JP2010236694A - 金属リップシールおよびそれを取付けた機械 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】二つの弾性部材12a、12bであって、各々が二つの要素のうちの一方のキャビティ内に収容されることを意図され、前記キャビティは緊密性が要求されて相互に係合する二つの要素の係合ゾーンに整列して配置される、弾性部材;弾性部材12a、12bを受け入れる要素に固定された可撓体1であって、二つの自由端11a、11bを有し、自由端は係合ゾーンに整列して延在するとともに弾性部材12a、12bに接触する、可撓体を含む。弾性部材12a、12bはそれぞれ自由端11a、11bに接触力を及ぼして二つの要素間の緊密性を確保できる。
【選択図】図4
Description
− 2個の弾性部材であって、各一方が2個の要素の一方のキャビティ内に収容され、前記キャビティは、2個の要素の相互係合ゾーンに整列して配置され、緊密性が要求され;
− 可撓体が、弾性部材を収容する要素に固定され、2個の自由端を有し、前記両自由端は少なくとも前記係合ゾーンに整列して延在し、弾性部材に接触している。
− 支持プレート上において、溶接マイクロビードを用いてハイブリッド化のための構成部品を受け入れる可能な内側チャンバと、内側チャンバの周囲にあり、かつ、アッパーブロックの内側の壁によって内側チャンバから隔離した外側チャンバと、外側チャンバの周囲にある外壁とを含むアッパーブロックと、
− 加熱要素が所定の融合温度に達した後、支持プレートを加熱要素に熱的に接触させる手段と、
− 基板が加熱された後、支持プレートを加熱要素から切離す手段。
− 例えばリング状のバネであって、第1要素の第1キャビティ内に収容されることを意図する第1弾性部材12aと、
− 例えばリング状のバネであって、第1要素の第2キャビティ内に収容されることを意図する第2弾性部材12bと、
− 部分10によって第1要素に固定されるとともに、以下を含む可撓体1:
第1リップを形成するとともに、第1弾性部材12aに接触する下面と、第2要素への接触を意図し下面に対向する上面とを提供する、第1自由端11aと、
第2リップを形成するとともに、第2弾性部材12bに接触する下面と、第2要素への接触を意図する上面とを提供する、第2自由端11b。
− 薄い金属シートから可撓体1を切り出して例えば金属リングとする;
− この可撓体1の直径の中間部分にわたって複数のネジ用の貫通孔をあけた後、支持プレート20に固定し、可撓体1を支持プレート20から取外し可能とする;
− 切り出されたリングの例えば直径方向に対向する両端の下部ゾーンを圧迫するように設計製作された完全にキャリブレートされたバネを2個製作する;
− これらのバネを支持プレート上に形成された保持溝内へ挿入する;
− 前記複数のネジと、支持プレートに形成された前記複数の貫通孔とを用いて可撓体を支持プレートに固定し、可撓体の直径方向に対向する外側エッジを前記2つのバネが及ぼす力によって押上げる。
− 最低温度:400℃
− 前記温度への最少暴露時間:30秒を1000回繰返し
− 最大耐力:5 N/mm
本発明はこのようにして、負圧と極めて高い温度下において動作可能なユニットの製作を可能にする。本発明は例えば、320℃を超える温度上昇を必要とする真空溶接機アッセンブリチャンバ用、プラズマエッチングマシンチャンバ用、または真空金属層堆積マシン用、またはシール上の耐力の低減を要求される耐高温シールを必要とする他の任意のタイプの機器用に、実施されてもよい。この耐力は例えば従来技術の金属シールに関して十分であった60N/mmを超える値よりも、明らかに認められるほど小さくすることができる。
Claims (10)
- 二つの要素間に緊密性を確保可能な金属リップシールであって:
− 二つの弾性部材(12a、12b)であって、各々が前記二つの要素のうちの一方のキャビティ(25a、25b)内に収容されることを意図され、前記キャビティ(25a、25b)は緊密性が要求されて相互に係合する前記二つの要素の係合ゾーンに整列して配置される、弾性部材と;
− 前記弾性部材(12a、12b)を受け入れる前記要素に固定された可撓体(1)であって、二つの自由端(11a、11b)を有し、前記自由端は前記係合ゾーンに整列して延在するとともに前記弾性部材(12a、12b)に接触する前記可撓体と;を含み、
前記弾性部材(12a、12b)はそれぞれ前記自由端(11a、11b)に接触力を及ぼして前記二つの要素間の緊密性を確保できることを特徴とする、
金属リップシール。 - 前記弾性部材(12a、12b)がリング状のバネであることを特徴とする、請求項1に記載のリップシール。
- 前記可撓体(1)が長方形の金属板によって構成されていることを特徴とする、請求項1および2のいずれかに記載のリップシール。
- 前記可撓体(1)が環状のリングによって、典型的には中心部が打ち抜かれている環状リングによって構成されていることを特徴とする、請求項1および2のいずれかに記載のリップシール。
- 前記可撓体(1)が締結手段(3)を用いて前記二つの要素の一方に固定されていることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれかに記載のリップシール。
- 前記締結手段(3)が接着剤、溶接、またはネジであることを特徴とする、請求項5に記載のリップシール。
- 溶接ビードによって構成部品をハイブリッド化するための装置(2)であって、少なくとも:
− 支持プレート(20)上において、溶接マイクロビードを用いてハイブリッド化のための構成部品および特に基板を受け入れ可能な内側チャンバ(26)と、前記内側チャンバ(26)の周囲にあり、かつアッパーブロック(21)の内側の壁(24)によって前記内側チャンバ(26)から隔離される外側チャンバ(22)と、前記外側チャンバ(22)の周囲にある外壁(23)とを含むアッパーブロック(21)と;
− 加熱要素が特定の融合温度に達した後、前記支持プレート(20)を前記加熱要素に熱的に接触させる手段と;
− 前記基板が加熱された後、前記支持プレート(20)を前記加熱要素から切離す手段と;を含み、
前記支持プレート(20)には、請求項1ないし6のいずれかに記載のシールが取付けられ、前記シールの弾性部材(12a、12b)は前記支持プレート(20)のキャビティ(25a、25b)に収容され、前記支持プレート(20)に固定された前記可撓体(1)の部分(10)は前記外側チャンバ(22)に対向し、前記シールの自由端(11a、11b)はそれぞれ緊密性が求められる前記内壁(24)と前記外壁(23)とに対向することを特徴とする、
装置(2)。 - 前記自由端(11a、11b)に、シールの線方向1ミリメートルあたり60ニュートン未満の耐力が前記内壁(24)と前記外壁(23)からそれぞれ及ぼされ、前記耐力は少なくとも前記内側チャンバ(26)と外側チャンバ(22)との間、および前記外側チャンバ(22)と、前記装置が配置されている環境との間の圧力差からそれぞれ生じることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 前記内側チャンバ(26)が負圧下にあることを特徴とする、請求項7および8のいずれかに記載の装置。
- 前記内側チャンバ(26)が制御された雰囲気下にあり、前記外側チャンバ(22)が負圧下にあることを特徴とする、請求項8および9のいずれかに記載の装置。
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