JP5103427B2 - Iii族窒化物基板 - Google Patents
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Description
MOCVD装置を用いて4インチ径のウェーハ形状の6H−SiCの基板2に対して各種の膜を堆積した。
基板2の加熱温度を1000℃、TMA(トリメチルアルミニウム)ガスとNH3(アンモニア)ガスを供給して、基板2の一方の主面に対して第1のバッファ層4aである厚さ100nmのAlN層を形成した。原料の供給量と供給時間により厚さを調整した。引き続き温度は1000℃のままで、TMA、TMG(トリメチルガリウム)とNH3ガスを供給して、第1のバッファ層4aの上面に厚さ100nmのAlGaNからなる第2のバッファ層4bを形成した。原料の供給量と供給時間により厚さを調整した。
温度1000℃でTMGとNH3ガスを供給して、第2のバッファ層4bの上面に厚さ20nmのGaNからなる第1の凹凸層5a1を形成した。このとき凹凸を設けるためにGaとNの比、すなわちN/Gaが比較的低くなるようにTMGとNH3ガス流量の比を調整するが、ここではN/Ga=500とした。原料の供給量と供給時間により厚さを調整した。
温度1000℃でTMGとNH3ガスを供給して、第2の凹凸層5a2の上に厚さ20nmのGaNからなる平坦層5b1を形成した。ここではN/Ga=5000とした。原料の供給量と供給時間により厚さを調整した。
温度1000℃でTMGとNH3ガスを供給して、最後の第2の凹凸層5a2の上面に厚さ1μmのGaNからなるIII族窒化物層6を形成した。ここではN/Ga=5000とした。原料の供給量と供給時間により厚さを調整した。
第1の凹凸層5a1でのエピ成長時のガス流量比がN/Ga=5000である以外は実施例と同様の工程でサンプルを作製した。
2 基板
3 多層膜層
4 バッファ層
4a 第1のバッファ層
4b 第2のバッファ層
5 複数膜層
5a 第1の層
5a1 第1の凹凸層
5a2 第2の凹凸層
5b 第2の層
5b1 第1の平坦層
5b2 第2の平坦層
6 III族窒化物層
7 基準線
8 凹凸の最大高さ
9 凹凸の単位基準長さ
Claims (2)
- 6H−SiC基板と、
前記基板上に形成されたバッファ層と、
前記バッファ層上に形成された複数膜層と、
前記複数膜層上に形成されたIII族窒化物層とからなるIII族窒化物基板であって、
前記バッファ層は、AlNからなる第1のバッファ層とAlGaNからなる第2のバッファ層とからなり、
前記複数膜層は、前記バッファ層と反対側の表面に凹凸を有する層が2層積層された凹凸層と、前記バッファ層と反対側の表面が平坦な層が2層積層された平坦層とが交互に複数回繰り返して形成されたものであり、
前記凹凸層は、凹凸を有する厚さ20nmのGaN層の上に凹凸を有する厚さ5nmのAlN層が形成されたものであり、
前記平坦層は、厚さ20nmのGaN層の上に厚さ5nmのAlN層が形成されたものであることを特徴とするIII族窒化物基板。 - 前記バッファ層は、材質の異なる複数の窒化物層が堆積されてなることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物基板。
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