JP2010228955A - GaN系化合物半導体基板とその製造方法 - Google Patents
GaN系化合物半導体基板とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010228955A JP2010228955A JP2009077043A JP2009077043A JP2010228955A JP 2010228955 A JP2010228955 A JP 2010228955A JP 2009077043 A JP2009077043 A JP 2009077043A JP 2009077043 A JP2009077043 A JP 2009077043A JP 2010228955 A JP2010228955 A JP 2010228955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- single crystal
- gan
- substrate
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title abstract description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 10
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 190
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract description 5
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 43
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 5
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 235000015220 hamburgers Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】基板10と、基板10の主面上に形成される緩衝層20と、緩衝層20上に形成されるGaN系半導体単結晶の活性層30とを備え、基板10の主面に平行な任意の方向に屈曲する屈曲転位が活性層30内における緩衝層20と活性層30との界面近傍に存在することを特徴とするGaN系半導体基板。
【選択図】図1
Description
まず、厚さ250μmのSiC単結晶基板上を、H2ガス雰囲気下、1000℃で熱処理した後、原料ガスとしてトリメチルアルミニウムおよびアンモニアを用い、1000℃での気相成長により、厚さ100nmのAlN単結晶層を形成した。
基本的なプロセスは実施例1に準ずる。異なるのは緩衝層20の2次層22の厚さで、膜厚の実測値は、GaN/AlNの1対の層が25nm、2次層22の全体厚さが500nmである。
基本的なプロセスは実施例1に準ずる。異なるのは緩衝層20の2次層22の厚さと繰り返し回数でGaN/AlNの1対の層を40回繰り返して積層した。膜厚の実測値は、GaN/AlNの1対の層は22.5nm、2次層22の全体厚さは900nmである。
基本的なプロセスは実施例1に準ずる。異なるのは緩衝層20の2次層22の厚さと繰り返し回数でGaN/AlNの1対の層を40回繰り返して積層した。膜厚の実測値は、GaN/AlNの1対の層が26nm、2次層22の全体厚さが1040nmである。
20 緩衝層
21 1次層
21a 第1のAlN単結晶層
21b AlGaN単結晶層
22 2次層
22a 第2のAlN単結晶層
22b GaN単結晶層
30 活性層
40 屈曲転位存在領域
50a 主面に平行方向に伝播する屈曲転位
50b 貫通転位
Claims (4)
- 基板と、前記基板の主面上に形成される緩衝層と、前記緩衝層上に形成されるGaN系半導体単結晶の活性層とを備え、前記基板の主面に平行な任意の方向に屈曲する屈曲転位が前記活性層内における前記緩衝層と前記活性層との界面近傍に存在することを特徴とするGaN系半導体基板。
- 前記基板は、単結晶Si、六方晶SiC、単結晶Siと立方晶SiCの積層、サファイアのいずれか一つからなることを特徴とする請求項1に記載のGaN系半導体基板。
- 前記緩衝層は、2種類の窒化物半導体単結晶層の積層構造が1回または複数回繰り返された1次層と、前記1次層上に形成され、前記1次層とは異なる組み合わせの2種類の窒化物半導体単結晶層の積層構造が前記1次層の10倍以上500倍以下の回数繰り返された2次層とで構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のGaN系半導体基板。
- 六方晶SiC基板上に第1のAlN単結晶層を堆積する工程と、前記第1のAlN単結晶層上に前記第1のAlN単結晶層と同一の膜厚のAlGaN単結晶層を堆積して1次層とする工程と、前記AlGaN単結晶層上に、前記膜厚より薄い第2のAlN単結晶層と前記膜厚より薄く前記第2のAlN単結晶層より厚い第1のGaN単結晶層の積層構造を10回以上500回以下繰り返して堆積して2次層とする工程と、活性層となる第2のGaN単結晶層を形成する工程とを有することを特徴とするGaN系半導体基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009077043A JP5165626B2 (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | GaN系化合物半導体基板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009077043A JP5165626B2 (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | GaN系化合物半導体基板とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010228955A true JP2010228955A (ja) | 2010-10-14 |
JP5165626B2 JP5165626B2 (ja) | 2013-03-21 |
Family
ID=43045131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009077043A Active JP5165626B2 (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | GaN系化合物半導体基板とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5165626B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016074549A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 古河機械金属株式会社 | 自立基板、及び、自立基板の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001313421A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-11-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004349387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体基体及びこの製造方法 |
JP2008085123A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Covalent Materials Corp | 化合物半導体デバイス用基板およびそれを用いた化合物半導体デバイス |
JP2009065025A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Covalent Materials Corp | 化合物半導体基板 |
-
2009
- 2009-03-26 JP JP2009077043A patent/JP5165626B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001313421A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-11-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2004349387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体基体及びこの製造方法 |
JP2008085123A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Covalent Materials Corp | 化合物半導体デバイス用基板およびそれを用いた化合物半導体デバイス |
JP2009065025A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Covalent Materials Corp | 化合物半導体基板 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016074549A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | 古河機械金属株式会社 | 自立基板、及び、自立基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5165626B2 (ja) | 2013-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5456783B2 (ja) | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法、および半導体素子 | |
JP5944294B2 (ja) | 窒化物半導体素子および窒化物半導体素子の製造方法 | |
US9090993B2 (en) | Epitaxial substrate comprising a superlattice group and method for manufacturing the epitaxial substrate | |
JP5133927B2 (ja) | 化合物半導体基板 | |
US8969880B2 (en) | Epitaxial substrate and method for manufacturing epitaxial substrate | |
US20130043488A1 (en) | Epitaxial substrate and method for manufacturing epitaxial substrate | |
US8853829B2 (en) | Epitaxial substrate for semiconductor device, method for manufacturing epitaxial substrate for semiconductor device, and semiconductor device | |
JP2015029042A (ja) | 窒化物半導体素子、窒化物半導体ウェーハ及び窒化物半導体層の形成方法 | |
JP6138974B2 (ja) | 半導体基板 | |
JP6239017B2 (ja) | 窒化物半導体基板 | |
JP2018041851A (ja) | 窒化物半導体基板 | |
JP2007142003A (ja) | Iii族窒化物結晶の作製方法、エピタキシャル基板における反り低減方法、エピタキシャル基板、および半導体素子 | |
JP4904726B2 (ja) | 半導体エピタキシャルウェハ及びhemt用半導体エピタキシャルウェハの製造方法 | |
WO2020137501A1 (ja) | 化合物半導体基板 | |
JP5165626B2 (ja) | GaN系化合物半導体基板とその製造方法 | |
JP2012066943A (ja) | 窒化物半導体形成用基板及び窒化物半導体 | |
JP5103427B2 (ja) | Iii族窒化物基板 | |
JP2019052057A (ja) | 複合基板、iii族窒化物結晶付複合基板、およびiii族窒化物結晶の製造方法 | |
CN106057658B (zh) | 气相生长方法 | |
JP2011216548A (ja) | GaN系半導体エピタキシャル基板の製造方法 | |
US20160118486A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2015207618A (ja) | 窒化物半導体基板、窒化物半導体デバイス、窒化物半導体基板の製造方法、及び、窒化物半導体デバイスの製造方法 | |
JP2014216474A (ja) | 窒化物半導体基板 | |
JP2014192246A (ja) | 半導体基板およびそれを用いた半導体素子 | |
TW201513176A (zh) | 半導體晶圓以及生產半導體晶圓的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121219 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5165626 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |