JP2010238765A - 半導体ウェーハの両面研削装置及び両面研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の両面研削装置10は、ウェーハ1を鉛直方向に立てた姿勢で支持して軸線1a周りに回転させる回転駆動部13、14と、ウェーハ1の両面3、4に供給する流体25の圧力により両面3、4を支持する静圧パッド21、26と、ウェーハ1の回転軸線1aと平行な軸線31a、36aの周りに回転してウェーハ1の両面3、4を研削する研削用砥石31、36と、ウェーハ1の両面3、4に接触する位置と接触しない位置との間を移動可能であり、接触位置にある場合にウェーハ1の厚みを監視する厚みセンサと、研削用砥石31、36による両面研削工程の開始から所定の段階まで厚みセンサを非接触位置に保持し、所定の段階から両面研削工程の終了まで厚みセンサを接触位置に保持する切り換え部と、を備える。
【選択図】図1
Description
このスライス工程において、半導体ウェーハの両面にはワイヤソー等によるソーマークが形成されている。ソーマークとは、ワイヤソー等によりスライスされた半導体ウェーハの両面に残る起伏、段差等の切断痕のことである。
まず、図1及び図2を参照して半導体ウェーハの両面研削装置10の全体構成について説明する。両面研削装置10は、半導体ウェーハとしてのシリコンウェーハ1の両面を同時に研削するものである。
一対の静圧パッド21、26の間にシリコンウェーハ1が配置される。一対の静圧パッド21、26は、シリコンウェーハ1の両面3、4に供給される流体25の圧力により、回転するシリコンウェーハ1の両面3、4を支持する。
一対の研削用砥石31、36は、シリコンウェーハ1の回転軸線1aと平行な軸線31a、36aの周りに回転して、シリコンウェーハ1の両面3、4を研削する。
回転ローラ13は、図示しないモータにより水平な軸線13aの周りに回転するローラである。回転ローラ13は、シリコンウェーハ1及びキャリア11の重量を支える下部の2個のローラのうちの1個を構成する。回転ローラ13は、図5に示す制御装置50に接続され、制御装置50からの指令によりモータを介して回転される。
また、研削用砥石31、36は、制御装置50からの指令により送りモータを介して前進方向への変位が制御される。すなわち、研削用砥石31、36は、両面研削工程の初期には比較的速い送り速度で前進する。また、研削用砥石31、36は、両面研削工程の終期には比較的遅い送り速度で前進する。
例えば、シリコンウェーハ1の両面3、4からソーマークが実質的に消滅する段階を、所定の段階として設定することができる。「ソーマークが実質的に消滅する段階」とは、半導体ウェーハとしてのシリコンウェーハ1の両面3、4から、本発明の効果を達成できる程度にソーマークが消滅する段階をいう。
または、両面研削工程の開始からあらかじめ設定された時間が経過する時期を、所定の段階として設定することができる。
粗研削の開始時のシリコンウェーハ1の厚さをAμm、中1研削の開始時のシリコンウェーハ1の厚さをBμm、中2研削の開始時のシリコンウェーハ1の厚さをCμm、仕上げ研削の開始時のシリコンウェーハ1の厚さをDμmとする。
すなわち、粗研削を終了した段階では、多くのシリコンウェーハ1の両面3、4にソーマークが残っていた。つまり、厚さがBμmの段階では、ソーマークが消滅したシリコンウェーハ1はわずかであった。
中2研削を終了した段階では、全てのシリコンウェーハ1の両面3、4からソーマークが消滅した。つまり、厚さがDμmの段階では、ソーマークが残っているシリコンウェーハ1は1枚も無かった。
従って、中2研削の途中の時期を所定の段階と設定した。すなわち、粗研削の開始から中2研削の途中まで厚みセンサ40を非接触位置に保持する。また、中2研削の途中から仕上げ研削の終了まで及び仕上げ研削後のスパークアウトも含めて厚みセンサ40を接触位置に保持する。
すなわち、モータは、制御装置50から指令を受けて、回転ローラ13を軸線13aの周りに回転させる。これにより、回転ローラ13は、シリコンウェーハ1及びキャリア11を軸線1aの周りに回転させる。また、別のモータは、制御装置50から指令を受けて、研削用砥石31、36を軸線31a、36aの周りに回転させる。
これにより、研削用砥石31、36の研削面33、38が同時にシリコンウェーハ1の両面3、4をそれぞれ研削する両面研削工程が開始される。
すなわち、粗研削の開始から中1研削を経て中2研削の途中まで両面研削工程が進行したか否かを判定する。または、粗研削の開始から中1研削を経て中2研削の途中までの両面研削工程に要する時間が経過したか否かを判定する。
この判定がNOの場合は、ステップS3に戻り、YESの場合は、ステップS4に移る。
この判定がNOの場合は、ステップS5に戻り、YESの場合は、終了する。
例えば、上記の実施形態では、厚みセンサ40の非接触位置への退避及び接触位置への進入を図3、図4に示すように構成したが、これに限定されない。他の退避形態及び進入形態を採用することが可能である。
半導体ウェーハは、シリコンウェーハに限定されない。
10 両面研削装置
13 回転ローラ(回転駆動部)
14 支持ローラ(回転駆動部)
21,26 静圧パッド
31,36 研削用砥石
40 厚みセンサ
45 切り換え部
Claims (6)
- 半導体ウェーハを鉛直方向に立てた姿勢で支持して軸線周りに回転させる回転駆動部と、
前記半導体ウェーハの両面に供給する流体の圧力により当該両面を支持する一対の静圧パッドと、
前記半導体ウェーハの回転軸線と平行な軸線周りに回転して当該半導体ウェーハの両面を研削する一対の研削用砥石と、
前記半導体ウェーハの両面に接触する接触位置と接触しない非接触位置との間を移動可能であり、前記接触位置にある場合に前記半導体ウェーハの厚みを監視する厚みセンサと、
前記研削用砥石による両面研削工程の開始から所定の段階まで前記厚みセンサを前記非接触位置に保持し、前記所定の段階から両面研削工程の終了まで前記厚みセンサを前記接触位置に保持する切り換え部と、
を備えることを特徴とする半導体ウェーハの両面研削装置。 - 前記所定の段階は、半導体ウェーハの両面からソーマークが実質的に消滅する段階であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの両面研削装置。
- 前記所定の段階は、両面研削工程の開始からあらかじめ設定された時間が経過する時期であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの両面研削装置。
- 半導体ウェーハを鉛直方向に立てた姿勢で支持して軸線周りに回転させる回転駆動部と、
前記半導体ウェーハの両面に供給する流体の圧力により当該両面を支持する一対の静圧パッドと、
前記半導体ウェーハの回転軸線と平行な軸線周りに回転して当該半導体ウェーハの両面を研削する一対の研削用砥石と、
前記半導体ウェーハの両面に接触する接触位置と接触しない非接触位置との間を移動可能であり、前記接触位置にある場合に前記半導体ウェーハの厚みを監視する厚みセンサと、
を備える両面研削装置を用いた半導体ウェーハの両面研削方法であって、
前記研削用砥石による両面研削工程の開始から所定の段階まで前記厚みセンサを前記非接触位置に保持して前記半導体ウェーハの両面の研削を行う非厚み監視研削工程と、
前記所定の段階から両面研削工程の終了まで前記厚みセンサを前記接触位置に保持して前記半導体ウェーハの両面の研削を行う厚み監視研削工程と、
を含むことを特徴とする半導体ウェーハの両面研削方法。 - 前記所定の段階は、半導体ウェーハの両面からソーマークが実質的に消滅する段階であることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェーハの両面研削方法。
- 前記所定の段階は、両面研削工程の開始からあらかじめ設定された時間が経過する時期であることを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェーハの両面研削方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104858736A (zh) * | 2014-02-26 | 2015-08-26 | 光洋机械工业株式会社 | 双头平面磨削方法和双头平面磨床 |
CN110842762A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-28 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种大尺寸硅圆片减薄装置及其减薄工艺 |
CN114770366A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-07-22 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种硅片双面研磨装置的静压板及硅片双面研磨装置 |
CN115070604A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-09-20 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 双面研磨装置和双面研磨方法 |
CN115383616A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-11-25 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 研磨装置、研磨方法及硅片 |
CN115383616B (zh) * | 2022-09-22 | 2024-05-31 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 研磨装置、研磨方法及硅片 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002346924A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ワークホルダ |
JP2002346923A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 加工装置 |
-
2009
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002346924A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ワークホルダ |
JP2002346923A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 加工装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104858736A (zh) * | 2014-02-26 | 2015-08-26 | 光洋机械工业株式会社 | 双头平面磨削方法和双头平面磨床 |
CN110842762A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-28 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种大尺寸硅圆片减薄装置及其减薄工艺 |
CN114770366A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-07-22 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种硅片双面研磨装置的静压板及硅片双面研磨装置 |
CN114770366B (zh) * | 2022-05-17 | 2023-11-17 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 一种硅片双面研磨装置的静压板及硅片双面研磨装置 |
CN115070604A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-09-20 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 双面研磨装置和双面研磨方法 |
CN115070604B (zh) * | 2022-06-09 | 2023-09-29 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 双面研磨装置和双面研磨方法 |
CN115383616A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-11-25 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 研磨装置、研磨方法及硅片 |
CN115383616B (zh) * | 2022-09-22 | 2024-05-31 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 研磨装置、研磨方法及硅片 |
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