JP2010510083A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 第１主表面、第２主表面及び工作物を保持するための少なくとも１つの開口部を有するベースキャリアを備えるラッピングキャリアであって、前記開口部が、前記第１主表面から前記ベースキャリアを通って前記第２主表面に伸び、
   ａ）前記ベースキャリアが第１金属を備え、
   ｂ）前記開口部の周囲が、前記第１金属を備える前記ベースキャリアの第３表面によって画定され、
   ｃ）前記第１主表面の少なくとも一部分又は前記第１主表面及び第２主表面のそれぞれの少なくとも一部分が高分子領域を備え、前記高分子領域が少なくとも１０ジュールの破損に至る仕事量を有するポリマーを含む、ラッピングキャリア。
2. 前記高分子領域の少なくとも１つの区域において、接着促進層が前記第１金属と前記高分子領域との間に挿入される、請求項１に記載のキャリア。
3. 前記接着促進層が共有結合した原子を含み、前記共有結合した原子が、炭素に結合した酸素、シリコンに結合した酸素、炭素に結合した窒素、窒素に結合した水素、ニッケルに結合したクロム、ジルコニウムに結合した酸素又はアルミニウムに結合した酸素を含む原子対のうちの少なくとも１つから選択される、請求項２に記載のキャリア。
4. 第１主表面、第２主表面、工作物を保持するための少なくとも１つの開口部を有するベースキャリアを備えるラッピングキャリアであって、前記開口部が、前記第１主表面から前記ベースキャリアを通って前記第２主表面に伸び、
   ａ）ベースキャリアが第１金属又はポリマーを備え、
   ｂ）前記第１主表面の少なくとも一部分又は前記第１主表面及び第２主表面のそれぞれの少なくとも一部分が高分子領域を備え、
   ｃ）前記高分子領域の少なくとも一部分において、少なくとも１つの接着促進層が、前記高分子領域とベースキャリアとの間に挿入され、前記接着促進層が、無機コーティングを備える、ラッピングキャリア。
5. 前記無機コーティングが、第２金属、金属酸化物、又はこれらの組み合わせを備える、請求項４に記載のキャリア。
6. 前記第１金属が鋼又はステンレス鋼を備え、前記ポリマーが熱硬化性ポリマー、熱可塑性ポリマー又はこれらの組み合わせを備え、前記第２金属がアルミニウム又は窒化チタンアルミニウムを備え、前記金属酸化物がシリカ、ジルコニア、アルミナ又はこれらの組み合わせを含む、請求項５に記載のキャリア。
7. ａ．２つの対向するラッピング表面を有する両面ラップ盤又は片面ラップ盤を提供する工程と、
   ｂ．第１主表面、第２主表面及び工作物を保持するための少なくとも１つの開口部を有するベースキャリアを備え、前記開口部が前記第１主表面から前記ベースキャリアを通って前記第２主表面に伸びている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のキャリアを提供する工程であって、
   ｉ）前記ベースキャリアが第１金属を備え、
   ｉｉ）前記開口部の周囲が、前記第１金属からなる前記ベースキャリアの第３表面によって画定され、
   ｉｉｉ）前記第１主表面の少なくとも一部分又は前記第１主表面及び第２主表面のそれぞれの少なくとも一部分が高分子領域を備え、前記高分子領域が、少なくとも１０ジュールの破損に至る仕事量を有するポリマーを含む工程と、
   ｃ．工作物を提供する工程と、
   ｄ．前記開口部に前記工作物を挿入する工程と、
   ｅ．前記ラップ盤に前記キャリアを挿入する工程と、
   ｆ．前記ラッピング表面と工作物との間の接触を維持しながら、前記工作物とラッピング表面との間に相対運動を提供する工程と、
   ｇ．前記工作物の少なくとも一部分を除去する工程、を含む、ラッピング方法。
8. 前記ラップ盤が片面ラップ盤であり、更に前記キャリアが前記ラップ盤の研磨表面と接触するベースキャリアの表面上に高分子領域を備える、請求項７に記載の方法。
9. 前記ラップ盤が、２つの対向するラッピング表面を有する両面ラップ盤であり、更に前記ラッピング表面と工作物との間の接触を維持しながら、前記工作物と２つの対向するラッピング表面との間に相対運動を提供する工程を含む、請求項７に記載の方法。