KR20090059599A - 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치 - Google Patents

대면적 화학기상증착기용 유도가열장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치에 관한 것으로, 유도코일은 2개 부분 또는 다수 개 부분으로 챔버 내부에서 분리하여 자전 및 공전장치와의 간섭이 발생하지 않도록 하고, 공전 및 자전의 원활한 운동으로 박막의 두께 균일도와 품질을 향상시킬 수 있도록 한 것인 바, 서셉터를 가열시키는 유도코일과 서셉터를 공전 및 자전시키는 구동부로 이루어지되, 구동부(300)는 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)가 축결합된 구동모터(330)와, 상기 구동기어(310,320)와 기어결합되는 자전용 휠 기어(340) 및 공전용 휠 기어(350)와, 자전용 서셉터(110)의 중앙에 고정되며 상기 자전용 휠 기어(340)에 기어결합되는 자전용 종동기어(390)가 축결합된 자전용 회전축(380)을 포함하고, 상기 유도코일(400)은 동심원상으로 형성된 스파이럴 형태의 복수 개의 유도코일(400a,400b)이 베이스 플레이트(500) 바깥쪽에서 연결도선(410)으로 직렬 연결되고, 상기 유도코일(400a, 400b) 사이는 지지관(370) 및 자전용 회전축(380)이 간섭을 받지 않고 회전할 수 있는 간극(g)을 갖는다.
Figure P1020070126547
유도가열 장치, 서셉터, CVD, MOCVD, 화학기상증착, 화학기상증착 반응기, 박막

Description

대면적 화학기상증착기용 유도가열장치 {Induction Heating Module in the Chemical Vapor Deposition Equipment for high throughput}
본 발명은 특정의 물질을 화학적 증착방법으로 기판상에 물질을 증착하는 화학적 증착(CVD) 반응기에 관련된 가열장치에 관한 것으로, 특히 동력전달 장치로 기어를 사용하여 정확한 회전운동을 전달하며 화학기상 증착 시 많이 발생하는 분진이나 주기적으로 교환하는 서셉터의 형상 및 무게에 의하여 회전운동이 변경되는 유체 회전 방식과는 달리 회전 운동 전달이 정확하고, 고온에서 공전, 회전 장치가 사용되어 제작비용이 고가이고, 수명이 급격히 감소하는 종래의 방식과는 달리, 가열이 되지 않는 아래쪽에 회전장치가 구비되어 온도에 의한 영향을 받지 않는 장점이 있으며, 회전장치가 적용가능하게 유도코일은 2개 부분 또는 다수 개 부분으로 챔버 내부에서 분리하여 챔버 바깥쪽 또는 회전 장치가 적용가능하게 변형하여 연결함으로써 공전, 자전의 원활한 운동으로 박막의 두께 균일도와 품질을 향상시킬 수 있도록 한 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치에 관한 것이다.
일반적으로 CVD 반응기는 특히, 화합물 반도체 박막 성장용 CVD 반응기에서 사용되는 서셉터의 형태는 반응기 내부에 적절하게 위치하며, 다수개의 기판이 동시에 놓이는 윗면은 평면을 이루는 디스크형태로 구성된다.
상기 반응기에 장착된 서셉터를 가열하는 방식은 램프나 저항 가열선을 이용하여 서셉터를 2차 가열하는 일반적인 방법과 달리 유도전류를 이용하여 직접 서셉터를 가열하는 방법이다. 유도가열장치는 피 가열체에 에너지를 짧은 시간에 직접 인가할 수 있어, 높은 가열효율과 급속 가열이 가능하므로 다양한 공정변수로 특정의 물질을 증착할 수 있으므로 고품질의 박막성장이 가능하다. 즉 짧은 시간에 성장온도까지 가열하여 가열과정에서 발생할 수 있는 불필요한 반응을 최소화하여 고품질의 박막을 얻을 수 있는 장점이 있다.
기판이 위치하고 성장온도까지 가열시키는 서셉터는 디스크 형태로 구성이 되며, 생산성 향상을 위하여 대면적으로 제작이 이루어진다. 대면적의 서셉터를 가열하는 효율적인 유도코일의 형상은 나선형태의 유도코일을 사용하며, 이 유도코일은 가능한 서셉터와 가깝게 위치하여야 한다. 나선형 유도코일에서 발생하는 전자기적 전류를 이용하여 서셉터를 가열하지만, 일반적으로 유도코일에서 발생하는 전자기적 유도전류는 서셉터 전 영역에 균일하게 유도되지 않으므로, 균일한 가열이 되지 않는다. 또한, 가열된 서셉터는 중심부와 바깥 모서리 부분의 열 전달율의 차이로 온도 불균일 현상이 발생한다.
이 문제는 생산성 향상을 위하여 직경을 크게(300mm 이상)하여 서셉터 상에 수용된 기판의 수가 증가할 때, 온도 불균일 현상은 심화되며 결과적으로 기판에 증착되는 박막의 균일도 저하와 품질 감소의 원인이 된다. 기판이 서셉터와 수평으 로 배치되고, 작은 직경의 서셉터(300mm 이하)를 사용할 때에는 디스크 형태의 서셉터를 주축을 중심으로 공전 회전하는 구조만으로 기판 상에서 양호한 온도 및 품질 균일도를 갖는 박막의 성장을 허용하나 수용되는 기판의 수가 증가하고 서셉터의 직경이 커지므로 균일한 온도와 박막의 증착이 어렵다는 점이다. 즉, 기판 상에 수평으로 흐르는 반응가스의 농도, 반응가스 분사노즐로부터 분사된 시간, 온도 등의 불균일성이 존재하여, 결과적으로 기판 상에 증착된 박막의 불균일로 인하여 생산성을 악화시킨다.
따라서, 대 면적의 서셉터를 사용하는 CVD반응기에 있어서 근본적으로 발생하는 분균일의 영향을 최소화하기 위하여 공전 및 자전 회전이 가능한 수단이 구비되어야 한다. 이러한 공전 및 자전 회전은 운동은 기계적, 전기적 또는 유체를 이용하여 구동하는 방법이 있다.
종래의 공전 자전 회전이 가능한 수단을 구비하고, 유도가열이 되는 장치의 일례로 가스를 이용하여 나선형의 홈을 아래쪽에 구비하여, 이 나선형 홈에 가스를 주입하여 자전 회전이 가능한 수단이 있으나, 가스를 사용하면 가스 특성상 회전력이 미비하고 회전이 불안정한 경향이 발생한다. 화학기상증착 공정의 특성상 많은 분진(Particle)이 발생하며 이러한 분진이 틈새에 들어가면 회전이 되지 않는 현상이 자주 발생하며, 챔버 외부에서 자전용 서셉터가 회전하고 있는지, 정지하고 있는지 관찰하기가 곤란하다. 또한, 자전용 서셉터의 무게나 나선형 홈의 미세한 차이로 인하여 각각의 서셉터의 자전 회전속도가 변화하며, 이로 인하여 재현성이 떨어져서 품질 저하의 주원인으로 발생한다. 또한, 아래쪽에 위치한 공전용 서셉터가 유도가열 전류의 표피효과(Skin effect)로 인하여 대부분 가열이 되면, 자전용 서셉터는 공전용 서셉터로 인하여 2차 가열되는 원리로, 가스를 이용하여 자전용 서셉터를 회전시킬 경우에, 틈새의 간격이 발생하고, 회전하기 위하여 주입된 가스가 자전용 서셉터를 냉각하는 효과가 발생하여 공전용 서셉터를 필요 이상으로 가열하는 단점이 있다.
또 다른 일례로, 기어형식으로 자전용 서셉터를 회전하는 방식이 사용되지만 이는 고온으로 가열되는 서셉터 상에 구비하여 자전 회전을 하는 구조로, 기어가 고온으로 가열된 상태에서 동작을 하기 때문에 기어의 수명이 급격히 감소하며, 고온에서 견디는 재료를 이용하여 기어를 제작해야 하므로 제작비 및 운용비가 크게 증가한다. 또한 회전부가 고온의 서셉터 내부에 존재하므로 회전부의 수명도 급격히 감소된다.
본 발명의 목적은 최적의 품질특성과 생산성 향상을 위하여 큰 직경의 서셉터 상에 많은 개수의 기판을 장착하여 동시에 균일한 성장이 가능하도록 공전, 자전되며 유도 가열되는 가열장치를 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 서셉터 자전축을 각각 사용할 수 있도록 구비되고, 이 자전축이 유도코일과의 간섭을 받지 않고 공전할 수 있게 유도코일을 분리하고 챔버 바깥쪽에서 전기적으로 연결하여 서셉터의 공전, 자전운동을 원활하게 한다.
본 발명은 또, 회전 디스크형 서셉터의 배치에 있어서, 유도가열 코일은 서셉터에 가능한 가까이 유지시키지만 디스크형 서셉터 위에 장착된 기판과 평행하게 흐르는 반응가스와 접촉하지 않도록 서셉터 아래쪽에 위치하여 부식성 가스로부터 보호할 수 있도록 한다.
본 발명은 또한, 서셉터를 유도 가열하는 가장 일반적인 형식으로는 한 개의 나선형 유도코일과 그 코일에 저주파 유도 전류(5kHz ~ 50kHz)를 공급하는 유도전력 공급기를 사용하는 방식으로, 다수 개의 유도코일과 그 유도코일에 전력을 공급하는 장치를 사용할 경우, 유도 코일 간의 전자기장의 상호 간섭이 발생하므로, 각각의 전력장치를 상호 연동하여 동작으로 시킬 수 있는 제어기가 필요하며, 정밀하 게 제어되지 못한다면, 가열장치와 전력 공급기에 심각한 손상과 급격한 가열효율의 감소가 발생하므로, 한 개의 유도코일을 챔버 바깥쪽에서 연결하여 챔버 내부에서는 2개의 코일과 같이 회전 장치를 손쉽게 장착을 할 수 있으며, 외부에서 코일을 연결하여 유도전력 공급기에서는 한 개의 코일과 같이 사용할 수 있도록 한다.
본 발명은 화학기상 증착기에 적용되어 대면적의 서셉터 상에 장착된 기판에 균일하게 박막이 성장 될 수 있게 공전, 자전이 가능한 유도가열 장치로써, 동력전달 장치로 기어를 사용하여 정확한 회전운동을 전달하며 화학기상 증착 시 많이 발생하는 분진이나 주기적으로 교환하는 서셉터의 형상 및 무게에 의하여 회전운동이 변경되는 유체 회전 방식과는 달리 회전 운동 전달이 정확하고, 고온에서 공전, 회전 장치가 사용되어 제작비용이 고가이고, 수명이 급격히 감소하는 방식에 대비, 가열이 되지 않는 아래쪽에 회전 장치가 구비되어 온도에 의한 영향을 받지 않는 장점이 있으며, 회전 장치가 적용가능하게 유도코일은 2개 부분 또는 다수 개 부분으로 챔버 내부에서 분리하여 챔버 바깥쪽 또는 회전 장치가 적용가능하게 변형하여 연결함으로써 공전, 자전의 원활한 운동으로 박막의 두께 균일도와 품질을 향상 시킬 수 있는 유용한 효과를 갖는다.
이하, 본 발명을 한정하지 않는 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치를 도시한 것으로, 도 1은 유도가열장치를 절반으로 절개한 상태의 사시도이고, 도 2는 정단면도이며, 도 3은 본 발명에 의한 유도코일의 사시도, 도 4는 구동부의 확대사시도, 도 5는 유도가열장치의 자전 및 공전상태를 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명은 공전용 서셉터(120) 위에 복수의 자전용 서셉터(110)가 설치되고, 상기 공전용 서셉터(120)의 하부에는 서셉터(100)를 가열시키는 가열원인 유도코일(400)이 설치되며, 상기 공전용 서셉터(120)와 자전용 서셉터(110)는 구동부(300)에 의해 공전과 동시에 자전운동을 하도록 되어 있다.
본 발명에 의한 유도가열 장치의 구성은 피처리물인 기판(130)이 올려지는 서셉터(100)와, 이 서셉터(100)를 가열시키는 유도코일(400)과, 상기 서셉터(100)를 공전 및 자전시키는 구동부(300)로 이루어져 있다.
상기 서셉터(100)는 하나의 공전용 서셉터(120)와, 이 공전용 서셉터(120) 상에 방사상으로 설치되는 복수의 자전용 서셉터(110)를 포함하여 이루어져 있다.
상기 공전용 서셉터(120)에는 자전용 서셉터(110)가 안착할 수 있는 원형의 홈(122)이 복수 개 형성되어 있고, 각각의 홈(122) 중앙에는 상기 자전용 서셉터(110)를 자전시키기 위한 자전용 회전축(380)이 관통되는 구멍(124)이 천공되어 있다.
피처리물인 기판(130)은 상기 자전용 서셉터(110) 위에 놓여져 자전용 서셉터(110)의 자전운동에 의해 화살표로 도시된 바와 같이 자전하게 되며, 이와 동시에 공전용 서셉터(120)의 공전운동에 의해 공전을 하게 된다.
이하에서는 자전용 서셉터와 공전용 서셉터를 구동시키는 구동부(300)의 구성에 대하여 설명하기로 한다.
구동부(300)는 하나의 구동모터(330) 축에 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)가 높이를 달리하여 축결합되어 있고, 상기 구동모터(330)는 챔버(소시안됨)의 하부를 형성하는 베이스 플레이트(500)의 외부 즉, 하면에 고정설치되며, 상기 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)는 베이스 플레이트(500)의 상부에 부착된 링 형 하우징(510) 내에서 각각 독립적으로 회전가능하게 고정된 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)의 외측에 기어결합되어 있어 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)를 회전시키도록 되어 있다.
상기 자전용 구동기어(310)는 공전용 구동기어(320)보다 직경이 크고, 이와 반대로 자전용 휠 기어(340)는 공전용 휠 기어(350)보다 직경이 작게 제작되어 있으므로 구동모터(330)의 회전시 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)는 회전수의 차이가 발생하여 자전용 휠 기어(340)가 공전용 휠 기어(350)보다 빠르게 회전하게 된다.
도면 중 부호 360은 구동모터(330)의 축을 지지하기 위한 베어링이고, 부호 520은 상기 자전용 및 공전용 휠 기어(340,350)를 지지하는 베어링이다.
상기 링 형 하우징(510) 내에는 공전용 휠 기어(350)가 하부에 설치되고, 이 공전용 휠 기어(350) 상부에 자전용 휠 기어(340)가 설치되어 있으며, 하부의 공전용 휠 기어(350)는 그 외측에만 상기 공전용 구동기어(320)에 맞물리는 기어 이(352)가 형성되어 있고, 그 내부에는 자전용 서셉터(110)를 자전시키기 위한 자전용 회전축(380)이 베어링(530)에 의해 회전가능하게 고정되는 고정리브(354)가 방사상으로 복수 개 형성되어 있다.
한편, 상기 자전용 회전축(380)의 하부에는 자전용 휠 기어(340)에 기어결합되는 자전용 종동기어(390)가 축결합되어 있고, 상기 자전용 회전축(380)의 외부에는 지지관(370)이 씌워져 있는데, 이 지지관(370)은 그 상단이 공전용 서셉터(120)를 받쳐주고 하단은 베이스 플레이트(500) 상부에 회전가능하게 설치된 공전용 휠 기어(350) 내측의 고정리브(354)에 고정된다.
또, 상부의 자전용 휠 기어(340)는 그 외측에 상기 자전용 구동기어(320)에 맞물리는 기어 이(342)가 형성되어 있고, 내측에는 상기 자전용 서셉터(110)의 자전용 회전축(380)에 축결합되어 있는 자전용 종동기어(390)와 맞물리는 내부 기어 이(344)가 형성되어 있다.
본 발명에 의한 유도가열장치의 가열원은 도 3에 도시된 바와 같이 한 개의 나선형 유도코일(400)과, 이 유도코일(400)에 저주파 유도 전류(5kHz ~ 50kHz)를 공급하는 유도전력 공급기(420)로 이루어져 있으며, 상기 나선형 유도코일(400)은 동심원상으로 형성된 스파이럴 형태의 유도코일(400a,400b)을 챔버 즉, 베이스 플레이트(500) 바깥쪽에서 연결도선(410)으로 직렬 연결하여 하나의 유도코일(400)로 형성하고, 상기 유도코일(400a,400b) 사이는 상기 구동부(300)에서 서셉터(100) 쪽으로 연결된 지지관(370) 및 자전용 회전축(380)이 간섭을 받지 않고 회전할 수 있는 간극(g)을 갖도록 설치되어 있다.
따라서, 본 발명은 챔버 내부에서는 2개의 코일과 같이 서셉터(100)의 자전 및 공전을 위한 부분을 손쉽게 설치할 수 있으며, 외부에서는 하나의 유도전력 공급기(420)에서는 한 개의 코일에 전력을 공급할 수 있는 것으로, 종래와 같이 다수 개의 유도코일과 그 유도코일에 전력을 공급하는 장치를 사용할 경우에는 유도 코일 간의 전자기장의 상호 간섭이 발생하므로, 각각의 전력장치를 상호 연동하여 동작으로 시킬 수 있는 제어기가 필요하며, 정밀하게 제어되지 못한다면, 가열장치와 전력 공급기에 심각한 손상과 급격한 가열효율의 감소가 발생하던 문제를 간단하게 해결할 수 있는 것이다.
한편, 상기 공전용 서셉터(120)와 자전용 서셉터(110)의 재질은 쉽게 유도가열이 되고, 열전도율이 좋아서 서셉터 전체의 온도 균일도가 향상될 수 있는 흑연소재를 일반적으로 채택할 수 있고, 상기 자전용 회전축(380)과 지지관(370)의 재질은 유도가열이 되지 않고 단열 및 열충격에 파손되지 않는 석영 또는 이와 같은 요구조건을 충족할 수 있는 재질을 적용할 수 있으며, 상기 유도코일(400)은 전기 전도성 높으며, 쉽게 제작이 가능한 동(Copper) 소재를 사용할 수 있으며, 전기 전도성 향상을 위하여 부수적으로 표면에 금(Gold) 등을 도금할 수 있다.
또, 상기 베어링(360,520)은 고온에서 사용할 수 있는 세라믹 볼(Ball)을 사용하여 휠 기어(340,350)의 회전을 원활하게 하고, 베어링 형식은 온도변화에도 동작이 원활히 될 수 있는 트러스트 베어링 형식을 사용하는 것이 바람직하나 기어가 붙은 볼베어링 형식의 적용도 가능함은 물론이다.
이와 같이 구성된 본 발명은 구동모터(330)가 회전하면 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)가 회전하지만, 각각의 기어열(Gear Train)은 중심거리는 같지만 기어 잇수가 다른 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)를 회전 시킨다. 상기 휠 기어(340,350)는 잇수비에 따라서 미세하게 회전수의 차이가 발생하며, 회전수의 차이로 인하여 자전용 서셉터 종동기어(390)가 회전하며, 자전용 서셉터(110)의 자전운동이 이루어진다. 즉, 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)의 기어 잇수가 같으면 공전회전만 이루어지고, 자전회전은 발생하지 않으나, 각각의 구동기어(310,320)의 잇수 차이가 많으면, 자전회전은 공전회전에 비하여 상대적으로 빠르게 회전한다. 이러한 방식의 적용은 구조상으로 공전시 베어링에 부착된 구동기어(310)를 사용하지 않거나, 고정하여 자전용 서셉터(110)을 회전 시킬 수 있으나, 그러한 구조일 경우에는 자전속도가 너무 빨라서 적절한 공전 조건이 이루어질 수 없으며, 회전비율(공전/자전)의 변경이 곤란하지만, 각각의 구동기어(310,320)를 다른 것으로 사용하면 잇수 변경으로 자전과 공전의 회전비율 을 자유롭게 변경할 수 있다.
또, 본 발명에서는 자전용 회전축(380)과 베어링(360,520)은 가열되지 않는 아래쪽에 구비하여 유도 가열되지 않으므로, 고온에서 발생하는 여러 가지 문제점, 즉 고온에서 기계적 성질을 만족하는 재질의 사용 가능한 제약과 열팽창 등의 고려사항이 간편해졌으며, 자전용 서셉터 회전축(380)을 별도로 장착하여 부식성 가스로부터 노출되지 않고, 고온으로 가열되는 서셉터(100)의 아래쪽에 구비하여 고온으로 가열되지 않으므로 회전운동의 정확성과 수명을 보장할 수 있으며 제작비용도 저렴하게 구성할 수 있다. 또한 자전축(380)을 기어를 구비한 회전구동부(300)로 회전 시키므로 정확한 회전으로 재현성 향상으로 박막의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 또 상기 서셉터의 가열온도 분포를 변화시키기 위하여 유도코일과 서셉터의 거리를 개별적으로 변화시키기 위한 전기적-기계적 수단을 추가할 수도 있다.
도 1은 본 발명에 의한 대면적용 화학기상증착기용 유도가열장치를 절반으로 절개한 상태의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 대면적용 화학기상증착기용 유도가열장치의 정단면도,
도 3은 본 발명에 따른 유도코일의 사시도,
도 4는 구동부의 확대사시도,
도 5는 유도가열장치의 자전 및 공전상태를 도시한 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호 설명
100 : 서셉터 110 : 자전용 서셉터
120 : 공전용 서셉터 122 : 홈
124 : 구멍 130 : 기판
300 : 구동부 310 : 자전용 구동기어
320 : 공전용 구동기어 330 : 구동모터
340 : 자전용 휠 기어 342 : 기어 이(외부)
344 : 기어 이(내부) 350 : 공전용 휠 기어
352 : 기어 이 354 : 고정리브
360 : 베어링 370 : 지지관
380 : 자전용 회전축 390 : 자전용 종동기어
400 : 유도코일 400a,400b : 유도코일
410 : 연결도선 420 : 유도전력공급기
500 : 베이스 플레이트 510 : 하우징
520 : 베어링

Claims (6)

  1. 베이스 플레이트 위에 설치되며 하나의 공전용 서셉터 상에 복수의 자전용 서셉터가 구비되어 피처리물이 올려지는 서셉터와, 이 서셉터를 가열시키는 유도코일과, 상기 서셉터를 공전 및 자전시키는 구동부로 이루어진 화학기상증착기용 유도가열장치에 있어서;
    상기 구동부(300)는 자전용 구동기어(310)와 공전용 구동기어(320)가 축결합된 구동모터(330)와, 상기 베이스 플레이트(500)의 상부에 고정된 링 형 하우징(510) 내에서 각각 독립적으로 회전가능하게 설치되어 상기 구동기어(310,320)와 기어결합되는 자전용 휠 기어(340) 및 공전용 휠 기어(350)와, 상기 공전용 휠 기어(350)의 내측에 하단이 회전가능하게 지지되고 상단은 자전용 서셉터(110)의 중앙에 고정되며 상기 자전용 휠 기어(340)에 기어결합되는 자전용 종동기어(390)가 축결합된 자전용 회전축(380)과, 상기 자전용 회전축(380)의 외부에 씌워지며 그 상단은 공전용 서셉터(120)를 받쳐주고 하단은 공전용 휠 기어(350) 내측에 고정된 지지관(370)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유도코일(400)은 동심원상으로 형성된 스파이럴 형태의 복수 개의 유도코일(400a,400b)이 베이스 플레이트(500) 바깥쪽에서 연결도선(410)으로 직렬 연결 되고, 상기 유도코일(400a,400b) 사이는 지지관(370) 및 자전용 회전축(380)이 간섭을 받지 않고 회전할 수 있는 간극(g)을 갖는 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 자전용 구동기어(310)는 공전용 구동기어(320)보다 직경이 크고, 상기 자전용 휠 기어(340)는 공전용 휠 기어(350)보다 직경이 작게 제작되어 구동모터(330)의 회전시 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)가 회전수의 차이로 인해 자전용 휠 기어(340)가 공전용 휠 기어(350)보다 빠르게 회전하도록 된 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 링 형 하우징(510) 내에는 공전용 휠 기어(350)가 하부에 설치되고, 이 공전용 휠 기어(350) 상부에 자전용 휠 기어(340)가 설치되며, 공전용 휠 기어(350)는 그 외측에 기어 이(352)가 형성되고 내부에는 자전용 서셉터(110)를 자전시키기 위한 자전용 회전축(380)이 회전가능하게 고정되는 고정리브(354)가 방사상으로 복수 개 형성되며, 상기 자전용 휠 기어(340)는 그 외측에 기어 이(342)가 형성되고 내측에는 상기 자전용 종동기어(390)와 맞물리는 내부 기어 이(344)가 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동모터(330)의 축은 베어링(360)에 의해 링 형 하우징(510)에 지지되고, 상기 자전용 및 공전용 휠 기어(340,350) 사이에는 베어링(520)이 설치되어 각각각 독립적으로 회전가능하도록 된 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 베어링(360,520)은 세라믹 볼(Ball)을 사용하는 트러스트 베어링인 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.
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