマージョンオイル、顔料溶液又は液晶であることを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の光学装置。