KR102145206B1 - 화학기상증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 실시 형태에 따른 화학기상증착장치는, 일면에 복수의 수용홈을 구비하고, 타면에 지지 로드를 구비하여 반응 챔버 내에 배치되는 몸체부; 상기 수용홈 내에 각각 회전가능하도록 배치되는 포켓부; 상기 지지 로드를 통해 상기 수용홈 내부로 구동가스를 공급하여 상기 포켓부를 회전시키는 구동가스 공급부; 및 상기 구동가스 공급부를 가열하여 그 내부로 유동하는 상기 구동가스로 열을 공급하는 가열부;를 포함할 수 있다.

Description

화학기상증착장치{CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS}
본 발명은 화학기상증착장치에 관한 것이다.
일반적으로 화학기상증착장치에서 결정성장을 위한 증착 공정은 대략 500도 내지 1300도 범위의 고온에서 진행된다. 그리고, 이러한 온도 범위에서 웨이퍼 상에 성장되는 결정박막의 특성 균일성 확보를 위해 웨이퍼가 놓이는 서셉터를 회전시키는 것이 효과적이다.
이러한 회전 구동하는 서셉터는 가열 지지체인 메인 디스크(main disk)와 웨이퍼가 안착되는 위성 디스크(satellite disk)로 구성되며, 위성 디스크의 회전을 위해 가스를 이용한 회전 방식(gas foil 방식)이 많이 사용되고 있다.
그러나, 고온의 온도 범위에서 균일한 결정박막을 얻기 위해서는 서셉터의 온도 균일도가 최우선적인 요구 조건인데, 메인 디스크는 대략 500도 이상의 고온인 반면, 위성 디스크의 회전을 위한 가스는 대략 20도 내지 30도 정도의 상온 상태로 주입되기 때문에 이로 인해 메인 디스크와 위성 디스크 사이에 온도 편차가 크게 발생하는 문제가 있다.
당 기술분야에서는 위성 디스크를 회전시키는 구동가스에 의해 위성 디스크와 메인 디스크 사이의 온도 편차가 발생하는 것을 최소화할 수 있는 화학기상증착장치가 요구되고 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 화학기상증착장치는,
일면에 복수의 수용홈을 구비하고, 타면에 지지 로드를 구비하여 반응 챔버 내에 배치되는 몸체부; 상기 수용홈 내에 각각 회전가능하도록 배치되는 포켓부; 상기 지지 로드를 통해 상기 수용홈 내부로 구동가스를 공급하여 상기 포켓부를 회전시키는 구동가스 공급부; 및 상기 구동가스 공급부를 가열하여 그 내부로 유동하는 상기 구동가스로 열을 공급하는 가열부;를 포함할 수 있다.
상기 가열부는, 상기 반응 챔버의 외부에서 상기 구동가스 공급부의 외측을 감싸도록 구비되며 상기 구동가스가 설정된 온도로 공급되도록 가열하는 발열 수단과, 상기 발열 수단의 외측에 구비되어 상기 발열 수단을 덮는 단열 수단을 포함할 수 있다.
상기 가열부는 히팅 코일이 구비된 히터 자켓을 포함할 수 있다.
상기 단열 수단은 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE), 실리카(silica), 강화 글라스 계열의 단열재 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상기 구동가스의 온도를 모니터링하여 상기 발열 수단의 작동을 제어하는 제어 수단을 더 포함할 수 있다.
상기 구동가스 공급부는, 상기 몸체부와 상기 지지 로드 내부에 구비되어 상기 수용홈과 연결되는 유로와, 상기 지지 로드 내의 상기 유로와 연결되어 외부로부터 공급되는 상기 구동가스가 상기 유로로 유동하는 배관을 포함할 수 있다.
상기 배관은 일부가 상기 가열부에 의해 둘러싸여 상기 배관 내부를 유동하는 상기 구동가스로 열을 전달할 수 있다.
상기 포켓부의 상면에는 웨이퍼가 놓이는 포켓이 형성되고, 상기 포켓부의 측면 또는 하면에는 상기 구동가스의 압력을 받아 상기 포켓부가 회전되도록 하는 복수의 구동홈이 형성될 수 있다.
상기 반응 챔버 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부를 더 포함할 수 있다.
상기 반응 챔버 내의 가스가 외부로 배출되도록 하는 배기부를 더 포함할 수 있다.
위성 디스크를 회전시키는 구동가스에 의해 위성 디스크와 메인 디스크 사이의 온도 편차가 발생하는 것을 최소화할 수 있는 화학기상증착장치가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 화학기상증착장치에서 몸체부 및 구동가스 공급부를 개략적으로 나타내는 절개사시도이다.
도 3은 도 1에서 수용홈을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1에서 포켓부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 1에서 가열부를 개략적으로 나타내는 단면도 및 절개사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 7은 도 6에서 몸체부 및 구동가스 공급부를 개략적으로 나타내는 절개사시도이다.
도 8은 도 6에서 포켓부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 다음과 같이 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시 형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 따른 화학기상증착장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 화학기상증착장치(1)는, 반응 챔버(50) 내에 배치되는 몸체부(10), 상기 몸체부(10)에 회전가능하게 배치되는 포켓부(20), 상기 포켓부(20)를 회전시키는 구동가스 공급부(30), 상기 구동가스 공급부(30)를 가열하는 가열부(40)를 포함하여 구성될 수 있다.
반응 챔버(50)는 소정 크기의 내부 공간을 형성하는 챔버 본체(51)와 상기 챔버 본체(51)를 덮어 기밀을 유지하도록 하는 챔버 덮개(52)를 포함할 수 있으며, 상기 챔버 덮개(52)는 상기 챔버 본체(51)에 대해 개폐가 가능한 구조로 결합될 수 있다. 상기 반응 챔버(50)는 내마모성 및 내부식성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다.
상기 반응 챔버(50)에는 그 내부 공간으로 반응가스(G)를 공급하는 반응가스 공급부(60)가 구비될 수 있다. 그리고, 상기 반응 챔버(50) 내의 가스가 외부로 배출되도록 하는 배기부(70)가 구비될 수 있다.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 상기 반응가스 공급부(60)는 상기 반응 챔버(50)의 측면 둘레를 따라 구비되어 상기 반응 챔버(50)의 내부 공간 중앙을 향해 소정의 반응가스(G)를 분사하는 방식으로 공급할 수 있다.
상기 반응가스 공급부(60)는 외부로부터 도입되는 반응가스(G)를 저장하는 리저버(61)와, 상기 리저버(61)에 저장된 반응가스를 상기 반응 챔버(50) 안으로 분사하는 분사노즐(62)을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 리저버(61)는 공급라인(63)을 통해 외부에 마련되는 미도시된 반응가스 공급원과 연결될 수 있다.
상기 반응가스 공급부(60)의 상기 리저버(61)에 일시 저장되는 상기 반응가스(G)는 상기 분사노즐(62)을 통해 상기 반응 챔버(50)의 내부 공간의 중앙을 향해 역방사 방향으로 분사되고, 추후 설명하는 몸체부(10) 상에 놓인 피증착체, 즉 웨이퍼(W)의 표면 상에 반도체 박막을 성장시킨다.
그리고, 상기 웨이퍼(W)를 지나면서 화학 반응을 일으킨 후 상기 반응가스(G)는 상기 몸체부(10)의 중앙에 구비되는 상기 배기부(70)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
상기 몸체부(10)는 웨이퍼(W)가 놓여 지지되는 지지체에 해당하며, 서셉터(susceptor) 또는 서셉터의 메인 디스크(main disk)일 수 있다. 상기 몸체부(10)는 디스크 형상의 구조를 가질 수 있다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 상기 몸체부(10)는 일면, 예컨대 상면에 복수의 수용홈(11)을 구비할 수 있다. 상기 수용홈(11)은 상기 몸체부(10)의 상면으로부터 소정 깊이로 함몰되어 형성될 수 있으며, 복수개가 상기 몸체부(10)의 중심을 기준으로 원주상에 배열될 수 있다.
상기 몸체부(10)는 타면, 즉 하면에 지지 로드(12)를 구비하여 상기 반응 챔버(50) 내에 배치될 수 있다. 상기 지지 로드(12)는 상기 몸체부(10)를 지지하는 한편, 상기 반응 챔버(50)외부에 구비되는 구동 장치(80)와 연결되어 상기 몸체부(10)를 회전시킬 수 있다. 본 실시 형태에서는 상기 지지 로드(12)가 상기 몸체부(10)의 하면에서 상면으로 관통하는 구조로 구비되는 것으로 예시하고 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 상기 지지 로드(12)의 중앙에는 상기 배기부(70)가 구비될 수 있다.
상기 몸체부(10)는 열전도율이 높은 재질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 그라파이트(graphite), 석영(quartz), 메탈 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체부(10)는, 예를 들어, 실리콘카바이드(SiC) 또는 탄소(C)와 같은 물질로 코팅될 수 있다.
도 4에서 도시하는 바와 같이, 상기 포켓부(20)는 상기 수용홈(11) 내에 각각 회전가능하게 배치된다. 상기 포켓부(20)는 상기 수용홈(11)과 대응되는 형상을 가지며, 전체적으로 원형의 디스크 형상을 가질 수 있다.
상기 포켓부(20)는 피증착체인 웨이퍼(W)가 놓일 수 있도록 상면에 리세스 구조의 포켓(21)을 구비할 수 있다. 그리고, 상기 포켓부(20)의 하면에는 복수의 구동홈(22)이 테두리 둘레를 따라서 형성될 수 있다.
상기 포켓부(20)는 상기 몸체부(10)의 수용홈(11)에 회전가능하도록 배치되는데, 상기 포켓부(20)는 상기 수용홈(11)으로 분사되는 소정의 가스에 의해 회전될 수 있다. 즉, 구동가스(g)가 상기 수용홈(11)으로 유동하면서 그 유동 에너지가 상기 포켓부(20)를 회전시키는 구동력을 제공한다. 여기서, 상기 구동가스(g)는 상기 반응가스(G)와 다른 종류의 가스이며, 예컨대 질소(N2) 또는 수소(H2) 가스와 같은 비반응가스를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 포켓부(20)는 상기 복수의 구동홈(22)을 통해 상기 구동가스(g)의 압력을 받아 회전할 수 있다. 상기 구동홈(22)은 상기 포켓부(20)의 하면에 그 외주면을 따라 복수개가 테두리 부근에 인접하여 마련될 수 있으며, 상기 구동가스(g)의 압력(풍력)을 받아 상기 포켓부(20)를 회전시킬 수 있도록 소정 기울기로 하면에 대해 비스듬히 경사지게 함몰형성될 수 있다. 즉, 상기 포켓부(20)는, 예컨대 바람개비가 회전하는 원리를 채용하여 회전구동될 수 있다.
상기 구동가스 공급부(30)는 상기 지지 로드(12)를 통해 상기 수용홈(11) 내부로 구동가스(g)를 공급하여 상기 포켓부(20)를 회전시킨다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 상기 구동가스 공급부(30)는 상기 몸체부(10)와 상기 지지 로드(12) 내부에 구비되어 상기 수용홈(11)과 연결되는 유로(31)와, 상기 지지 로드(12) 내의 상기 유로(31)와 연결되어 외부로부터 공급되는 상기 구동가스(g)가 상기 유로(31)로 유동하는 배관(32)을 포함할 수 있다.
상기 유로(31)는 상기 지지 로드(12)의 내부에 구비되는 구동가스 공급유로(31a)와, 상기 몸체부(10) 내에 구비되어 상기 구동가스 공급유로(31a)를 통해 공급되는 구동가스(g)를 상기 수용홈(11)으로 유동시키는 구동가스 분사유로(31b)를 포함할 수 있다. 상기 구동가스 분사유로(31b)는 복수개로 구비되는 상기 수용홈(11)에 대응하여 복수개로 구비될 수 있다.
상기 구동가스 공급유로(31a)는 상기 지지 로드(12) 내에서 상기 배기부(70)를 감싸는 구조로 구비될 수 있다. 그리고, 상기 구동가스 분사유로(31b)는 일단이 상기 구동가스 공급유로(31a)와 연결되고, 타단은 상기 수용홈(11)의 바닥면에 구비되는 복수의 분사노즐(31c)과 연결될 수 있다.
상기 배관(32)은 상기 반응 챔버(50)의 외부에서 미도시된 구동가스 공급원과 연결되어 상기 구동가스(g)를 상기 구동가스 공급유로(31a)로 공급할 수 있다.
따라서, 상기 구동가스(g)는 상기 배관(32)을 통해 상기 구동가스 공급유로(31a)로 공급되고, 상기 구동가스 공급유로(31a)에서 각 구동가스 분사유로(31b)로 유동하여 각 수용홈(11)의 바닥면에 구비되는 복수의 분사노즐(31c)을 통해 해당 수용홈(11)의 내부로 분사될 수 있다. 이렇게 분사되는 구동가스(g)는 해당 수용홈(11) 내에 배치된 포켓부(20)의 구동홈(22)에 압력을 가하여 포켓부(20)를 회전시킬 수 있다.
상기 가열부(40)는 상기 구동가스 공급부(30)를 가열하여 그 내부로 유동하는 상기 구동가스(g)로 열을 공급할 수 있다. 따라서, 상기 구동가스 공급부(30)를 유동하는 상기 구동가스(g)가 상기 몸체부(10)와 대응되는 고온으로 가열되고, 고온 상태를 유지하며 상기 반응 챔버 내부(50)로 공급될 수 있도록 한다.
상기 가열부(40)는 상기 반응 챔버(50)의 외부에서 상기 구동가스 공급부(30)의 배관(32)의 외측을 감싸도록 구비될 수 있다. 구체적으로, 도 5에서 도시하는 바와 같이, 상기 가열부(40)는 상기 구동가스(g)가 설정된 온도로 공급되도록 상기 배관(32)을 가열하는 발열 수단(41)과, 상기 발열 수단(41)의 외측에 구비되어 상기 발열 수단(41)을 덮는 단열 수단(43)을 포함할 수 있다.
상기 발열 수단(41)은 상기 배관(32)을 감싸는 히팅 코일(42)이 구비된 히터 자켓을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 단열 수단(43)은, 예를 들어, 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE), 실리카(silica), 강화 글라스 계열의 단열재 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상기 가열부(40)는 상기 배관(32)을 전체적으로 감싸도록 구비되거나, 상기 배관의 일부를 부분적으로 감싸는 구조로 구비될 수 있다. 또한, 상기 가열부(40)는 도면에서 도시하는 바와 같이 단일로 구비될 수 있을 뿐만 아니라 복수개로도 구비될 수 있다.
한편, 상기 구동가스(g)의 온도를 모니터링하여 상기 가열부(40)의 작동을 제어하는 제어 수단(90)이 더 구비될 수 있다. 상기 제어 수단(90)은, 예를 들어, 센서를 통해 상기 구동가스(g)의 온도를 감지할 수 있으며, 상기 구동가스(g)의 온도가 설정 온도로 공급될 수 있도록 상기 발열 수단(41)을 작동시킬 수 있다.
이와 같이, 상온 상태의 구동가스(g)를 반응 챔버 내부(50)로 공급하는데 있어서, 구동가스(g)를 소정 온도(반응 챔버 내의 몸체부 온도와 동일 내지는 유사한 온도)로 가열하여 몸체부(10) 내에서 포켓부(20)를 회전시키도록 분사함으로써 몸체부(10)의 전체적인 온도 편차를 최소화할 수 있다. 즉, 종래와 같이 상온 상태의 구동가스(g)를 그대로 분사함으로써 상대적으로 저온으로 냉각된 포켓부(20)와 고온의 몸체부(10) 사이에서 발생하는 온도 편차 문제를 해결할 수 있다. 그리고, 온도 편차가 최소화됨에 따라서 웨이퍼(W) 상에 성장되는 반도체 박막의 균일도와 품질이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 설명한다. 도 6에서는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 개략적으로 나타내고 있다.
도 6 내지 도 8에서 도시하는 실시 형태에 따른 화학기상증착장치를 구성하는 구성은 상기 도 1 내지 도 5에 도시된 실시 형태와 기본적인 구조는 실질적으로 동일하다. 다만, 포켓부의 구조가 상기 도 1 내지 도 5에 도시된 실시 형태와 다르기 때문에 이하에서는 앞서 설명한 실시 형태와 중복되는 부분에 관한 설명은 생략하고 포켓부에 관한 구성을 위주로 설명한다.
도 6에서 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 포켓부(20)는 상기 수용홈(11)과 대응되는 형상을 가지며, 전체적으로 원형의 디스크 형상을 가질 수 있다. 그리고, 상기 수용홈(11) 내에 각각 회전가능하게 배치된다.
상기 포켓부(20)는 피증착체인 웨이퍼(W)가 놓일 수 있도록 상면에 리세스 구조의 포켓(21)을 구비할 수 있다. 그리고, 상기 포켓부(20)의 측면에는 복수의 구동홈(22)이 측면 둘레를 따라서 형성될 수 있다.
상기 포켓부(20)는 상기 몸체부(10)의 수용홈(11)에 회전가능하도록 배치되는데, 상기 포켓부(20)는 상기 수용홈(11)으로 분사되는 소정의 구동가스(g)에 의해 회전될 수 있다. 즉, 구동가스(g)가 상기 수용홈(11)으로 유동하면서 그 유동 에너지가 상기 포켓부(20)를 회전시키는 구동력을 제공한다.
구체적으로, 도 8에서 도시하는 바와 같이, 상기 포켓부(20)는 상기 복수의 구동홈(22)을 통해 상기 구동가스(g)의 압력(풍력)을 받아 회전할 수 있다. 상기 구동홈(22)은 복수개가 상기 몸체부(10)의 측면 두레를 따라 구비될 수 있으며, 상기 구동가스의 압력(풍력)을 받아 상기 포켓부(20)를 회전시킬 수 있도록 소정 기울기로 비스듬히 경사지게 함몰형성될 수 있다. 즉, 상기 구공홈(22)은 임펠러 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 포켓부(20)는, 예컨대 바람개비가 회전하는 원리를 채용하여 회전구동될 수 있다.
도 7에서 도시하는 바와 같이, 상기 포켓부(20)가 배치되는 상기 수용홈(11)의 바닥면에는 링 형상의 홈(13)이 마련되고, 상기 홈(13)에는 복수의 볼 부재(14)가 구비될 수 있다. 그리고, 상기 포켓부(20)는 상기 볼 부재(14) 위에 놓일 수 있다.
이러한 볼 부재(14)는 상기 포켓부(20)가 회전할 때 상기 홈(13)을 따라 회전하면서 상기 포켓부(20)와 상기 수용홈(11) 사이의 마찰을 감소시켜 상기 포켓부(20)가 원활하게 회전할 수 있도록 한다. 즉, 상기 볼 부재(14)는 상기 포켓부(20)와 점접촉되도록 하여 마찰력을 감소시키고, 상기 포켓부(20)가 기울어지지 않고 수평을 유지하도록 할 수 있다. 따라서, 적은 양의 구동가스(g)로도 상기 포켓부(20)를 충분히 회전시킬 수 있는 장점이 있다.
상기 포켓부(20)를 회전시키는 구동가스(g)는 상기 구동가스 공급부(30)를 통해 상기 수용홈(11) 내부로 공급될 수 있다.
상기 구동가스 공급부(30)는 상기 몸체부(10)와 상기 지지 로드(12) 내부에 구비되어 상기 수용홈(11)과 연결되는 유로(31)와, 상기 지지 로드(12) 내의 상기 유로(31)와 연결되어 외부로부터 공급되는 상기 구동가스(g)가 상기 유로(31)로 유동하는 배관(32)을 포함할 수 있다.
상기 유로(31)는 상기 지지 로드(12)의 내부에 구비되는 구동가스 공급유로(31a)와, 상기 몸체부(10) 내에 구비되어 상기 구동가스 공급유로(31a)를 통해 공급되는 구동가스(g)를 상기 수용홈(11)으로 분사하는 구동가스 분사유로(31b)를 포함할 수 있다. 상기 구동가스 분사유로(31b)는 복수개로 구비되는 상기 수용홈(11)에 대응하여 복수개로 구비될 수 있다.
상기 구동가스 공급유로(31a)는 상기 지지 로드(12) 내에서 상기 배기부(70)를 감싸는 구조로 구비될 수 있다. 그리고, 상기 구동가스 분사유로(31b)는 일단이 상기 구동가스 공급유로(31a)와 연결되고, 타단은 상기 수용홈(11)의 내측면을 통해 상기 수용홈(11)과 연결될 수 있다.
상기 구동가스(g)는 상기 구동가스 분사유로(31b)를 통해 상기 수용홈(11)의 내부로 분사되고, 상기 수용홈(11) 내에 배치된 상기 포켓부(20)의 측면, 즉 구동홈(22)에 풍력을 가하여 상기 포켓부(20)를 회전시킬 수 있다.
특히, 상기 구동가스(g)는 상기 가열부(40)에 의해 상기 몸체부(10)와 대응되는 고온으로 가열되어 공급되므로, 상기 몸체부(10)와 상기 포켓부(20) 사이에 온도 편차가 발생하는 것을 최소화 내지 방지할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.
따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
1, 1'... 화학기상증착장치 10... 몸체부
11... 수용홈 12... 지지 로드
20... 포켓부 21... 포켓
22... 구동홈 30... 구동가스 공급부
31... 유로 32... 배관
40... 가열부 41... 발열 수단
42... 단열 수단 50... 반응 챔버
51... 챔버 본체 52... 챔버 덮개
60... 반응가스 공급부 70... 배기부
80... 구동 장치 90... 제어 수단

Claims (10)

  1. 일면에 복수의 수용홈을 구비하고, 타면에 지지 로드를 구비하여 반응 챔버 내에 배치되는 몸체부;
    상기 수용홈 내에 각각 회전가능하도록 배치되는 포켓부;
    상기 지지 로드를 통해 상기 수용홈 내부로 구동가스를 공급하여 상기 포켓부를 회전시키는 구동가스 공급부; 및
    상기 반응 챔버 외부에 배치되어 상기 구동가스 공급부를 가열하여 그 내부로 유동하는 상기 구동가스로 열을 공급하는 가열부;를 포함하는 화학기상증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가열부는, 상기 반응 챔버의 외부에서 상기 구동가스 공급부의 외측을 감싸도록 구비되며 상기 구동가스가 설정된 온도로 공급되도록 가열하는 발열 수단과, 상기 발열 수단의 외측에 구비되어 상기 발열 수단을 덮는 단열 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가열부는 히팅 코일이 구비된 히터 자켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 단열 수단은 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE), 실리카(silica), 강화 글라스 계열의 단열재 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 구동가스의 온도를 모니터링하여 상기 발열 수단의 작동을 제어하는 제어 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동가스 공급부는, 상기 몸체부와 상기 지지 로드 내부에 구비되어 상기 수용홈과 연결되는 유로와, 상기 지지 로드 내의 상기 유로와 연결되어 외부로부터 공급되는 상기 구동가스가 상기 유로로 유동하는 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 배관은 일부가 상기 가열부에 의해 둘러싸여 상기 배관 내부를 유동하는 상기 구동가스로 열을 전달하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 포켓부의 상면에는 웨이퍼가 놓이는 포켓이 형성되고, 상기 포켓부의 측면 또는 하면에는 상기 구동가스의 압력을 받아 상기 포켓부가 회전되도록 하는 복수의 구동홈이 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 반응 챔버 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 반응 챔버 내의 가스가 외부로 배출되도록 하는 배기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
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