JP2014521116A5

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Publication number: JP2014521116A5
Application number: JP2014518591A
Authority: JP
Filing date: 2012-06-07
Publication date: 2015-07-09
Anticipated expiration: 2032-06-07

Claims

光学システムにおいて、
対物レンズと、
照明の光源と、
前記照明を前記対物レンズ上に向けるように構成されている照明光学系を有する照明システムと、
それぞれ前記照明システムの中にある、瞳共役平面およびフィールド共役平面に位置付けられる少なくとも２つの動的光学アレイ装置と、を備えており、
前記動的光学アレイ装置は、前記照明システムから前記対物レンズに結合される前記照明の１つ以上の特性を制御するように構成されている、光学システム。
前記対物レンズが、前記照明をターゲットに焦束させて、前記ターゲットから照明散乱放射線を収集するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記対物レンズに光学的に結合される収集光学系を有する収集システムをさらに備えており、前記収集光学系が、前記ターゲットから前記散乱照明を収集し、前記散乱照明を検出器に結合させるように構成されており、前記動的光学アレイ装置が、前記収集光学系の光学収差を除去するために光学収差を補償することを前記照明システムに導入するように構成されている、請求項２に記載の光学システム。
前記瞳共役平面に位置付けられる前記アレイ装置が、前記瞳共役平面の異なる対応する部分を通過する前記照明の異なる選択部分を、前記照明のコヒーレンス時間より長く、かつ前記検出器の検出器フレームより短い時間にわたって、同時に伝達するように構成されている、請求項３に記載の光学システム。
前記収集システムが、前記収集光学系の瞳面に位置付けられる追加的な動的光学アレイ装置を含んでいる、請求項３に記載の光学システム。
前記追加的な動的光学アレイ装置が、前記検出器に到達する中から前記収集光学系の必要とされない回折次数をフィルタリングするように構成されている、請求項５に記載の光学システム。
前記収集光学系の収差を決定するように構成されている位置感応検出器（ＰＳＤ）アレイまたは位相検出器アレイをさらに備えている、請求項３に記載の光学システム。
前記ＰＳＤアレイまたは位相検出器アレイが、収集経路内に位置付けられる、請求項７に記載の光学システム。
前記動的光学アレイ装置が、１つ以上のマイクロミラー装置を含んでいる、請求項１に記載の光学システム。
前記瞳共役平面に位置付ける前記マイクロミラー装置が、前記瞳の必要照明分散をもたらすように構成されている、請求項９に記載の光学システム。
前記フィールド共役平面に位置付けられる前記マイクロミラー装置が、光密度の修正のために前記フィールド点を選択するように構成されている、請求項１０に記載の光学システム。
前記マイクロミラー装置が、デジタルマイクロミラー装置（ＤＭＤ）を備えている、請求項１１に記載の光学システム。
前記動的光学アレイ装置が、前記光学システムの瞳またはフィールドにわたって前記照明の偏光分散を調整するように構成されている１つまたは複数のアレイの装置を含んでいる、請求項１に記載の光学システム。
照明の前記光源が、前記電磁放射の偏光状態を選択するように構成されている偏光制御要素を含んでいる、請求項１に記載の光学システム。
前記偏光制御要素が、前記照明の波長に応じて前記偏光状態を選択するように構成されている、請求項１４に記載の光学システム。
前記動的光学アレイ装置が、前記照明光学系の不完全性を補償するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記照明光学系の前記不完全性が、ガラス不均質性、ｓｔｒａｅ、気泡またはかき傷およびくぼみ、粗さを含んでいる、請求項１６に記載の光学システム。
前記瞳共役平面の動的光学アレイ装置が、前記対物瞳の瞳で前記照明の直径を制御するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記瞳共役平面の前記動的アレイ装置は、照明が前記対物レンズの前記瞳に到達することを選択的に阻止する、あるいは、照明が前記対物レンズの前記瞳に到達するべく照明を選択的に伝達するまたは反射するように構成されている、請求項１８に記載の光学システム。
前記フィールド共役平面の前記動的光学アレイ装置が、前記対物レンズによってターゲットに結合される前記照明の角度分散を制御するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記フィールド共役平面の前記動的光学アレイ装置が、前記対物レンズによって前記ターゲットに結合される前記放射線で前記ターゲットの選択部分だけを照明するように構成されている、請求項２０に記載の光学システム。
前記動的光学アレイ装置が、前記瞳共役平面またはフィールド共役平面の前記照明の光学特性を画素当たりベースで調整するように構成されている動的光学装置のアレイを含んでいる、請求項１に記載の光学システム。
前記光学特性が、前記対物レンズの前記瞳での照明の画素当たりの角度分散である、請求項２２に記載の光学システム。
前記第１または第２の動的光学アレイ装置に結合されている制御装置をさらに備えており、制御装置は、その間、前記第１または第２の動的光学アレイ装置の中の動的光学装置が、特定の状態で過ごす、検出器フレームの間の時間の割合を調整するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記動的光学装置と照明の前記光源の間、または、前記動的光学装置と前記対物レンズの間に配置される追加的な動的光学装置をさらに備えており、前記制御装置が、前記動的光学装置の前記状態を前記追加的な動的装置の状態と同期させるように構成されている、請求項２４に記載の光学システム。
前記追加的な動的光学装置が、スペクトル制御要素または偏光制御要素である、請求項２５に記載の光学システム。
前記動的光学アレイ装置が、特定の偏光の照明を画素当たりベースで選択的に伝達するまたは反射するように構成されている電子的に調節可能な偏光装置のアレイと、照明の偏光を望ましい方向に画素当たりベースで回転させるように構成されている偏光回転装置のアレイと、照明の電磁周波数の特定範囲を画素当たりベースで選択的に反射するまたは送信するように構成されているスペクトルフィルタ装置のアレイとを含んでいる、請求項２２に記載の光学システム。
前記光学システムは、散乱計測オーバーレイシステムである、請求項１に記載の光学システム。
前記瞳共役およびフィールド共役に位置付けられる前記光学アレイ装置が、前記照明光学系の対称収差を補償するように構成されている、請求項１に記載の光学システム。
前記照明システムが、前記照明の偏光角を前記フィールド共役平面に位置付けられる前記アレイ装置によって選択される画像に同期させるように構成される回転偏光子をさらに備えている、請求項１に記載の光学システム。
対物レンズと、照明の光源と、照明を前記対物レンズ上に向けるように構成されている照明光学系とを有する光学システムの照明制御のための方法であって、
前記光源からの照明の第１の特性を、前記瞳共役平面に位置付けられる第１の動的光学アレイ装置を使用して、瞳共役平面で調整することであって、前記瞳共役平面は、前記対物レンズの瞳に対して共役である、照明の第１の特性を調整することと、
前記光源からの照明の第２の特性を、前記フィールド共役平面に位置付けられる第２の動的光学アレイ装置を使用して、フィールド共役平面で調整することであって、前記フィールド共役平面は、ターゲットで前記対物レンズの焦点のフィールドに対して共役である、照明の第２の特性を調整することと、を含む方法。
前記第１の特性が、前記瞳共役平面での照明の直径である、請求項３１に記載の方法。
前記第２の特性が、前記フィールド共役平面での照明の角度分散である、請求項３１に記載の方法。
前記第１または第２の特性が、画素当たりベースの照明減衰の画素当たり分散である、請求項３１に記載の方法。
前記第１または第２の光学特性が、前記照明の画素当たりスペクトルである、請求項３１に記載の方法。
前記第１または第２の特性が、前記照明の偏光分散である、請求項３１に記載の方法。
前記第１または第２の特性が、前記対物レンズの前記瞳での照明の画素当たり角度分散である、請求項３１に記載の方法。
前記光学システムと前記異なる光学システムとをツールマッチングさせるために、１つ以上の前記動的光学アレイ装置の設定を異なる光学システムに転送することをさらに含んでいる、請求項３１に記載の方法。
前記第１または第２の特性を調整することが、その間、前記第１または第２の動的光学アレイ装置の中の動的光学装置が、特定の状態で過ごす、検出器フレームの間の時間の割合を調整することを含んでいる、請求項３１に記載の方法。
特性が含む前記１または２番目を調整することが、前記第１または第２の動的光学アレイの中の動的光学装置のそれぞれの前記状態を、前記第１または第２の動的光学アレイ装置に光学的に結合されている追加的な動的光学装置の状態と同期させることを含んでいる、請求項３１に記載の方法。
前記追加的な動的光学装置が、スペクトル制御要素または偏光制御要素である、請求項４０に記載の方法。
前記第１または第２の動的光学アレイの中で、動的光学装置のそれぞれの前記状態を同期させることが、前記第１および第２、または第２の動的光学アレイ装置の前記動的光学装置のさまざまなサブセットを、前記追加的な光学装置のさまざまな状態に、検出器フレームの前記過程を通して同期させることを含んでいる、請求項４０に記載の方法。
動的光学装置のそれぞれの前記状態を同期させることが、前記照明の偏光角を、前記フィールド共役平面に位置付けられる前記アレイ装置によって選択される画像に同期させることを含んでいる、請求項４０に記載の方法。
前記第１の特性を調整することが、前記瞳の照明部分の角度分散を、画素当たりベースで制御することを含んでいる、請求項３１に記載の方法。
前記瞳共役およびフィールド共役に位置付けられる前記光学アレイ装置が、前記照明光学系の対称収差を補償するように構成されている、請求項３１に記載の方法。
固定コンピュータ可読媒体は、その中にコンピュータ実行可能命令を包含していて、前記命令は、実行されれば、対物レンズと、照明の光源と、照明を前記対物レンズ上に向けるように構成されている照明光学系とを有する光学システムの照明制御のための方法を実施するように構成されており、前記方法において、
前記光源からの照明の第１の特性を、前記瞳共役平面に位置付けられる第１の動的光学アレイ装置を使用して、瞳共役平面で調整することであって、前記瞳共役平面は、前記対物レンズの瞳に対して共役である、照明の第１の特性を調整することと、
前記光源からの照明の第２の特性を、前記フィールド共役平面に位置付けられる第２の動的光学アレイ装置を使用して、フィールド共役平面で調整することであって、前記フィールド共役平面は、ターゲットで前記対物レンズの焦点のフィールドに対して共役である、照明の第２の特性を調整することと、を含んでいる方法。