KR101058829B1 - 진공챔버의 점검창 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의하면, 진공챔버의 점검창은 기판에 대한 공정이 이루어지는 내부공간을 제공하며, 일측벽에 개구공이 형성되는 챔버; 상기 개구공과 대응되는 크기를 가지고 상기 개구공 상에 상기 일측벽과 대체로 나란하게 설치되며, 광투과재질로 이루어지는 투영판; 링 형상이며, 상기 일측벽 및 상기 투영판의 사이에 상기 투영판과 대체로 나란하게 설치되는 실링판; 상기 일측벽과 대향되는 상기 실링판의 일면에 설치되어 상기 일측벽과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제1 내측실링부재 및 제1 외측실링부재; 그리고 상기 투영판과 대향되는 상기 실링판의 타면에 설치되어 상기 투영판과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제2 내측실링부재 및 제2 외측실링부재를 포함하되, 상기 제1 및 제2 외측실링부재는 상기 실링판의 가장자리를 따라 배치되고, 상기 제1 및 제2 내측실링부재는 상기 실링판의 내측에 배치된다.

챔버, 점검창, 투영판, 실링판

Description

진공챔버의 점검창{Sight Glass of Vacuum Chamber}

본 발명은 진공챔버의 점검창에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 내부로부터 진공 또는 공정 가스가 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있고 오링의 손상을 방지할 수 있게 하는 진공챔버의 점검창에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 LCD에 이용되는 기판은 진공챔버의 플라즈마 공정처리를 통해서 사진, 에칭, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하게 됨으로써, 이들 공정 중 공정 수행을 목적으로 하는 일 기판에 대하여 에칭, 확산, 화학기상증착 및 이에 부수적으로 수행되는 애싱 등의 공정을 수행하는 진공챔버에는 기판을 고정하기 위한 전극부 상부에 고정 위치시킨 상태에서 공정가스로 하여금 기판 상이 소정부위와 반응토록 함으로써 공정이 진행된다.

이러한 반도체 및 LCD의 진공챔버에 있어서, 기판은 외부로부터 로봇 수단에 의해 공정수행을 전극부의 상측으로 이송되고, 이어 전극부에 안착되어 공정을 수행한 후 다시 전극부로부터 승강 위치된 상태에서 로봇 수단에 인계되어 다음 공정으로 이송되게 된다. 또한 진공챔버에는 일련의 공정 진행 상황을 외부에서 육안으 로 확인할 수 있게 하는 점검창이 구비되며, 상기 점검창은 도 1에 도시된 바와 같이 챔버(1) 벽체에 개구공을 형성시키고, 형성된 개구공 상에 챔버 내부로부터 진공 누수를 방지하게 하는 실링판(3)과 오링(4)이 구비되고 상기 개구공을 통해 내부를 확인하게 하는 투영판(2)이 적층된다. 또한 투영판을 가압판(5)에 의해 가압된 상태로 고정 블록(6)에 의해 챔버에 고정되어 진공 누수 및 가스 누스를 방지하게 하는 구조를 하고 있다.

그러나 종래의 점검창은 실링판이 챔버 내벽과의 밀착시 미세한 틈새에 의해 챔버 내부의 공정 가스가 오링 측과 접촉하여 공정 가스로 인해 오링이 부식하게 되는 경우가 발생하였으며, 이로 인해 점검창을 통해 진공 및 공정 가스가 누수되는 문제가 발생하였다.

본 발명의 목적은 챔버 내부로부터 진공 또는 공정 가스가 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있고 오링의 손상을 방지할 수 있게 하는 진공챔버의 점검창을 제공하는 데 있다.

본 발명에 의하면, 진공챔버의 점검창은 기판에 대한 공정이 이루어지는 내부공간을 제공하며, 일측벽에 개구공이 형성되는 챔버; 상기 개구공과 대응되는 크기를 가지고 상기 개구공 상에 상기 일측벽과 대체로 나란하게 설치되며, 광투과재질로 이루어지는 투영판; 링 형상이며, 상기 일측벽 및 상기 투영판의 사이에 상기 투영판과 대체로 나란하게 설치되는 실링판; 상기 일측벽과 대향되는 상기 실링판의 일면에 설치되어 상기 일측벽과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제1 내측실링부재 및 제1 외측실링부재; 그리고 상기 투영판과 대향되는 상기 실링판의 타면에 설치되어 상기 투영판과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제2 내측실링부재 및 제2 외측실링부재를 포함하되, 상기 제1 및 제2 외측실링부재는 상기 실링판의 가장자리를 따라 배치되어 링 형상이고, 상기 제1 및 제2 내측실링부재는 각각 상기 제1 및 제2 외측실링부재의 내측을 따라 배치되어 상기 실링판의 내측에 배치된다.

상기 제1 및 제2 외측실링부재는 오링일 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 내측실링부재는 판상일 수 있다.

한편, 상기 제1 및 제2 내측실링부재는 테프론 재질일 수 있다.

상기 점검창은 링 형상으로 상기 투영판의 외측에 상기 투영판과 대체로 나란하게 배치되며, 상기 투영판을 가압하여 상기 투영판을 상기 개구공 상에 고정설치하는 고정블럭; 그리고 링 형상이으로 상기 투영판의 외측에 상기 투영판과 대체로 나란하게 배치되며, 상기 투영판과 상기 고정블럭 사이에 배치되어 상기 고정블럭으로부터 가해진 압력을 상기 투영판에 전달하는 가압판을 더 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 챔버 내부로부터 진공 또는 공정 가스가 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있고 오링의 손상을 방지할 수 있게 하는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

도 2는 본 발명의 진공챔버의 점검창을 나타내는 단면도이다.

도 2를 참조하면, 챔버(10)는 기판(도시안함)에 대한 공정이 이루어지는 내부공간을 제공하며, 챔버(10)의 일측벽에는 개구공(11)이 형성된다. 점검창은 개구공(11) 상에 설치되며, 작업자는 개구공(11)을 통해 챔버(10)의 내부를 들여다 볼 수 있다.

개구공(11) 상에는 실링판(13), 투영판(12), 가압판(15), 그리고 고정블록(16)이 순차적으로 적층된다. 투영판(12)은 챔버(10)의 일측벽과 대체로 나란하게 설치되며, 개구공(11)과 대응되는 크기를 가진다. 개구공(11) 및 투영판(12)은 원형 또는 다각형일 수 있다. 투영판(12)은 광투과재질로 이루어지므로, 작업자는 투영판(12)을 통해 챔버(10)의 내부를 들여다 볼 수 있다.

실링판(13)은 링 형상(예를 들어, 투영판(12)이 원형일 경우 원형링 형상이며, 투영판(12)이 사각형일 경우 사각링 형상)이며, 챔버(10)의 일측벽과 투영판(12) 사이에 투영판(12)과 대체로 나란하게 설치된다.

실링판(13)과 챔버(10)의 일측벽 사이에는 제1 내측실링부재(13a) 및 제1 외측실링부재(14)가 설치된다. 제1 내측실링부재(13a) 및 제1 외측실링부재(14)는 실링판(13)과 대응되는 링 형상이며, 실링판(13)을 따라 설치된다.

챔버(10) 내부에 공급된 공정가스 또는 공정가스로부터 생성된 플라즈마는 챔버(10)의 일측벽과 실링판(13) 사이로 누설될 수 있으며, 제1 내측실링부재(13a)는 누설되는 가스 또는 플라즈마를 1차적으로 차단하여 제1 외측실링부재(14)에 도달되는 양을 최소화한다. 제1 내측실링부재(13a)는 판체 형상이며, 공정가스 또는 플라즈마와 반응하는 것을 방지하기 위하여 테프론 재질일 수 있다. 제1 내측실링부재(13a)는 판체 형태를 하고 있으므로, 챔버(10)의 일측벽과 접촉하는 면적을 넓힐 수 있게 됨에 따라 밀착력을 강화하고, 챔버(10)의 내부로부터 진공 또는 공정 가스의 누수를 방지하고 제1 외측실링부재(14)의 손상을 방지할 수 있다.

제1 외측실링부재(13a)는 제1 내측실링부재(13a)를 통과한 가스 또는 플라즈마를 2차적으로 차단하며, 가스 또는 플라즈마가 실링판(13)을 거쳐 개구공(11)을 통해 누설되는 것을 방지한다. 제1 외측실링부재(13a)는 오링(O-ring)일 수 있다.

실링판(13)과 투영판(12) 사이에는 제2 내측실링부재 및 제2 외측실링부재가 설치된다. 제2 내측실링부재 및 제2 외측실링부재에 대한 설명은 제1 외측실링부 재(13a)는 제1 내측실링부재(13a)에 대한 설명과 대체로 일치하므로 생략한다.

가압판(15) 및 고정블록(16)은 실링판(13)의 외측에 배치된다. 고정블록(16)은 고정구(예를 들면, 고정나사)에 의해 챔버(10)의 외측벽에 단단하게 고정되며, 고정블록(16)은 투영판(12)을 가압하여 투영판(12)을 개구공(11) 상에 고정시킨다. 투영판(12)에 가해지는 고정블록(16)의 압력은 예를 들어 고정나사의 조임에 의해 제공될 수 있다. 가압판(15)은 링 형상으로 투영판(12)과 고정블록(16) 사이에 설치되며, 고정블록(16)으로부터 제공된 압력을 투영판(12)에 전달하여 투영판(12)을 개구공(11) 상에 단단하게 고정시킨다.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.

도 1은 종래기술의 점검창을 나타내는 단면도.

도 2는 본 발명의 점검창을 나타내는 단면도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 챔버 11 : 개구공

12 : 투영판 13 : 실링판

13a : 게스켓 14 : 오링

15 : 가압판 16 : 고정 블록

Claims (5)

1. 기판에 대한 공정이 이루어지는 내부공간을 제공하는 챔버의 일측벽에 형성된 개구공 상에 상기 일측벽과 나란하게 설치된 광투과재질의 투영판과;

   링 형상이고, 상기 일측벽과 상기 투영판 사이에 상기 투영판과 나란하게 설치된 실링판과;

   상기 실링판의 상기 일측벽과 대향하는 일면에 설치되어 상기 일측벽과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제1 내측실링부재 및 제1 외측실링부재와;

   상기 실링판의 상기 투영판과 대향되는 타면에 설치되어 상기 투영판과 상기 실링판 사이를 밀폐하는 제2 내측실링부재 및 제2 외측실링부재를 포함하되,

   상기 제1 및 제2 외측실링부재는 상기 실링판의 링 형상을 따라 배치되고,

   상기 제1 및 제2 내측실링부재는 누설을 상기 제1 및 제2 외측실링부재에 앞서 1차적으로 차단하도록 상기 제1 및 제2 외측실링부재의 내측을 따라 배치된 진공챔버의 점검창.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 외측실링부재는 오링인 것을 특징으로 하는 진공챔버의 점검창.
3. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 내측실링부재는 접촉면적을 넓히기 위하여 판상으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공챔버의 점검창.
4. 제3항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 내측실링부재는 테프론 재질인 것을 특징으로 하는 진공챔버의 점검창.
5. 제1항에 있어서,

   상기 점검창은,

   링 형상으로 상기 투영판의 외측에 상기 투영판과 대체로 나란하게 배치되며, 상기 투영판을 가압하여 상기 투영판을 상기 개구공 상에 고정설치하는 고정블럭; 및

   링 형상이으로 상기 투영판의 외측에 상기 투영판과 대체로 나란하게 배치되며, 상기 투영판과 상기 고정블럭 사이에 배치되어 상기 고정블럭으로부터 가해진 압력을 상기 투영판에 전달하는 가압판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점검창.

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