JP2010256136A - 振動子の駆動方法および駆動回路ならびにその駆動回路を備える慣性力検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動回路120は、振動子412の共振周波数とほぼ同一の周波数frの交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路121と、振動子412の共振周波数よりも高い周波数fcの交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路122と、搬送波を変調波により振幅変調して、駆動用固定電極416に駆動信号を出力する振幅変調回路123と、搬送波の直流電圧を調整して、振動子412に、調整された搬送波を出力する直流電圧調整回路124とを備える。駆動回路120の搬送波発生回路122の出力信号が、直流電圧調整回路124を通り、固定部413を通じて振動子412へ印加される。駆動用固定電極416に加えられる駆動信号Vkが図2(a)に示されており、振動子412に印加される電圧Vmassが図2(b)に示されるものである。
【選択図】図1
Description
120 駆動回路
121 変調波発生回路
122 搬送波発生回路
123 振幅変調回路
124 直流電圧調整回路
130 センサ出力回路
131 CV変換回路
132 低域通過フィルタ
133 整流回路
400 角速度検出装置
410 素子部
411 基部
420 駆動回路
411 基部
412 振動子
413 固定部
414 梁
415 駆動用可動電極
416 駆動用固定電極
417 検出用可動電極
418 検出用固定電極
420 駆動回路
421 発振器
422 増幅器
430 センサ出力回路
431 電圧源接続部
432 抵抗器
433 増幅器
434 整流回路
435 平滑化回路
720 駆動回路
721 変調波発生回路
722 搬送波発生回路
723 振幅変調回路
730 センサ出力回路
731 低域通過フィルタ
Claims (5)
- 振動子と前記振動子に隣接して設けられた駆動用電極との間の電位差に静電気力により、前記振動子を共振駆動する振動子の駆動方法であって、
前記振動子の共振周波数よりも高い周波数の交流電圧である搬送波を発生するステップと、
前記振動子の共振周波数とほぼ同一の周波数の交流電圧である変調波を発生するステップと、
前記搬送波を前記変調波により振幅変調して、前記駆動用電極に駆動信号を出力するステップと、
前記搬送波の直流電圧を調整して、前記振動子に調整された前記搬送波を出力するステップと
を含むことを特徴とする振動子の駆動方法。 - 前記搬送波を前記振動子の共振周波数とほぼ同一の周波数の信号により過変調することを特徴とする請求項1に記載の振動子の駆動方法。
- 振動子と前記振動子に隣接して設けられた駆動用電極との間の電位差に静電気力により、前記振動子を共振駆動するための駆動回路であって、
前記振動子の共振周波数よりも高い周波数の交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路と、
前記振動子の共振周波数とほぼ同一の周波数の交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路と、
前記搬送波を前記変調波により振幅変調して、前記駆動用電極に駆動信号を出力する振幅変調回路と、
前記搬送波の直流電圧を調整して、前記振動子に調整された前記搬送波を出力する直流電圧調整回路と
を備えることを特徴とする振動子の駆動回路。 - 前記搬送波を前記振動子の共振周波数とほぼ同一の周波数の信号により過変調することを特徴とする請求項3に記載の振動子の駆動回路。
- 振動子ならびに前記振動子に隣接して設けられた駆動用電極および検出用電極と、
前記振動子と前記駆動用電極との間の電位差に静電気力により、前記振動子を共振駆動するための、請求項3または4に記載の駆動回路と、
前記検出用電極に接続され、前記振動子の出力に応じた検出信号を出力する検出信号出力部と、
前記検出信号出力部に接続され、前記振動子の前記共振周波数よりも高く、かつ、前記搬送波の周波数よりも低い周波数をしきい値周波数としてもつ低域通過フィルタと
を備えることを特徴とする慣性力検出装置。
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