JP2010240525A - 霧化装置の恒温水循環システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】恒温水が収容された恒温槽と、内部に霧化させる材料を収容して前記恒温槽に侵漬される材料収容容器と、前記恒温槽に接続されて前記恒温水を循環させる恒温循環ポンプ装置と、前記恒温槽内の恒温水の減少分を補う給水装置とを備えた霧化装置の恒温水循環システムである。前記恒温循環ポンプ装置は、循環される恒温水を加熱して前記恒温槽内の恒温水を設定温度に保つ温度調整装置を備える。前記給水装置は前記恒温循環ポンプ装置の流入側に恒温水を供給し、前記温度調整装置で当該恒温水を温度調整した後に前記恒温槽内へ供給する。霧化装置又は配線形成装置に前記恒温水循環システムを組み込んだ。
【選択図】 図4
Description
浄化用大気プラズマ発生装置2は、図2に示すように、上端がガス源6又は7からのガスの導入口8aとなり、下端がプラズマ噴射口8bとなる誘電体管8と、該誘電体管8の長手方向へ相互に間隔d1をおいて配置され、それぞれが誘電体管8を取り巻いて配置される一対の電極9、9と、これら電極間に交番電圧あるいはパルス状電圧を印加するための電源装置10とを備える。
温度センサ58で測定した恒温槽25,43内の恒温用液体24,42の温度と、給水タンク61内の恒温用液体の温度との差と、恒温槽25,43内の恒温用液体24,42の減少量から、補給される給水タンク61内の恒温用液体を設定温度に加熱するのに必要な熱量を計算する。
前記実施形態では、霧化部20と溶媒補給部21とを備えた霧化装置17に恒温水循環システム51を接続した構成例を説明したが、本発明はこれに限らず、他の構成の霧化装置でも良い。少なくとも霧化部20を有する構成の霧化装置であれば本発明の恒温水循環システム51を適用することができる。これにより、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (4)
- 恒温水が収容された恒温槽と、内部に霧化させる材料を収容して前記恒温槽に侵漬される材料収容容器と、前記恒温槽に接続されて前記恒温水を循環させる恒温循環ポンプ装置と、前記恒温槽内の恒温水の減少分を補う給水装置とを備え、
前記恒温循環ポンプ装置が、循環される恒温水を加熱して前記恒温槽内の恒温水を設定温度に保つ温度調整装置を備え、
前記給水装置が、前記恒温循環ポンプ装置の流入側に恒温水を供給して前記温度調整装置で当該恒温水を温度調整した後に前記恒温槽内へ供給することを特徴とする霧化装置の恒温水循環システム。 - 請求項1に記載の霧化装置の恒温水循環システムにおいて、
前記給水装置が、前記恒温槽内に設けられて当該恒温槽内の恒温水の水位を測定する水位センサと、当該水位センサで測定した前記恒温槽内の恒温水の減少分に合わせて、前記恒温循環ポンプ装置の流入側への恒温水の供給量を調整する給水弁とを備えたことを特徴とする霧化装置の恒温水循環システム。 - ペースト材料及び、当該ペースト材料を溶かす溶媒を混合したペースト溶剤を、恒温水が収容された恒温槽に浸漬して霧化させる霧化部と、
恒温水が収容された恒温槽に前記溶媒を浸漬して霧化させたガス及び、キャリアガス源から供給されたキャリアガスを混合させた混合ガスを前記霧化部に供給する溶媒補給部と、前記各恒温槽のいずれか一方又は両方に接続されて、その内部に収容された恒温水を一定の温度及び水量に保つ恒温水循環システムとを備え、
前記恒温水循環システムとして、請求項1又は2に記載の恒温水循環システムを用いたことを特徴とする霧化装置。 - 基板上の酸化物をプラズマガスとの化学反応により除去する浄化用大気プラズマ発生装置と、霧化装置でペースト材料を霧化状態にして前記基板上に吹き付けて付着させるペースト材料付着装置と、このペースト材料付着装置で基板上に付着されたペースト材料に酸素ラジカル分子を照射する酸素ラジカル分子噴射装置とを備え、
前記霧化装置として、請求項3に記載の霧化装置を用いたことを特徴とする配線形成装置。
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