JP2010262176A5 - - Google Patents

Description

この際、制御部６からの指令により、図４に示すように、ＤＭＤ７の微小可動ミラーのＯＮ／ＯＦＦ状態が切り替えられる。ここでは、光検出器１７の各チャネルに対して、レーザ光Ｌのスポット光に対応した蛍光Fのスポット光が４つ入射する場合について説明する。

Claims (4)

1. レーザ光を射出するレーザ光源と、
   該レーザ光源からのレーザ光をライン状に集光するライン集光光学系と、
   該ライン集光光学系により集光されたレーザ光を反射又は透過する微小素子が前記ラインの長手方向に複数配列された微小素子アレイと、
   該微小素子アレイにより反射又は透過されたレーザ光を前記ラインの長手方向に直交する方向に走査するスキャナと、
   該スキャナにより走査されたレーザ光を標本に照射する照射光学系と、
   前記微小素子アレイと共役な位置に配置され、前記標本からの光を検出する複数のチャネルが前記微小素子アレイの微小素子のピッチよりも大きなピッチで前記ラインの長手方向に沿って配列された光検出器と、
   前記レーザ光が前記ラインの長手方向に沿った複数個のスポット光として標本を照射するように前記微小素子アレイを制御して、異なる前記微小素子において反射又は透過された標本からの光を各前記チャネルにそれぞれ同時に入射させるとともに、標本を照射する前記複数個のレーザスポット光のそれぞれの位置を前記ライン上で順次異ならせて各前記チャネルについて同じチャネルに前記標本上の異なる位置からの光が順次入射するように、前記微小素子を順次切り替える制御部とを備えるレーザ走査型顕微鏡。
2. 前記標本からの光を、該標本上における前記ラインの長手方向に沿う方向に走査する第２のスキャナを備える請求項１に記載のレーザ走査型顕微鏡。
3. 前記標本からの光をスペクトル成分に分光し、これらスペクトル成分を前記ラインの長手方向に直交する方向に並べて出射する分光素子を備え、
   前記光検出器が、前記ラインの長手方向に直交する方向に複数列設けられ、前記分光素子により分光されたスペクトル成分をそれぞれ検出する請求項１または請求項２に記載のレーザ走査型顕微鏡。
4. 複数の前記微小素子により１つの集光スポットを生成する場合において、
   前記微小素子アレイからの光を前記光検出器へ集光させる検出光学系と前記ライン集光光学系の少なくとも一方の焦点深度が、１つの集光スポットを生成する各前記微小素子により発生する光路差よりも大きく設定されている請求項１から請求項３のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。