JP2010275166A - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶を得ることが可能な炭化珪素単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】{03−38}面が露出した4H−SiCの種基板1とSiC原料32とを対向配置した後、SiC原料32を加熱して昇華させて原料ガスを発生させると共に、種基板1をSiC原料32より低い温度にして、種基板1上にSiC単結晶を成長させる。このときSiC原料32にSi原料35を添加すると、原料ガスにおけるSiの蒸気圧が高くなり、結晶成長面における原料ガスのCとSiとの比(C/Si)は小さくなる。SiC単結晶を成長させる際、SiC単結晶の成長面近傍の原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を1未満、望ましくは0.25以下にすることにより、種基板1からのSiの昇華が抑制され、種基板1の端部のエッチングが防止される。
【選択図】図2
【解決手段】{03−38}面が露出した4H−SiCの種基板1とSiC原料32とを対向配置した後、SiC原料32を加熱して昇華させて原料ガスを発生させると共に、種基板1をSiC原料32より低い温度にして、種基板1上にSiC単結晶を成長させる。このときSiC原料32にSi原料35を添加すると、原料ガスにおけるSiの蒸気圧が高くなり、結晶成長面における原料ガスのCとSiとの比(C/Si)は小さくなる。SiC単結晶を成長させる際、SiC単結晶の成長面近傍の原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を1未満、望ましくは0.25以下にすることにより、種基板1からのSiの昇華が抑制され、種基板1の端部のエッチングが防止される。
【選択図】図2
Description
この発明は、炭化珪素の単結晶の製造方法に関するものである。
炭化珪素(SiC)半導体は、熱的・化学的に優れた特性を有し、且つ、禁制帯幅(バンドギャップ)が珪素(Si)半導体に比べて大きく電気的にも優れた特性を有する半導体材料として知られている。炭化珪素半導体の単結晶を得る方法としては、改良レイリー法(昇華法)が広く用いられている。現在、直径100mmまでの基板が市販されているが、結晶欠陥密度が比較的高いため、それをさらに低くすることが要求されている。炭化珪素半導体が有する主な結晶欠陥としては、<0001>方向に伸びるマイクロパイプと呼ばれる直径数μmの中空状の欠陥と、{0001}面内の積層欠陥とが挙げられる。
これらの欠陥を減少させるための炭化珪素単結晶の成長方法が、下記の特許文献1に開示されている。例えば図3に示すように、(0001)面から[01−10]方向に54.7度傾いた(03−38)面を露出させた4H型ポリタイプ炭化珪素(4H−SiC)の種基板1上に結晶成長を行うと、インゴット2内においてマイクロパイプ21は[0001]方向に、積層欠陥22は[01−10]方向にそれぞれ伸びるため、ある程度の高さ以上の部分において、マイクロパイプ21および積層欠陥22が存在しない結晶を得ることができる。
なお本明細書では、個別方位は[ ]、集合方位は< >、個別面は( )、集合面は{ }の記号を用いてそれぞれ示している。また結晶学上、負の指数については、“−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、明細書記載の便宜のため、数字の前に負号を付している。
S. K. Lilov 他「Study of silicon carbide epitaxial growth kinetics in the SiC-C system.」 Journal of Crystal Growth, 46 pp.269-273, 1979
図3に示した手法で結晶成長させると、種基板1(種結晶)が4H−SiCであるにも拘わらず、異種ポリタイプ(6H−SiCや15R−SiC等)が混在する領域(異種ポリタイプ領域)が<01−10>方向に沿って広範囲(同図のハッチングされた範囲)に形成され、高品質な4H−SiC単結晶を得ることができないという問題が発生した。
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶を得ることが可能な炭化珪素単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る炭化珪素単結晶の製造方法は、(a){03−38}面が露出した4H−SiCの種結晶とSiC原料とを対向配置する工程と、(b)前記SiC原料を加熱して昇華させることでSiCの原料ガスを発生させると共に、前記種結晶を前記SiC原料よりも低い温度にして、前記種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含み、前記工程(b)において、前記SiC単結晶の成長面近傍の前記原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を1未満にするものである。
SiCはSiの蒸気圧がCの蒸気圧より高い状態で昇華するので、本発明によれば、原料ガスがSiリッチになるため、種結晶が昇華することが抑制され、当該基板の端部におけるエッチングを抑制できる。それにより、当該基板の端部に{0001}ファセットが出現することを防止できる。その結果、成長したSiC単結晶(インゴット)における異種ポリタイプの発生を抑制することができ、欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶が得られる。
本発明者は上記の問題を分析し、その主な原因が種基板の端部における{0001}ファセットの発生にあることを見出した。この{0001}ファセットには、種基板のポリタイプの情報が無いために、その上の成長層に異種ポリタイプが混入しやすい。
以下、図4を参照して、{0001}ファセットの主な発生要因を説明する。一般的に、SiCのバルク結晶成長を行う際の加熱処理としては、高周波誘導加熱方式が用いられる。高周波誘導加熱方式では、グラファイト製の坩堝の外周部が主に加熱されるため、坩堝の中心部が外周部よりも低くなる温度勾配が生じる。そのためインゴット2の成長過程では、図4(a)の等温線5で表されるような温度分布となる。この温度分布の状態で結晶成長を行うと、図4(a)に示すように種基板1の外周部が等温線5に沿う形でエッチングされ、種基板1の端部に{0001}ファセット23が出現する。
また、図4(b)のようにインゴット2が種基板1よりも幅広く成長した場合、インゴット2の上面の端部は傾斜状になる。その傾斜の角度によってはインゴット2の上面の端部に{0001}ファセット24が出現することがあり、これもインゴット2に異種ポリタイプが混入する要因となる。
以下、このような{0001}ファセットの発生を抑制可能な、本発明のSiC単結晶の成長方法について説明する。
<実施の形態1>
上の分析結果から、{0001}ファセットの発生を防止するためには、種基板1の端部のエッチングを防止し、また、結晶成長時におけるインゴット2の口径拡大率を抑えればよいことが分かった。
上の分析結果から、{0001}ファセットの発生を防止するためには、種基板1の端部のエッチングを防止し、また、結晶成長時におけるインゴット2の口径拡大率を抑えればよいことが分かった。
種基板1の端部のエッチングは、種基板1を構成するSiCが昇華することによって起こる。このとき、Siの蒸気圧がCの蒸気圧より高い状態でSiCは昇華する。このため、結晶成長のための原料ガスをSiリッチ(即ち、成長面での原料ガスのCとSiとの比(C/Si)が1未満)にすれば、種基板1からSiが昇華することが抑制され、種基板1の端部のエッチングを防止できる。それによって、図4(a)に示した{0001}ファセット23の発生を抑えることができる。
望ましくは、成長面での原料ガスのCとSiとの比(C/Si)を0.25以下にするとよい。但し、実際に反応空間内のC/Siの値を測定するのは非常に困難なので、その値はシミュレーションにより算出される。
原料ガスのC/Siは、原料から昇華したガスにおける[Cを含む活性種の蒸気圧]/[Siを含む活性種の蒸気圧]から得られる。上記の非特許文献1に基づけば、原料がSiCだけと仮定した場合、C/Siは次の式(1)で表すことができる。なお、式(1)の[Si]、[SiC2]、[Si2C]は、それぞれ原料ガス中のSi、SiC2、Si2Cの蒸気圧を表している。
C/Si={2[SiC2]+[Si2C]}/{[Si]+[SiC2]+2[Si2C]} …(1)
上記したように、4H−SiCの(03−38)面は、(0001)面を[01−10]方向に54.7度傾けた面に相当する。このためインゴット2の側面が[03−38]方向に対し[0001]方向へ54.7度以上傾くようにインゴット2の口径が拡大しながら成長した場合、インゴット2の上端部に図4(b)に示した{0001}ファセット24が出現する。またインゴット2の上面端部が[03−38]方向に対して[01−10]方向に成す角が、35.3度未満となった場合には、図4(b)に示した{0001}ファセットが出現しやすい。
上記したように、4H−SiCの(03−38)面は、(0001)面を[01−10]方向に54.7度傾けた面に相当する。このためインゴット2の側面が[03−38]方向に対し[0001]方向へ54.7度以上傾くようにインゴット2の口径が拡大しながら成長した場合、インゴット2の上端部に図4(b)に示した{0001}ファセット24が出現する。またインゴット2の上面端部が[03−38]方向に対して[01−10]方向に成す角が、35.3度未満となった場合には、図4(b)に示した{0001}ファセットが出現しやすい。
それを確実に防止するため、本実施の形態では図1に示すように、インゴット2の成長高さHの1/5の高さにおけるインゴット2側面の接線と[03−38]方向の成す角αが、0度以上、40度以下となるようにする(0度に近い方が好ましい)。さらに、インゴット2の最大径部であるX点と、種基板1(種結晶)の外端部の真上([03−38]方向)に位置するインゴット2表面上のY点とを結ぶ直線が、[03−38]方向と成す角βが、50度以上、90度以下となるようにする(90度に近い方が好ましい)。インゴット2をこのような形状に成長させることにより、インゴット2の上端部に{0001}ファセットが出現することを防止できる。その結果、欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶を得ることができる。
図2は、本発明に係る結晶成長方法の実施に用いた結晶成長装置の要部30(以下単に「結晶成長装置30」と称す)を示す図である。同図を参照しつつ、本実施の形態のSiC結晶の成長方法を説明する。
まず坩堝31の蓋体33の中央部に種基板1(種結晶)を貼り付ける。そして坩堝31内にSiC原料32を充填し、坩堝31の上部の開口部を蓋体33で塞ぐことで(このとき種基板1とSiC原料32とが対向する)、坩堝31内を準密閉空間にする。
続いて、結晶成長装置30を真空引きした後、高純度アルゴン(Ar)ガスで雰囲気置換する。その後、結晶成長装置30を誘導コイル等の加熱手段(不図示)を用いて加熱して、SiC原料32の温度をSiCが昇華する温度(2000℃〜2500℃)にし、そして種基板1を取り付けた蓋体33の温度をSiC原料32の温度より低く設定する。その状態で、Ar雰囲気の圧力を減圧すると、SiC原料32が昇華したガス(原料ガス)が種基板1部に到達するようになり、種基板1でSiC単結晶の成長が始まる。
本実施の形態では、このときSiC原料32にSi原料35を添加する。Siの融点はSiCの融点よりも低いため、Si原料35が添加されることで原料ガスにおけるSiの蒸気圧が高くなる。式(1)から分かるように、Siの蒸気圧が高くなると、結晶成長面における原料ガスのCとSiとの比(C/Si)は小さくなる。つまりSiC原料のみを用いた場合よりも、原料ガスがSiリッチとなる。
本実施の形態では、Si原料35の添加によってC/Siが0.25以下になるようにする。それにより、種基板1からのSiの昇華が抑制され、種基板1の端部のエッチングが防止される。その結果、図4(a)に示した{0001}ファセット23の出現が抑えられる。
また、種基板1上に成長するインゴット2の形状(口径拡大率)は、結晶成長時における種基板1の温度および坩堝31内の温度を調整することで制御できる。それらの温度を適切に調整して、図1に示した角αを0度〜40度にし、さらに角βを50〜90度にする。その結果、図4(b)に示した{0001}ファセット24の出現も抑えることができる。
その結果、インゴットにおける異種ポリタイプの発生を抑制することができ、欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶が得られる。
ところで、結晶成長時におけるSiの蒸気圧が高過ぎると、グラファイトの坩堝31がSiと反応して坩堝31の劣化が生じるため、そうならないようにSi原料35の添加量および添加方法を考慮することが望ましい。例えば、添加するSi原料35の量はSiC原料32の1.0質量%程度が適切である。なお、添加するSi原料35は粉末状のものであっても、ウェーハ状のものであってもよい。また、Si原料35はSiC原料32内に混ぜてもよいし、SiC原料32の上に載置してもよい。
Si原料35の最適な添加量および添加方法は、坩堝31の構造や結晶成長時の温度よって変わるため、個々の結晶成長装置に応じたものを選択することが望ましい。またSi原料35の添加による坩堝31の劣化を防止するために、坩堝31の内部をタンタルカーバイド等でコーティングすることも有効である。
<実施の形態2>
実施の形態1では、SiC原料32にSi原料35を添加することによって、SiCの結晶成長時における原料ガスのSiの蒸気圧を高くしたが、Siの蒸気圧は、結晶成長時の雰囲気圧力を低くすることでも高くできる。
実施の形態1では、SiC原料32にSi原料35を添加することによって、SiCの結晶成長時における原料ガスのSiの蒸気圧を高くしたが、Siの蒸気圧は、結晶成長時の雰囲気圧力を低くすることでも高くできる。
そこで本実施の形態では、SiC原料32にSi原料35を添加せずに、結晶成長時の雰囲気圧力を低くすることで、原料ガスのC/Siを0.25以下にする。具体的には、実施の形態1と同様の結晶成長装置30(図3)を用い、結晶成長時の雰囲気圧力を15Pa以下にする。この場合、原料ガスのC/Siが0.25以下になることがシミュレーションにより確認できた。
本実施の形態ではSi原料35の添加は行わないが、実施の形態1と同様に原料ガスのC/Siを0.25以下にできる。それにより、種基板1からのSiの昇華が抑制され、種基板1の端部のエッチングが防止される。その結果、図4(a)に示した{0001}ファセット23の出現が抑えられる。
また、結晶成長時における種基板1の温度および坩堝31内の温度を適切に調整し、インゴットにおける図1に示した角αを0度〜40度にし、さらに角βを50〜90度にする。その結果、図4(b)に示した{0001}ファセット24の出現も抑えることができる。
その結果、実施の形態1と同様に、インゴット2における異種ポリタイプの発生を抑制することができ、欠陥密度の少ない高品質な4H−SiC単結晶が得られる。
本実施の形態では、原料ガスのC/Siが0.25以下にするために、雰囲気圧力を15Paにしたが、雰囲気圧力の最適値は、坩堝31の構造や結晶成長時の温度よって変わるため、個々の結晶成長装置に応じて適切に調整することが望ましい。
1 種基板、2 インゴット、21 マイクロパイプ、22 積層欠陥、23,24 {0001}ファセット、5 等温線、31 坩堝、32 SiC原料、33 蓋体、34 断熱材、35 Si原料、30 結晶成長装置。
Claims (6)
- (a){03−38}面が露出した4H−SiCの種結晶とSiC原料とを対向配置する工程と、
(b)前記SiC原料を加熱して昇華させることでSiCの原料ガスを発生させると共に、前記種結晶を前記SiC原料よりも低い温度にして、前記種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含み、
前記工程(b)において、前記SiC単結晶の成長面近傍の前記原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を1未満にする
ことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記工程(b)においては、前記SiC原料にSi原料が添加されることによって、前記原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を1未満にする
請求項1記載の炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記原料ガスにおけるCとSiの比(C/Si)を0.25以下にする
請求項2記載の炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記工程(b)においては、結晶成長中の雰囲気ガスが15Pa以下に設定されることによって、前記原料ガスにおけるCとSiとの比(C/Si)を0.25以下にする
請求項1記載の炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記工程(b)において、
成長した4H−SiC単結晶の高さの1/5の高さにおける当該4H−SiC単結晶側面の接線と[03−38]方向の成す角は、0度以上、40度以下である
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記工程(b)において、
成長した4H−SiC単結晶の最大径部の点と、前記種結晶の外端部の[03−38]方向に位置する当該4H−SiC単結晶表面上の点とを結ぶ直線が、[03−38]方向と成す角は、50度以上、90度以下である
請求項5記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
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CN110878422A (zh) * | 2018-09-06 | 2020-03-13 | 昭和电工株式会社 | 单晶生长用坩埚和单晶生长方法 |
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CN110878427A (zh) * | 2018-09-06 | 2020-03-13 | 昭和电工株式会社 | 单晶生长方法 |
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US11111599B2 (en) | 2018-09-06 | 2021-09-07 | Showa Denko K.K. | Single crystal growth method which includes covering a part of a surface of a raw material for sublimation with a metal carbide powder |
CN110878422B (zh) * | 2018-09-06 | 2021-09-24 | 昭和电工株式会社 | 单晶生长用坩埚和单晶生长方法 |
US11814749B2 (en) | 2018-09-06 | 2023-11-14 | Resonac Corporation | Single crystal growth crucible and single crystal growth method |
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