KR20120117582A - 가변 회전중심을 가지는 서셉터를 포함하는 박막증착 장치 - Google Patents

가변 회전중심을 가지는 서셉터를 포함하는 박막증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 증착대상물의 모든 면에 균일한 박막을 형성하기 위한 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착대상물을 지지하는 서셉터의 회전중심을 변화시킴으로써 회전중심부에 불균일한 박막층이 형성되는 것을 방지하기 위한 박막 증착장치에 관하여 개시한다.
본 발명은 증착대상물이 수용되어 화학기상증착 공정이 수행되는 반응용기;와 상기 반응용기의 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부;와 상기 반응용기 내부의 압력 조절을 위해 배기가스를 상기 반응용기 외부로 배출하는 배기가스 배출부;와 상기 증착대상물의 저면을 지지하며 회전축을 구비하는 서셉터;와 상기 반응용기에 고정되어 상기 서셉터 회전축의 경로를 안내하는 레일을 구비하는 레일플레이트;와 상기 서셉터의 측면에 접촉하여 상기 서셉터 회전축이 상기 레일플레이트를 따라 이동하며 자전하도록 하는 서셉터구동부;를 포함하여, 레일을 따라 회전중심이 이동하는 서셉터를 통하여 증착대상물의 회전중심을 변화시킴으로써 증착대상물의 회전중심부와 둘레부에 균일한 박막 증착을 제공한다.

Description

가변 회전중심을 가지는 서셉터를 포함하는 박막증착 장치{THIN FILM DEPOSITION APPARATUS COMPRISING SUSCEPTOR HAVING VARIABLE REVOLUTION CENTER}
본 발명은 증착대상물의 모든 면에 균일한 박막을 형성하기 위한 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착대상물을 지지하는 서셉터의 회전중심을 변화시킴으로써 회전중심부에 불균일한 박막층이 형성되는 것을 방지하기 위한 박막 증착장치에 관한 것이다.
태양전지 및 반도체 소자를 제작하기 위하여 장비 내에서 기판을 고정시키기 위해 사용되는 것을 서셉터라 한다. 서셉터는 일반적으로 흑연을 가공하여 사용한다. 그런데, 흑연가공품을 그대로 서셉터로 사용하게 되면 기판 및 증착물이 오염될 수 있으므로, 흑연가공품의 표면을 탄화규소(SiC) 등으로 코팅하여 사용하고 있다.
서셉터를 탄화규소(SiC) 등으로 코팅하는 대표적인 방법으로는 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition: CVD)이 있다.
화학기상증착법은 화학물질을 포함하는 반응가스에 열이나 빛으로 에너지를 가함으로써, 반응성이 크게 높아진 원료물질을 증착대상물의 표면에 증착시키는 방법이다.
다만, 위와 같은 화학기상증착법을 이용하여 서셉터 등을 제조하는 공정 과정 중 주의해야 할 사항으로서, 증착대상물의 모든 면에 대하여 탄화규소를 균일하게 증착시키는 것이 요구된다.
그러나, 종래 박막 증착장치는 증착대상물을 지지하는 서셉터의 회전축이 고정되어 있어, 증착대상물의 회전중심부에 박막층이 과도하게 형성되어 불균일한 박막층이 형성되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 가변 회전중심을 가지는 서셉터를 포함하여, 모든 면에 균일한 박막을 형성하는 박막 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 서셉터의 외주부에 접하여 서셉터의 회전중심을 이동시키는 서셉터구동부를 포함하여, 서셉터의 회전중심을 안정적으로 변화시키는 박막 증착장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 증착대상물이 수용되어 화학기상증착 공정이 수행되는 반응용기;와 상기 반응용기의 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부;와 상기 반응용기 내부의 압력 조절을 위해 배기가스를 상기 반응용기 외부로 배출하는 배기가스 배출부;와 상기 증착대상물의 저면을 지지하며 회전축을 구비하는 서셉터;와 상기 반응용기에 고정되어 상기 서셉터 회전축의 경로를 안내하는 레일을 구비하는 레일플레이트;와 상기 서셉터의 측면에 접촉하여 상기 서셉터 회전축이 상기 레일플레이트를 따라 이동하며 자전하도록 하는 서셉터구동부;를 포함하는 박막 증착장치를 제공한다.
상기 서셉터 회전축은 하단에 피니언 기어를 구비하고, 상기 레일플레이트의 레일은 일면에 상기 피니언 기어와 치합하는 랙기어를 구비한다.
상기 서셉터구동부는 구동력을 제공하는 구동수단과 상기 구동수단에 연결되어 회전하는 크랭크암과 상기 서셉터의 측면에 접촉하며, 상기 크랭크암의 상단에 회전가능하게 결합되는 롤러를 포함한다.
여기서, 상기 롤러는 상기 크랭크암에 대하여 회전구동하는 것이 바람직하며, 표면과, 상기 롤러와 접촉되는 서셉터의 표면에 서로 대응되는 요철을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 서셉터와 상기 서셉터구동부를 승강시키는 승강구동부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 서셉터의 외측으로 이격 배치되어, 상기 서셉터의 하강시 증착대상물을 지지하는 고정홀더 및 상기 서셉터에 안착되는 증착대상물의 이탈을 방지하기 위한 가이드부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기가스 배출부의 주변에 배치되어, 배기가스 배출시 발생하는 와류를 제어하는 보조 배출부를 더 포함할 수 있다.
상기 반응가스공급부는 전후, 좌우로 이동가능하게 형성되는 것이 바람직하며, 상기 레일은 폐곡선 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 박막 증착장치는 레일을 따라 회전중심이 이동하는 서셉터를 통하여 증착대상물의 회전중심을 변화시킴으로써 증착대상물의 회전중심부와 둘레부에 균일한 박막 증착을 제공한다.
그리고, 본 발명에 따른 박막 증착장치는 증착대상물을 승강시킴으로써, 서셉터와 증착대상물의 접촉점을 변경함으로써 증착대상물의 하부면에 균일한 박막 증착을 제공한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 증착장치를 포함하는 화학기상증착(CVD)용 챔버의 구성도도,
도 2는 레일플레이트, 서셉터 및 서셉터구동부를 포함하는 박막증착 장치의 부분사시도,
도 3은 레일플레이트에 형성의 형태를 나타낸 평면도,
도 4는 레일플레이트, 서셉터 및 서셉터구동부의 작동상태를 개념적으로 도시한 평면도,
도 5는 본 발명의 다른 실시예로서, 승하강하는 서셉터구동부를 포함하는 박막 증착장치의 정면도,
도 6은 도 5의 박막 증착장치의 부분사시도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 가이드부를 포함하는 박막증착 장치의 정면도임.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 박막 증착장치에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 장점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수 있고, 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박막 증착장치를 포함하는 화학기상증착(CVD)용 챔버의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 박막 증착장치는 반응용기(100), 반응가스 공급부(200), 배기가스 배출부(300), 레일플레이트(400), 서셉터(500) 및 서셉터구동부(600)를 포함한다.
반응용기(100)는 화학기상증착용 챔버(10)내에 형성되어 내부에 증착대상물(T)을 수용할 수 있는 밀폐된 공간을 형성한다.
여기서, 증착대상물(T)은 탄소계, 산화물계, 탄화물계. 질화물계 등이 사용될 수 있다.
발열부(30)는 반응용기(100)의 외부에 형성되어, 발열부(30)에 반응가스가 증착되는 현상을 방지한다. 여기서, 발열부(30)는 증착대상물(T)과 반응가스를 가열시키기 위한 것으로, 탄화규소(SiC), 규화몰리브덴(MoSi2), 그라파이트 등 세라믹 히터 또는 철-크롬(Fe-Cr)계, 니켈-크롬(Ni-Cr)계, 철-크롬-알루미늄(Fe-Cr-Al)계 금속 히터 또는 오일 히터로 구성될 수 있다.
반응가스 공급부(200)는 반응용기(100)의 일측에 배치되며, 증착대상물(T)의 상하면 및 측면에 반응가스를 공급한다.
반응가스 공급부(200)는 노즐(210), 반응가스 공급관(230) 및 유량조절장치(미도시)를 포함한다.
노즐(210)은 증착대상물(T)에 반응가스를 일정각도로 분사한다. 노즐(210)은 균일한 박막증착을 위하여 증착대상물(T)의 상하면을 향하도록 복수 개가 형성될 수 있다. 또한, 노즐(210)은 복수의 반응가스를 공급하도록 복수 개가 형성될 수 있다.
노즐(210)은 전후, 좌우로 이동가능하게 형성된다. 노즐(210)이 전후, 좌우로 이동함으로써 회전중심부에 코팅층이 집중되는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 회전중심이 이동하는 증착대상물(T)에 노즐(210)이 간섭하지 않도록 할 수 있다.
그리고, 노즐(210)은 수냉식 냉각구조를 가지는 것이 바람직하다. 수냉식 냉각구조를 가지도록 함으로써, 노즐(210)은 반응용기(100) 내부에 존재하는 반응가스와 반응하여 노즐(210) 내부 또는 외부에 박막이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
반응가스 공급관(230)은 노즐(210)의 일단에 연결되며, 노즐(210)에 반응가스를 공급한다.
반응가스 공급관(230)은 노즐(210)에 대응하여 복수 개를 구비할 수 있으며, 복수 개의 반응가스 공급관(230)은 서로 이격 형성될 수 있다.
반응가스 공급관(230)은 수냉식 냉각구조를 가지는 것이 바람직하다. 수냉식 냉각구조를 가지도록 함으로써, 반응가스 공급관(230)은 반응용기(100) 내부에 존재하는 반응가스와 반응하여 반응가스 공급관(230) 내부 또는 외부에 박막이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
유량조절장치(미도시)는 반응가스 공급관(230)에 공급되는 반응가스의 유량을 조절한다. 유량조절장치는 복수 개의 노즐(210)을 통하여 분사되는 복수의 반응가스를 개별적으로 조절할 수 있다.
배기가스 배출부(300)는 배기가스 배출블럭(310), 배기가스 배출관(330)을 포함한다.
배기가스 배출블럭(310)은 증착대상물(T) 방향으로 복수 개의 배출구멍이 형성되며, 상기 배출구멍을 통하여 배기가스를 흡입한다.
배기가스 배출블럭(310)은 증착대상물(T)을 중심으로 반응가스 공급부(200)의 반대측인 반응용기(100) 일측에 배치되며, 이를 통하여 노즐(210)로부터 분사된 반응가스가 증착대상물(T) 방향으로 유동하도록 유도할 수 있다.
배기가스 배출관(330)은 배기가스 배출블럭(310)에 연결되며, 배기가스 배출블럭(310)으로부터 흡입된 배기가스는 반응용기(100) 외부로 배출된다.
본 발명에 따른 박막장치는 보조배출부(700)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
도 1을 다시 참조하면, 보조배출부(700)는 배기가스 배출부(300)의 주변에 배치되어, 배기가스 배출시 발생하는 와류를 제어한다. 배기가스 배출시 발생하는 와류를 제어함으로써, 와류로 인하여 불균일한 박막층이 증착대상물(T)에 형성되는 것을 방지할 수 있다.
도 2는 레일플레이트, 서셉터 및 서셉터구동부를 포함하는 박막증착 장치의 부분사시도이다.
레일플레이트(400)는 반응용기(100) 하부에 배치되며, 레일플레이트(400)에는 레일(410)이 구비된다. 도면상으로 레일플레이트(400)는 반응용기(100) 하부에 돌출된 형상으로 나타나 있으나, 이에 한정되지 아니하며, 반응용기(100)와 일체로 형성될 수도 있다.
레일플레이트(400)는 레일(410)을 통하여 후술할 서셉터(500)의 회전축(530)의 이동을 안내하는 역할을 한다.
레일(410)은 폐곡선 형상으로 형성된다. 폐곡선 형상을 가지는 레일(410)은 서셉터(500) 회전축(530)의 이동을 반복적으로 유도할 수 있다. 여기서 폐곡선이라 함은 반드시 레일(410) 전체가 곡선 구간이란 의미는 아니며, 일부에 직선구간이 형성되는 것을 포함할 수 있다.
레일(410)은 일면에 랙기어(411)를 구비할 수 있다. 일면에 형성된 랙기어(411)를 통해서 서셉터(500)의 회전축(530)의 안정적인 이동을 유도할 수 있다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.
도 3은 레일플레이트에 형성된 레일의 형상을 예시적으로 나타낸 평면도이다.
레일플레이트(400)에 형성된 레일(410)은 도 3에서 예시한 바와 같이 타원형, 상하부가 땅콩 형상의 타원형, 대략 십자가 형태의 폐곡선 등의 형태가 될 수 있다. 레일(410)은 도 3에 나타난 형상에 한정되지 아니하며, 폐곡선 형상을 가지는 다양한 형상을 포함한다.
도 2를 참조하면, 서셉터(500)는 증착대상물을 수평방향으로 안착시키도록 반응용기(100) 내 하부측에 배치되어 증착대상물의 하부면을 지지하며, 증착대상물의 균일한 증착을 위하여 증착대상물을 회전운동 및 승강운동시킨다.
서셉터(500)는 지지부(510), 회전축(530) 및 구동모터(550)를 포함한다.
지지부(510)는 증착대상물의 하부에 배치되며, 증착대상물을 직접 지지한다.
회전축(530)은 지지부(510)의 하부에 연결되며, 지지부(510)가 회전 및/또는 승강운동이 가능한 구조를 가진다.
회전축(530)은 레일플레이트(400)에 형성된 레일(410)에 회전가능하게 결합되어 레일(410)을 따라 자전하며 이동한다. 다시말해 지지부(510)의 회전중심이 레일(410)을 따라 이동하게 되므로, 지지부(510)에 안착되는 증착대상물도 회전중심이 이동하게 되는 것이다. 이로 인해 증착대상물의 회전중심에 과다하게 증착되는 현상을 방지할 수 있다. 따라서 증착대상물 전체에 균일한 증착이 가능하게 된다.
회전축(530)은 하단에 피니언 기어(531)를 구비할 수 있다. 하단에 형성된 피니언 기어(531)는 레일플레이트(400)의 레일(410)에 형성된 랙기어(411)와 맞물리며 회전축(530)의 안정적인 이동이 가능해진다. 회전축(530)의 하단에 형성된 피니언 기어(531)와 레일(410)에 형성된 랙기어(411)가 치합함으로써, 회전축(530)에 전달되는 회전구동력은 회전축(530)을 회전시킴과 동시에 레일(410)을 따라 회전축(530)을 이동시킨다.
구동모터(550)는 회전축(530)의 하부에 연결되며, 지지부(510)가 회전운동을 할 수 있도록 회전구동력을 제공한다.
도 2를 참조하면, 서셉터구동부(600)는 서셉터(500)의 측면에 접촉하여 서셉터(500)의 회전축(530)이 레일플레이트(400)의 레일(410)을 따라 이동하며 자전하도록 한다.
서셉터구동부(600)는 롤러(610), 크랭크암(630) 및 구동수단(650)을 포함한다.
구동수단(650)은 서셉터구동부(600)에 구동력을 제공한다.
크랭크암(630)은 구동수단(650)에 연결되며, 구동수단(650)으로부터 전달받은 구동력에 의하여 회전운동한다.
롤러(610)는 서셉터(500)의 측면에 접촉하며, 크랭크암(630)의 상단에 결합한다. 크랭크암(630)은 롤러(610)가 서셉터(500)의 측면과 이격되지 않는 범위 내에서 회전한다.
크랭크암(630)이 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함에 따라, 크랭크암(630)의 상단에 결합된 롤러(610)는 서셉터(500)의 지지부(510) 측면에 접하여 서셉터(500)의 지지부(510)를 가압한다. 롤러(610)에 의해 가압된 서셉터(500)는 회전할 뿐만 아니라 회전축(530)이 레일(410)을 따라 이동하게 된다. 서셉터(500)의 회전축(530)이 이동하는 것에 대해서는 후술하기로 한다.
롤러(610)는 크랭크암(630)에 대하여 회전구동할 수 있다. 롤러(610)가 회전구동함으로써, 서셉터(500)의 회전축(530)이 이동함과 동시에 서셉터(500)가 회전한다. 롤러(610)는 서셉터(500)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다.
롤러(610)는 지지부(510)의 측면에 접촉 가압시, 안정적인 가압을 위하여 롤러(610)의 표면에 요철(미도시)을 구비한다. 이 때, 지지부(510)의 측면은 롤러(610)의 표면에 대응하는 형상을 가진다. 이를 통하여 롤러(610)는 지지부(510)에 안정적인 가압력을 전달할 수 있으며, 지지부(510)의 흔들림을 방지할 수 있다.
도 4는 레일플레이트, 서셉터 및 서셉터구동부의 작동상태를 개념적으로 도시한 평면도이다. 도 4에서 증착대상물(T)은 발명의 특징을 명확히 설명하기 위하여 생략하였다.
도 4의 (a)에서 서셉터(500)의 회전축(530)은 A지점에 위치하며, A지점을 회전중심으로 회전한다. 크랭크암(630)의 상단에 회전가능하게 결합되는 롤러(610)는 지지부(510)를 가압함으로써 회전축(530)을 이동시킨다.
도 4의 (b)는 롤러(610)에 의해 가압된 서셉터(500)의 회전축(530)이 A지점에서 B지점으로 이동한 것을 나타낸 것이다.
회전축(530)이 이동함으로써, 지지부(510)에 안착된 증착대상물의 회전중심이 이동하게 되어 증착대상물의 회전중심에 코팅층이 집중되는 현상을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예로서, 승강하는 서셉터구동부를 포함하는 박막 증착장치의 정면도이며, 도 6은 도 5의 박막 증착장치의 부분사시도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 박막 증착장치는 반응용기(100), 반응가스 공급부(200), 배기가스 배출부(300), 레일플레이트(400),서셉터(500) 및 서셉터구동부(600)를 포함하며, 고정홀더(800), 가이드부(900)를 더 포함할 수 있다. 상기 실시예에서 도1 내지 도4를 사용하여 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
서셉터구동부(600)는 구동수단(650), 회전운동 및 승강운동이 가능한 크랭크암(630) 및 지지부(510)의 측면과 하부면 일부에 접하는 롤러(610)를 포함한다.
롤러(610)는 서셉터(500)의 지지부(510) 하부면에 접하는 돌출둘레부(611)를 더 포함한다.
돌출둘레부(611)는 롤러(610)의 하부 둘레부에 돌출형성된다. 돌출둘레부(611)는 지지부(510) 하부면을 지지하며 크랭크암(630)의 승강운동을 지지부(510)에 전달한다.
서셉터의 지지부(510)에 많은 하중이 걸리게 되므로, 지지부(510)를 하부에서 지지할 수 있는 돌출둘레부(611)를 형성한 것이다. 돌출둘레부(611)의 돌출면적이 커질수록 지지부(510)의 하중이 돌출둘레부(611)를 통해 롤러(610)로 분산되는 효과가 증가한다.
크랭크암(630)이 승강운동함으로써, 돌출둘레부(611)에 의해 지지되는 지지부(510)가 함께 승강한다. 지지부(510)의 승강으로 인해 회전축(530)도 승강운동한다. 회전축(530)이 승강운동하기 위해서 회전축(530)은 이중관 구조를 가지는 것이 바람직하다.
고정홀더(800)는 반응용기(100)의 하부면로부터 증착대상물(T)에 대향하는 방향으로 수직 돌출된 구조를 가진다.
서셉터(500)의 하강운동에 따른 증착대상물(T)의 하강시, 서셉터(500)로부터 증착대상물(T)을 이탈시킴과 동시에 증착대상물(T)을 일시적으로 지지한다. 서셉터(500)는 증착대상물(T)이 이탈된 상태에서 회전운동한 후 상승운동함으로써 고정홀더(800)에 의해 일시적으로 지지된 증착대상물(T)과 재접촉한다. 서셉터(500)와 증착대상물(T)의 접촉점은 서셉터(500)의 하강운동 전과 서셉터(500)의 상승운동 후가 달라질 수 있다. 이를 통하여 증착대상물(T)과 서셉터(500)의 접촉점이 변경됨으로써, 증착대상물(T) 하부면의 균일한 증착이 가능하다.
고정홀더(800)는 증착대상물(T)을 지지할 수 있도록, 복수 개가 일정각도로 이격 형성되며, 인접하는 고정홀더(800)간 거리는 증착대상물(T)의 직경보다 작다. 또한, 고정홀더(800)는 크랭크암(630)의 회전시 크랭크암(630)을 간섭하지 않도록 크랭크암(630)의 회전반경 외측에 배치된다.
도 7은 가이드부를 포함하는 박막증착 장치의 정면도이다.
도 7을 참조하면, 가이드부(900)는 반응용기(100) 하부면으로부터 증착대상물(T)에 대향하는 방향으로 수직 돌출된 구조를 가진다. 가이드부(900)는 서셉터(500)에 안착된 증착대상물(T)의 높이보다 높게 형성되며, 서셉터(500)에 안착된 증착대상물(T)이 회전중심의 이동에 따라 발생하는 원심력에 의해 서셉터(500)로부터 이탈하는 것을 방지한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10 : 화학기상증착용 챔버 30: 발열부
100 : 반응용기 200 : 반응가스 공급부
210 : 노즐 230 : 반응가스 공급관
300: 배기가스 배출부 310 : 배기가스 배출블럭
330 : 배기가스 배출관 350: 압력조절부
400 : 레일플레이트 410 : 레일
411 : 랙기어 500 : 서셉터
510 : 지지부 530 : 회전축
531 : 피니언 기어 550 : 구동모터
600: 서셉터구동부 610: 롤러
611: 돌출둘레부 630: 크랭크암
650: 구동수단 700: 보조배출부
800: 고정홀더 900: 가이드부

Claims (11)

  1. 증착대상물이 수용되어 화학기상증착 공정이 수행되는 반응용기;
    상기 반응용기의 내부로 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부;
    상기 반응용기 내부의 압력 조절을 위해 배기가스를 상기 반응용기 외부로 배출하는 배기가스 배출부;
    상기 증착대상물의 하부면을 지지하며 회전축을 구비하는 서셉터;
    상기 반응용기에 고정되어 상기 서셉터 회전축의 경로를 안내하는 레일을 구비하는 레일플레이트; 및
    상기 서셉터의 측면에 접촉하여 상기 서셉터 회전축이 상기 레일을 따라 이동하며 자전하도록 하는 서셉터구동부;를 포함하는 박막 증착장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 서셉터 회전축은 하단에 피니언 기어를 구비하고,
    상기 레일플레이트의 레일은 일면에 상기 피니언 기어와 치합하는 랙기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 서셉터구동부는
    구동력을 제공하는 구동수단과,
    상기 구동수단에 연결되어 회전하는 크랭크암과,
    상기 서셉터의 측면에 접촉하며, 상기 크랭크암의 상단에 회전가능하게 결합되는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 롤러는,
    상기 크랭크암에 대하여 회전구동되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 롤러는,
    상기 롤러와 접촉되는 서셉터의 표면에 대응되는 요철을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 서셉터와 상기 서셉터구동부를 승강시키는 승강구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 서셉터의 외측으로 이격 배치되어, 상기 서셉터의 하강시 증착대상물을 지지하는 고정홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 서셉터에 안착되는 증착대상물의 이탈을 방지하기 위한 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 배기가스 배출부의 주변에 배치되어, 배기가스 배출시 발생하는 와류를 제어하는 보조 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응가스 공급부는,
    전후, 좌우로 이동가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 레일은 폐곡선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180047802A (ko) * 2016-11-01 2018-05-10 주식회사 엔씨디 롤투롤 원자층 증착장치
CN118291943A (zh) * 2024-04-10 2024-07-05 湖南德智新材料有限公司 支撑机构、气相沉积设备以及气相沉积方法

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