JP2010276662A - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFTアレイ検査装置は、TFT基板に荷電粒子ビームを照射し、この荷電粒子ビーム照射によりTFT基板の画素電極から発生する二次電子を検出することによってTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置であり、荷電粒子ビームのフォーカスを定めるフォーカスパラメータを荷電粒子ビームのサンプリングピッチに基づいて算出するフォーカスパラメータ算出手段と、算出したフォーカスパラメータに基づいて荷電粒子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段とを備え、ビーム径やビーム形状等の設定データをデータテーブルに格納する構成に代えて演算によって求める。
【選択図】図1
Description
図1において、TFTアレイ検査装置1は、電子線源等の荷電粒子ビーム源2から電子線等の荷電粒子ビームを基板20のパネル21に照射し、パネル21から放出された二次電子等の電子線を検出器6で検出することによってTFTアレイの欠陥検出を行う検査装置の一構成例を示している。
フォーカス制御信号の生成(図3中の105)は、フォーカス制御信号生成部で行う。フォーカス制御信号は、フォーカスレンズ(107)を駆動する制御信号であり、ビームパラメータ算出手段で算出したビームパラメータ(ビーム径、ビーム形状)、および振れ角ω(104)を用いて生成する。なお、振れ角は、荷電粒子ビームの基板に対する入射角の違いによるビーム径やビーム形状のずれを補正する際に用いる。
2 荷電粒子ビーム源
3 フォーカスレンズ
4 走査レンズ
5 ステージ
6 検出器
11 フォーカスパラメータ算出部
11a 演算手段
11b 演算プログラム記憶手段
12 レンズ制御部
12a フォーカス制御部
12b ビーム走査制御部
13 フォーカス制御信号生成部
14 走査制御部
15 ステージ制御部
16 信号処理部
17 欠陥検出部
18 検査信号印加回路
20 基板
21 パネル
23 ピクセル
23a ピクセル
23b ピクセル
30A 照射範囲
30B 照射範囲
30a〜30d 照射範囲
31 照射点
Claims (4)
- TFT基板に荷電粒子ビームを照射し、当該荷電粒子ビーム照射によりTFT基板の画素電極から発生する二次電子を検出することによってTFTアレイを検査するTFTアレイ検査装置において、
荷電粒子ビームのフォーカスを定めるフォーカスパラメータを荷電粒子ビームのサンプリングピッチに基づいて算出するフォーカスパラメータ算出手段と、
前記算出したフォーカスパラメータに基づいて前記荷電粒子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段とを備えることを特徴とするTFTアレイ検査装置。 - 前記フォーカスパラメータは、照射位置における荷電粒子ビームのビーム径およびビーム形状であり、
前記ビーム径は、所定位置でのX方向およびY方向の径長であり、
前記ビーム形状は、X方向の径長とY方向の径長の比率であり、
前記フォーカス制御手段は、
前記フォーカスパラメータ算出手段で算出したビームの径長および比率に基づいて、荷電粒子ビームをX方向およびY方向に偏向して荷電粒子ビームのフォーカスを制御し、
照射位置における荷電粒子ビームのビーム径およびビーム形状を所定の径および形状とすることを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記フォーカスパラメータ算出手段は、サンプリングピッチを変数として、ビームのX方向およびY方向の径長を求める演算プログラム、および、算出したビームのX方向およびY方向の径長からビーム径の比率を求める演算プログラムを備えることを特徴とする、請求項2に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記フォーカス制御手段は、前記荷電粒子ビームの振れ角に応じて荷電粒子ビームの偏向量を補正し、ビーム径およびビーム形状を何れの振れ角においても所定の径および形状とすることを特徴とする、請求項2又は3に記載のTFTアレイ検査装置。
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JPS6348473A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥画素検査装置 |
JP2001185592A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Toshiba Corp | 検査装置および検査方法 |
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JP2008089476A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査における電子線走査方法 |
-
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- 2009-05-26 JP JP2009126254A patent/JP5142092B2/ja not_active Expired - Fee Related
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