JP2012526373A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012526373A5 JP2012526373A5 JP2012508944A JP2012508944A JP2012526373A5 JP 2012526373 A5 JP2012526373 A5 JP 2012526373A5 JP 2012508944 A JP2012508944 A JP 2012508944A JP 2012508944 A JP2012508944 A JP 2012508944A JP 2012526373 A5 JP2012526373 A5 JP 2012526373A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- band
- narrow
- module according
- prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 28
Claims (21)
- 狭帯域化モジュール(1)であって、
レーザビームを該レーザビームの伝播方向に対して横方向に拡大するビーム拡大モジュール(18)と、
反射型回折格子と
第1光学コンポーネントと、
第2光学コンポーネントと、
を備え、
前記第1光学コンポーネント(32)を、波面の擾乱を前記レーザビームの波面に重畳できるよう構成し、
該波面の擾乱は、前記狭帯域化モジュールの光軸に対して横方向の第1軸を中心とした円筒部分である第1の部分を含み、
前記第1光学コンポーネントを、前記第1軸と平行な旋回軸(35、43)を中心に旋回可能であるよう具現し、
前記第1光学コンポーネントを、前記第1軸を前記第2光学コンポーネントに関連して前記旋回軸を中心に旋回可能であるように具現し、
前記第2光学コンポーネントを、前記波面の擾乱の前記第1の部分を少なくとも部分的に補償できるよう構成したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。 - 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントを、プリズムとしたことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項2に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記プリズムの少なくとも1つの面の少なくとも一部は、円筒形のプロファイルを有し、前記プリズムの前記少なくとも一つの面は、該プリズムの入射面、該プリズムの出射面およびそれらの組み合わせからなる群から選択されることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントの少なくとも一部を、円筒形の形態とし、該第1光学コンポーネントを、前記レーザビームの経路に沿って前記ビーム拡大モジュールと前記反射型回折格子との間に配置したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項4に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントを、シリンドリカルレンズ又はシリンドリカルミラーとして構成したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項5に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを該狭帯域化モジュール内で変位可能に配置したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項5に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを、プリズムとしたことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項7に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記プリズムの少なくとも一つの面の少なくとも一部は、円筒形プロファイルを有し、前記プリズムの前記少なくとも一つの面は、前記プリズムの入射面、前記プリズムの出射面およびそれらの組み合わせからなる群から選択されることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項5に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントの少なくとも一部を円筒形の形態とし、該第2光学コンポーネントを、前記レーザビームの経路に沿って前記ビーム拡大モジュールと前記反射型回折格子との間に配置したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項9に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを、シリンドリカルレンズ又はシリンドリカルミラーとして構成したことを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記反射型回折格子は湾曲していることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項11に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記反射型回折格子の曲率の設定に用いることができる手段を備えることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントを第1のレンズとし、前記第2光学コンポーネントを第2のレンズとすることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントをプリズムとし、前記第2光学コンポーネントをレンズとすることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントを第1のプリズムとし、前記第2光学コンポーネントを第2のプリズムとすることを特徴とする、狭帯域化モジュール。
- 請求項1〜15の何れか一項に記載の狭帯域化モジュールを備えることを特徴とするレーザ光源。
- 約100fm〜約1000fmの範囲内でバンド幅を調整可能であることを特徴とする請求項16のレーザ光源。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを該狭帯域化モジュール内で変位可能としたことを特徴とする狭帯域化モジュール。
- 請求項1に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第1光学コンポーネントを、前記レーザビームの経路に沿って前記ビーム拡大モジュールと前記反射型回折格子との間に配置したことを特徴とする狭帯域モジュール。
- 請求項19に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを、前記レーザビームの前記経路に沿って前記第1光学コンポーネントと前記反射型回折格子との間に配置したことを特徴とする狭帯域モジュール。
- 請求項20に記載の狭帯域化モジュールにおいて、前記第2光学コンポーネントを該狭帯域化モジュール内で変位可能としたことを特徴とする狭帯域化モジュール。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17654509P | 2009-05-08 | 2009-05-08 | |
US61/176,545 | 2009-05-08 | ||
DE102009020501.2 | 2009-05-08 | ||
DE102009020501A DE102009020501A1 (de) | 2009-05-08 | 2009-05-08 | Bandbreiteneinengungsmoduls zur Einstellung einer spektralen Bandbreite eines Laserstrahls |
PCT/EP2010/002722 WO2010127831A1 (en) | 2009-05-08 | 2010-05-04 | Bandwidth narrowing module for setting a spectral bandwidth of a laser beam |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012526373A JP2012526373A (ja) | 2012-10-25 |
JP2012526373A5 true JP2012526373A5 (ja) | 2013-05-30 |
Family
ID=42542902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012508944A Pending JP2012526373A (ja) | 2009-05-08 | 2010-05-04 | レーザビームのスペクトルバンド幅を設定するための狭帯域化モジュール |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120099612A1 (ja) |
JP (1) | JP2012526373A (ja) |
DE (1) | DE102009020501A1 (ja) |
WO (1) | WO2010127831A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103676498B (zh) * | 2013-11-18 | 2017-04-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法 |
JP6999418B2 (ja) * | 2015-02-18 | 2022-01-18 | アイマックス シアターズ インターナショナル リミテッド | 投影された光のためのスペックル除去システム |
US9666191B1 (en) * | 2016-03-17 | 2017-05-30 | Vocalzoom Systems Ltd. | Laser-based system and optical microphone having increased bandwidth |
KR101753355B1 (ko) | 2016-07-20 | 2017-07-06 | 서울대학교산학협력단 | 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 패턴 제조 방법 |
DE102018209602B4 (de) | 2018-06-14 | 2022-05-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Baugruppe zur Verringerung einer spektralen Bandbreite eines Ausgabestrahls eines Lasers |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6101211A (en) * | 1995-04-03 | 2000-08-08 | Komatsu, Ltd. | Narrow-band laser apparatus |
JP4102457B2 (ja) * | 1997-05-09 | 2008-06-18 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザ装置 |
US6757316B2 (en) * | 1999-12-27 | 2004-06-29 | Cymer, Inc. | Four KHz gas discharge laser |
JP3590524B2 (ja) * | 1998-03-25 | 2004-11-17 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザの波面制御装置 |
US6061382A (en) * | 1998-05-04 | 2000-05-09 | Lambda Physik Gmbh | Laser system and method for narrow spectral linewidth through wavefront curvature compensation |
US6424666B1 (en) * | 1999-06-23 | 2002-07-23 | Lambda Physik Ag | Line-narrowing module for high power laser |
US6285701B1 (en) * | 1998-08-06 | 2001-09-04 | Lambda Physik Ag | Laser resonator for improving narrow band emission of an excimer laser |
US6163559A (en) * | 1998-06-22 | 2000-12-19 | Cymer, Inc. | Beam expander for ultraviolet lasers |
US6542243B2 (en) * | 2000-01-27 | 2003-04-01 | Lambda Physik Ag | Resonator optics monitoring method |
US6856638B2 (en) * | 2000-10-23 | 2005-02-15 | Lambda Physik Ag | Resonator arrangement for bandwidth control |
US7653095B2 (en) * | 2005-06-30 | 2010-01-26 | Cymer, Inc. | Active bandwidth control for a laser |
JP5157004B2 (ja) * | 2006-07-04 | 2013-03-06 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整方法 |
JP5114767B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2013-01-09 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 |
-
2009
- 2009-05-08 DE DE102009020501A patent/DE102009020501A1/de not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-05-04 JP JP2012508944A patent/JP2012526373A/ja active Pending
- 2010-05-04 WO PCT/EP2010/002722 patent/WO2010127831A1/en active Application Filing
-
2011
- 2011-09-21 US US13/238,470 patent/US20120099612A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012526373A5 (ja) | ||
EP1674834A3 (en) | Displacement detector | |
US9395550B2 (en) | Laser light source | |
JP2011507293A5 (ja) | ||
JP2016532161A5 (ja) | ||
JP2014130375A5 (ja) | ||
DE602007003487D1 (de) | Verbessertes Visier mit beweglichem rotem Leuchtpunkt | |
JP2016514278A5 (ja) | ||
WO2006050029A3 (en) | Apochromatic unit-magnification projection optical system | |
JP2016520860A5 (ja) | ||
JP2009505051A5 (ja) | ||
WO2002087428A3 (en) | Defocus and astigmatism compensation in a wavefront aberration measurement system | |
WO2005069054A3 (en) | Zoom optical system | |
WO2006059330A3 (en) | Reflective optical system | |
ATE485503T1 (de) | Einstellbarer interferenzfilter | |
JP2016510437A (ja) | 度数可変レンズ | |
WO2010127339A3 (en) | Grating structure for directing non-polarized light | |
JP2009276114A5 (ja) | ||
ATE443248T1 (de) | Optische verzögerung | |
JP2001042211A5 (ja) | ||
US9454132B2 (en) | Integrated hologram optical device | |
JP2012526373A (ja) | レーザビームのスペクトルバンド幅を設定するための狭帯域化モジュール | |
JP2006243500A (ja) | 波長分散補償器 | |
JP2006517293A5 (ja) | ||
JP2010014816A5 (ja) |