JP2010529296A - Cvd反応装置における基盤の表面温度の温度制御のための装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CVD反応装置は、回転駆動されるサセプタ(1)の上で動的ガスクッション(3)によって運ばれる多数の回転テーブル(2)を備える。各ガスクッション(3)は個別に制御されるガス流によって形成され、各ガス流は温度測定デバイス(4)によって測定される表面温度に応じて個別の制御素子(5)によって変えられる。CVD反応装置は、更に、サセプタ(1)を運び、サセプタ(1)とともに回転するキャリア(6)を備える。共通ガス供給ライン(7)がキャリア(6)内に開いてガス流を形成するガスを供給し、制御素子(5)がキャリア(6)に配置される。
【選択図】図3
Description
特許文献3は、プロセスチャンバーの中の基盤の表面温度を制御するためのデバイスを開示する。特許文献3に開示されている技術では、ガスクッションの高さが変えられるのではなくて、ガス混合物で構成されるガスの組成が変えられる。ガスの一つは高い熱伝導度を持ち、他のガスは低い熱伝導度を持つ。
特許文献4は、反応装置ハウジングに回転自在に配置されたキャリアが、個々に基盤を受け入れる多数のサセプタを運ぶCVDコーティング装置を開示する。
特許文献6は、反応装置ハウジングに回転自在に配置されたキャリアを持ったコーティング装置を開示する。そのキャリアは、その回転の中心の周りに衛星のような方法で配置された多数の受入れチャンバーを運ぶ。各受入れチャンバーの中には基盤ホルダがある。
特許文献7は、CVD反応装置のサセプタを開示する。このサセプタでは、コーティングの間、基盤が回転する。
Claims (12)
- 回転駆動されるサセプタ(1)の上で動的ガスクッション(3)によって運ばれる多数の回転テーブル(2)を備えたCVD反応装置であって、
各ガスクッション(3)が、個別に制御されるガス流によって形成され、
各ガス流が、温度測定デバイス(4)によって測定される表面温度に応じて個別の制御素子(5)によって変えられ、
前記サセプタ(1)を運び、前記サセプタ(1)とともに回転するキャリア(6)を備え、
共通ガス供給ライン(7)が前記キャリア(6)の中に開いて前記ガス流を形成するガスを供給し、前記制御素子(5)が前記キャリア(6)に配置される、
ことを特徴とするCVD反応装置。 - 前記共通ガス供給ライン(7)がガス分配ボリューム(8)の中に開き、当該ガス分配ボリューム(8)から個別のガス供給ライン(9)が各制御素子(5)に分岐することを特徴とする請求項1に記載のCVD反応装置。
- 前記制御素子(5)がバルブであり、当該バルブを外部から遠隔的に、またはすべり接触によって作動させることができることを特徴とする請求項1又は2に記載のCVD反応装置。
- 前記バルブが、電力なしに位置を維持することを特徴とする請求項3に記載のCVD反応装置。
- 前記共通ガス供給ライン(7)のガス圧力を一定に保つために、前記共通ガス供給ライン(7)に結合される圧力コントローラ(10)を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のCVD反応装置。
- 関連するガスクッション(3)へのガス流を順々に変えるために、前記サセプタ(1)の回転軸(Z)の周りに実質的にリングの形に配置される多数の回転テーブル(2)の表面温度を順々に測定するように配置された温度測定素子(4)を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のCVD反応装置。
- 前記キャリア(6)が、実質的に反応装置ハウジング(11)の内側に配置されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のCVD反応装置。
- 前記バルブを運ぶ前記キャリア(6)の一部が、前記反応装置ハウジング(11)の外に配置されることを特徴とする請求項7に記載のCVD反応装置。
- 前記ガス供給ライン(9)と前記制御素子(5)が、前記キャリア(6)の回転軸(Z)に対して星形に配置されることを特徴とする請求項2に記載のCVD反応装置。
- 前記キャリア(6)が、空洞シャフト(31)を含み、
当該空洞シャフト(31)が、前記反応装置ハウジング(11)に固定されており、共通ガス供給ライン(7)を備えるコア(13)を収容することを特徴とする請求項7又は8に記載のCVD反応装置。 - 前記空洞シャフト(31)が、前記反応装置ハウジング(11)に固定して接続された軸受ハウジング(20)の軸受空洞に回転可能に取り付けられることを特徴とする請求項10に記載のCVD反応装置。
- 前記ガス分配ボリューム(8)が、コア(13)と空洞シャフト(31)の間に配置された環状のチャンバーであることを特徴とする請求項2または9に記載のCVD反応装置。
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