JP2010283297A - 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第1の薬液(21)を供給する第1薬液供給機構(25)と、第1の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第2の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第2薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第1及び第2の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第2の薬液(22)の供給を開始するとともに第2の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。
【選択図】図8
Description
3 キャリア 4 キャリア搬入出ユニット
5 基板搬入出ユニット 6 基板処理ユニット
7 キャリアステージ 8 開閉扉
9 キャリア搬送機構 10 キャリアストック
11 キャリア載置台 12 開閉扉
13 基板搬入出機構 14 基板搬送機構
15 基板洗浄乾燥装置 16,17,18 基板洗浄装置
19 保持体 20 洗浄装置
21 第1の薬液 22 第2の薬液
23 処理液 24 処理槽
25 第1薬液供給機構 26 第2薬液供給機構
27 処理液循環機構 28 内槽
29 外槽 30 保持具
31 吐出ノズル 32 貯留容器
33 ポンプ 34 流量調整弁
35 供給ノズル 36 貯留容器
37 ポンプ 38 流量調整弁
39 供給パイプ 40 上流側循環パイプ
41 ポンプ 42 ヒータ
43 フィルタ 44 下流側循環パイプ
45 循環流路 46 制御部
Claims (15)
- 基板を処理液で処理するための処理槽と、処理槽に第1の薬液を供給するための第1薬液供給機構と、第1の薬液と反応して処理液を生成する第2の薬液を処理槽に供給するための第2薬液供給機構と、処理槽に接続した循環流路を用いて処理液を所定の循環流量で循環させるための処理液循環機構と、第1及び第2の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第2薬液供給機構に第2の薬液の供給開始を指令する信号を出力するとともに前記処理液循環機構を前記第2の薬液の供給開始を指令する信号に基いて制御して循環流量を変化させることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第2の薬液は、前記第1の薬液よりも自然劣化の速度が速いことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第1の薬液が硫酸を含み、前記第2の薬液が過酸化水素水を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記処理液循環機構を前記第2の薬液の供給開始を指令する信号に基いて制御して循環流量を低減させることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記第2の薬液の供給停止を指令する信号を出力するとともに前記処理液循環機構を前記第2の薬液の供給停止を指令する信号に基づいて制御して循環流量を増大させることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記第2薬液供給機構を制御して前記第2の薬液を複数回に分割して供給させることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記第2薬液供給機構を前記循環流路の途中に接続したことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 第1の薬液と第2の薬液とを反応させて生成した処理液を処理槽に接続した循環流路を用いて所定の循環流量で循環させながら処理槽の内部で基板を処理液で処理する基板処理方法において、
第2の薬液の供給を開始するとともに第2の薬液の供給開始に基づいて循環流量を変化させることを特徴とする基板処理方法。 - 前記第2の薬液の供給開始に基づいて循環流量を低減させることを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記第2の薬液の供給を停止するとともに第2の薬液の供給停止に基づいて循環流量を増大させることを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記第2の薬液の供給量を複数回に分割して供給することを特徴とする請求項8〜請求項10のいずれかに記載の基板処理方法。
- 基板を処理液で処理するための処理槽と、処理槽に第1の薬液を供給するための第1薬液供給機構と、第1の薬液と反応して処理液を生成する第2の薬液を処理槽に供給するための第2薬液供給機構と、処理槽に接続した循環流路を用いて処理液を循環させるための処理液循環機構とを有し、所定の循環流量で処理液を循環させて基板を処理する基板処理装置を用いて、処理液を所定の循環流量で循環させながら処理槽の内部で基板を処理液で処理するための基板処理プログラムを格納した記憶媒体において、
第2の薬液の供給を開始するとともに第2の薬液の供給開始に基づいて循環流量を変化させることを特徴とする基板処理プログラムを格納した記憶媒体。 - 前記第2の薬液の供給開始に基づいて循環流量を低減させることを特徴とする請求項12に記載の基板処理プログラムを格納した記憶媒体。
- 前記第2の薬液の供給を停止するとともに第2の薬液の供給停止に基づいて循環流量を増大させることを特徴とする請求項13に記載の基板処理プログラムを格納した記憶媒体。
- 前記第2の薬液の供給量を複数回に分割して供給することを特徴とする請求項12〜請求項14のいずれかに記載の基板処理プログラムを格納した記憶媒体。
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