JP2010263317A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010263317A5 JP2010263317A5 JP2009111256A JP2009111256A JP2010263317A5 JP 2010263317 A5 JP2010263317 A5 JP 2010263317A5 JP 2009111256 A JP2009111256 A JP 2009111256A JP 2009111256 A JP2009111256 A JP 2009111256A JP 2010263317 A5 JP2010263317 A5 JP 2010263317A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove portions
- base
- vibration piece
- vibrating arm
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009111256A JP5272880B2 (ja) | 2009-04-30 | 2009-04-30 | 屈曲振動片 |
| US12/767,851 US7932664B2 (en) | 2009-04-30 | 2010-04-27 | Flexural vibration piece |
| CN201010170631XA CN101877575B (zh) | 2009-04-30 | 2010-04-30 | 弯曲振动片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009111256A JP5272880B2 (ja) | 2009-04-30 | 2009-04-30 | 屈曲振動片 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010263317A JP2010263317A (ja) | 2010-11-18 |
| JP2010263317A5 true JP2010263317A5 (enExample) | 2012-06-28 |
| JP5272880B2 JP5272880B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=43020052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009111256A Expired - Fee Related JP5272880B2 (ja) | 2009-04-30 | 2009-04-30 | 屈曲振動片 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7932664B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5272880B2 (enExample) |
| CN (1) | CN101877575B (enExample) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201032470A (en) * | 2008-10-24 | 2010-09-01 | Seiko Epson Corp | Bending vibration piece, bending vibrator, and piezoelectric device |
| JP5272880B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片 |
| JP5482541B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2014-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
| US20110215680A1 (en) * | 2010-03-05 | 2011-09-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
| JP2012249244A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
| JP2012249246A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Kyocera Crystal Device Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
| JP5724672B2 (ja) * | 2011-06-24 | 2015-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
| JP5839919B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-01-06 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
| KR101532115B1 (ko) * | 2011-12-01 | 2015-06-29 | 삼성전기주식회사 | 압전 진동자 및 그 제조 방법 |
| JP2013192013A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 |
| JP2013251672A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 |
| JP6080449B2 (ja) | 2012-09-18 | 2017-02-15 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP6155897B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
| JP6435596B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2018-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
| JP6582501B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2019-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
| EP3468036A1 (fr) * | 2017-10-03 | 2019-04-10 | Micro Crystal AG | Résonateur piezo-electrique de petite taille |
| US10665368B2 (en) * | 2018-04-17 | 2020-05-26 | 3M Innovative Properties Company | Cable support |
| WO2019211926A1 (ja) * | 2018-05-02 | 2019-11-07 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| US11541688B2 (en) * | 2018-05-10 | 2023-01-03 | Aktiebolaget Skf | Wheel hub assembly provided with piezoelectric spacers |
| CN114189228B (zh) * | 2021-11-16 | 2022-09-02 | 苏州亿波达光电子科技有限公司 | 一种石英音叉谐振器及其制备方法 |
| CN114157268B (zh) * | 2021-12-06 | 2022-12-20 | 苏州亿波达光电子科技有限公司 | 一种石英晶体谐振器及其制造方法 |
| CN117767908A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-03-26 | 天津大学 | 一种音叉型压电振动片及振荡器 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5393792A (en) * | 1977-01-26 | 1978-08-17 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
| FR2467487A1 (fr) * | 1979-10-15 | 1981-04-17 | Ebauches Sa | Resonateur piezoelectrique |
| JP2625511B2 (ja) | 1988-07-21 | 1997-07-02 | 株式会社クボタ | 穀粒選別装置用穀粒分布検出装置 |
| JPH06112760A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 捩り水晶振動子 |
| WO2000044092A1 (en) | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibrator and electronic device with vibrator |
| JP2002261575A (ja) | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP3900846B2 (ja) * | 2001-03-02 | 2007-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
| JP2004135052A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型振動子 |
| JP4281348B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-06-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP4257138B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2009-04-22 | 京セラキンセキヘルツ株式会社 | 音叉型水晶振動子 |
| JP2004260718A (ja) | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動片及び音叉型振動片の製造方法並びに圧電デバイス |
| JP4316903B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2009-08-19 | リバーエレテック株式会社 | 屈曲振動子 |
| JP4593203B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-12-08 | リバーエレテック株式会社 | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
| EP1672315B1 (fr) * | 2004-12-20 | 2007-09-26 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Transducteur de mesure d'une vitesse angulaire |
| JP4638263B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2011-02-23 | リバーエレテック株式会社 | 音叉型屈曲振動子 |
| JP4404218B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉振動子およびその製造方法 |
| JP2007285879A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 角速度センサおよびその製造方法 |
| CN101495836B (zh) * | 2006-07-21 | 2011-07-27 | 株式会社村田制作所 | 音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪 |
| JP4578499B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-11-10 | 京セラキンセキ株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器 |
| US8234774B2 (en) * | 2007-12-21 | 2012-08-07 | Sitime Corporation | Method for fabricating a microelectromechanical system (MEMS) resonator |
| JP2010193133A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Epson Toyocom Corp | 屈曲振動片および屈曲振動子 |
| JP5272880B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片 |
-
2009
- 2009-04-30 JP JP2009111256A patent/JP5272880B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-04-27 US US12/767,851 patent/US7932664B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-30 CN CN201010170631XA patent/CN101877575B/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010263317A5 (enExample) | ||
| US7932664B2 (en) | Flexural vibration piece | |
| JP2006270177A5 (enExample) | ||
| JP6616617B2 (ja) | バスバー | |
| JP5908533B2 (ja) | レシプロブレード | |
| JP2013121190A5 (ja) | アクチュエーターおよびロボット | |
| WO2015182521A1 (ja) | 弾性波装置及びラダー型フィルタ | |
| JP2012019440A5 (ja) | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 | |
| JP2011160250A5 (enExample) | ||
| JP2009135830A5 (enExample) | ||
| JP2009130564A5 (enExample) | ||
| JP2010518337A5 (enExample) | ||
| JP2010226608A5 (enExample) | ||
| JP2010524314A5 (enExample) | ||
| JP2012204774A5 (enExample) | ||
| JP2008306468A5 (enExample) | ||
| JP2011151780A5 (ja) | 振動片、振動デバイス子及び電子機器 | |
| JP2012160996A5 (enExample) | ||
| JP2010232932A5 (ja) | 振動片 | |
| JP4319657B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2005341251A5 (enExample) | ||
| JP2011087279A5 (enExample) | ||
| JP4993080B2 (ja) | 音叉型圧電振動片 | |
| JP7003997B2 (ja) | 振動装置 | |
| JP2010109526A5 (ja) | 振動片、振動子及び振動片の製造方法 |