JP2010227898A - セレン及びフッ素を含む溶液の処理方法並びに処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理対象液に酸を添加して、pHを酸性に調整した状態で、第一鉄化合物を添加し、酸性溶液を得る工程と、該酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路における所定の地点にてアルカリ剤を添加し、該地点の後流側のpHをアルカリ性に調整して、水酸化第一鉄及びセレンを含有する沈殿物を含むスラリーを得る工程と、該スラリーにマグネシウム化合物を添加し、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する沈殿物を含むスラリーを得る工程と、該スラリーを固液分離して、セレン及びフッ素が除去された液分を得る工程を含む処理方法。
【選択図】図1
Description
一方、マグネシウム化合物を用いて、フッ素含有廃水を処理する方法が知られている。
その一例として、加熱して液温を所定温度に維持してあるフッ素含有廃水にマグネシウム化合物を添加してフッ化マグネシウムを生成させる添加工程と、前記添加工程により生成したフッ化マグネシウムを凝集剤添加により凝集分離してフッ化マグネシウムスラッジとして回収する凝集分離工程とを有するフッ素含有廃水の処理方法が、提案されている(特許文献2)。
特許文献2の技術によれば、フッ素含有化合物の含有量が高く、フッ素のリサイクル利用に適した商品価値の高いスラッジを回収することができる。しかし、特許文献2の技術は、フッ素含有化合物の含有量を高めるために、フッ素含有廃水の液温を60℃より高い温度にしなければならず、多大な熱エネルギーを要するという問題がある。
したがって、本発明は、セレン及びフッ素を含む溶液を連続的に処理することのできる処理方法並びに処置装置であって、セレン及びフッ素を高い除去率で除去することができ、かつ、処理に要する薬剤費、熱エネルギー等を低く抑えることのできる処理方法並びに処理装置を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、以下の[1]〜[7]を提供するものである。
[1] セレン及びフッ素を含む溶液に必要に応じて酸(例えば、塩酸)を添加して、pHを酸性に調整した状態で、第一鉄化合物(例えば、塩化第一鉄)を添加し、セレン、フッ素及び二価の鉄イオンを含む酸性溶液を得る第一鉄化合物添加工程と、上記酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路における所定の地点にてアルカリ剤(例えば、水酸化ナトリウム)を添加し、該地点の後流側のpHをアルカリ性に調整して、水酸化第一鉄及びセレンを含有する固体分(共沈物)を含むアルカリ性のスラリーを得るアルカリ剤添加工程と、上記アルカリ性のスラリーにマグネシウム化合物(例えば、塩化マグネシウム)を添加して、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固体分(共沈物)を含むスラリーを得るマグネシウム化合物添加工程と、該マグネシウム化合物添加工程で得られたスラリーを固液分離して、セレン及びフッ素が除去された液分と、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固形分を得る固液分離工程とを含むことを特徴とするセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
[3] 上記マグネシウム化合物添加工程において、マグネシウム化合物と共にアルカリ剤(例えば、水酸化ナトリウム)を添加する前記[1]又は[2]に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
[4] 上記マグネシウム化合物添加工程で添加されるマグネシウム化合物が、塩化マグネシウム、酸化マグネシウム、硫酸マグネシウム、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム、及び硝酸マグネシウムの中から選ばれる一種以上である前記[1]〜[3]のいずれかに記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
[6] 上記流路と上記水酸化マグネシウム沈殿槽の間に、上記流路を通過した上記スラリーを貯留してセレン含有沈殿物を成長させるためのセレン沈殿槽を含む前記[5]に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理装置。
[7] 上記水酸化マグネシウム沈殿槽が、アルカリ剤(例えば、水酸化ナトリウム)の導入手段を備えている前記[5]又は[6]に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理装置。
(a)マグネシウム化合物等の安価な薬剤を用いているので、薬剤費を低く抑えることができる。
(b)各工程における液温が50℃以下であっても、セレン及びフッ素を高い除去率で除去することができるので、熱エネルギーを低く抑えることができる。
(c)セレン及びフッ素を高い除去率で除去することができる。具体的には、1mg/リットルのセレン及び30mg/リットルのフッ素を含む溶液の場合、残存セレン濃度で0.1mg/リットル以下、残存フッ素濃度で1mg/リットル以下の値を達成することができる。
(d)セレン及びフッ素を含む溶液を連続的に処理することができる。
(e)セレン除去処理の工程を、フッ素除去処理の工程の前に設けているため、セレン及びフッ素を含む溶液を連続的に処理する場合であっても、固液分離の工程を単一化することができる。本発明と逆の順序、すなわち、セレン除去処理の工程をフッ素除去処理の工程の後に設けた場合には、セレン除去処理のためにpHを酸性にした時に、フッ素を含有する固体分が再溶解し、フッ素の除去率が低下する。これを避けるためには、固液分離の工程を二つ設けることが必要になる。
(f)本発明では、固液分離設備を一つだけ設ければよく、設備の設置面積を小さくすることができ、かつ、設備費も低く抑えることができる。
(g)マグネシウム化合物添加工程のpHをアルカリ剤添加工程のpHよりも大きくすれば、処理後の液中に残存する鉄の濃度をさらに低減することができる。
(h)フッ素を除去するときにカルシウム塩を用いなくてもよいため、スケールの発生を抑制することができる。
図1中、本発明のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法は、(A)セレン及びフッ素を含む溶液に必要に応じて酸(例えば、塩酸)を添加して、pHを酸性に調整した状態で、第一鉄化合物(例えば、塩化第一鉄)を添加し、セレン、フッ素および二価の鉄イオンを含む酸性溶液を得る第一鉄化合物添加工程と、(B)工程(A)で得られた酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路における所定の地点にてアルカリ剤(例えば、水酸化ナトリウム)を添加し、該地点の後流側のpHをアルカリ性に調整して、水酸化第一鉄とセレンを含む固体分を含むアルカリ性のスラリーを得るアルカリ剤添加工程と、(C)工程(B)で得られたアルカリ性のスラリーを貯留して、該スラリー中の固体分をセレン含有沈殿物として十分に成長させる沈殿物成長工程と、(D)工程(C)で得られたスラリーにマグネシウム化合物(例えば、塩化マグネシウム)及び必要に応じてアルカリ剤(例えば、水酸化ナトリウム)を添加し、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固体分を含むスラリーを得るマグネシウム化合物添加工程と、(E)工程(D)で得られたスラリーを固液分離して、セレンおよびフッ素が除去された液分と、セレン、第一鉄化合物、フッ素及び水酸化マグネシウムを含む固形分を得る固液分離工程を含むものである。
なお、本発明において、工程(C)は、必須ではなく、必要に応じて設けられる工程である。
以下、工程毎に詳しく説明する。
本工程は、セレン及びフッ素を含む溶液に必要に応じて酸を添加して、pHを酸性に調整した状態で、第一鉄化合物を添加し、セレン、フッ素及び二価の鉄イオンを含む酸性溶液を得る工程である。
本発明の対象となるセレン及びフッ素を含む溶液としては、例えば、焼却灰、飛灰(焼却飛灰または溶融飛灰)、セメントキルンから発生するダスト等の、セレン及びフッ素を含むダスト(以下、「セレン等含有ダスト」ともいう。)に水を加えてなる溶液が挙げられる。
ここで、焼却灰とは、焼却炉内の焼却残渣である。焼却飛灰とは、焼却炉の排ガス中のダストである。溶融飛灰とは、溶融炉の排ガス中のダストである。セメントキルンから発生するダストとは、塩素バイパスダスト、及び、塩素バイパスダスト以外の排ガス中のダストを含む。
本発明の対象となるセレン及びフッ素を含む溶液を得る方法としては、(a)セレン等含有ダストと水を混合して、スラリーを得た後、該スラリーを固液分離して、セレン及びフッ素を含む液分を得る方法、(b)セレン等含有ダストと水を混合して、スラリーを得た後、pHの調整、薬剤の添加等によって、該スラリーに鉛、亜鉛等の重金属を含有する固体分を析出させ、その後、溶存成分としてセレン及びフッ素を含むスラリーを固液分離して、セレン及びフッ素を含む液分を得る方法等が挙げられる。
処理対象液に含まれるセレンは、主として四価のセレン(具体的にはSeO3 2-で表わされる亜セレン酸イオン)、および六価のセレン(具体的には、SeO4 2-で表わされるセレン酸イオン)として存在する。本発明においては、第一鉄化合物を添加して液中に二価の第一鉄イオン(Fe2+)を生じさせ、それによって、除去率を高めることが困難とされている六価のセレンを還元して、四価のセレンとし、この四価のセレンを後工程で主に水酸化第一鉄と共沈させ、セレンの除去率を高めるものである。
ここで添加される第一鉄化合物としては、例えば、塩化第一鉄、硝酸第一鉄、硫酸第一鉄等が挙げられる。第一鉄化合物の添加量は、液中のセレン濃度が1mg/リットル程度の場合には、「二価の鉄/セレン」の重量比で、好ましくは2,000〜4,000、より好ましくは2,500〜3,500である。該値が2,000未満では、セレンの除去率が小さくなることがあり、該値が4,000を超えると、第一鉄化合物の使用量の削減を図ろうとする本発明の目的を達成し難くなる。
第一鉄化合物を含む酸廃液としては、例えば、ピックリング廃液等が挙げられる。ここで、ピックリング廃液とは、鉄鋼関係の工場(例えば、製鉄工場、製線工場、特殊鋼工場等)内における酸洗工程から排出される汚染された酸洗浄液(例えば、塩酸廃液等)をいう。ピックリング廃液中の二価の鉄イオンの濃度は、例えば、50〜100g/リットル程度である。
なお、ピックリングとは、化学的または電気化学的作用によって素地金属から酸化物またはその他の化合物を除去することをいい、具体的には、素地金属の表面に生成したスケールまたは錆の層を除去するために、比較的長時間、塩酸等の酸溶液中に浸漬して清浄にする操作をいう。
第一鉄化合物の供給媒体として、第一鉄化合物を含有する酸廃液(例えば、ピックリング廃液)を用いることによって、塩酸、硫酸等の工業用薬剤の添加量を削減し、本発明の処理コスト(薬剤費)を削減することができる。
本工程は、工程(A)で得られた酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路内における所定の地点にてアルカリ剤を添加し、該地点の後流側のpHをアルカリ性に調整して、水酸化第一鉄とセレンを含む固体分を含むアルカリ性のスラリーを得る工程である。
本工程で用いられるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等が挙げられる。中でも、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等は、スラリーではなく、水溶液の形態で用いられるので、工程(A)で得られた酸性溶液を流通させる流路の径が小さくても、流路の閉塞等の問題が生じ難いという利点があり、本発明において好ましく用いられる。
アルカリ剤の添加後のpHは、好ましくは8.0〜12.0、より好ましくは8.5〜10.5、特に好ましくは8.5〜9.0である。該pHをこの範囲内に調整すれば、主に水酸化第一鉄と共沈するセレンの量を増大させ、セレンの除去率を高めることができる。
本発明においては、工程(A)で得られた酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路内における所定の地点にてアルカリ剤を添加することによって、主に水酸化第一鉄と共沈するセレンの量を増大させることができる。工程(A)で得られた酸性溶液を貯留用タンク内に滞留させた状態でアルカリ剤を添加した場合には、本発明が目的とする薬剤(第一鉄化合物)の使用量の削減およびセレンの高い除去率を達成することが困難となる。
本工程は、工程(B)で得られたアルカリ性溶液を貯留して、該溶液中の固体分をセレン含有沈殿物として十分に成長させる工程である。
本工程を設けることによって、上述の(B)アルカリ剤添加工程においてセレンと水酸化第一鉄との共沈物(セレン含有沈殿物)が十分に生成していない場合であっても、該共沈物を確実かつ十分に生成させることができる。
なお、上述の(B)アルカリ剤添加工程においてセレン含有沈殿物を十分に生成させることができる場合には、本工程を省略することができる。
本工程は、工程(C)で得られたアルカリ性溶液に、マグネシウム化合物、及び必要に応じてアルカリ剤を加え、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固体分を含むスラリーを得る工程である。
本工程で用いられるマグネシウム化合物としては、例えば、塩化マグネシウム、酸化マグネシウム、硫酸マグネシウム、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム、硝酸マグネシウム等が挙げられる。
本工程におけるマグネシウム化合物の添加量は、液中のフッ素濃度が30mg/リットルの場合には、「マグネシウム/フッ素」の質量比で、好ましくは20〜100、より好ましくは40〜80である。該質量比が20未満では、フッ素の除去率が小さくなることがある。該質量比が100を超えると、薬剤の使用量の削減を図ろうとする本発明の目的を十分に達成し難くなる。
本工程では、水酸化マグネシウムの沈殿の生成によるフッ素の除去効率の向上のために、アルカリ剤を添加することが好ましい。アルカリ剤としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等が挙げられる。中でも、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムは、スケールの発生を抑制することができるので、好ましく用いられる。
アルカリ剤の添加後の溶液のpHは、好ましくは9.0〜12.0、より好ましくは10.0〜11.0である。該pHが9.0未満または12.0を超えると、水酸化第一鉄及びセレンを含有する固体分が再溶解し始めて、セレンの除去率が低下する傾向がある。
なお、本発明において、工程(D)(フッ素を除去するための工程)は、工程(A)および工程(B)(セレンを除去するための工程)の後に設けることが必要である。この順序を逆にして、工程(D)の後に、工程(A)および工程(B)を設けた場合には、工程(D)で生成したフッ素を含有する固体分が、工程(A)で再溶解し、フッ素の除去率が低下する。また、この場合、工程(A)を省略すると、工程(B)における水酸化第一鉄及びセレンを含有する固体分の生成が不良となり、セレンの除去率が低下する。
本工程は、工程(D)で得られたアルカリ性溶液を固液分離して、セレンおよびフッ素が除去された液分と、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムからなる固形分を得る工程である。
固液分離の方法としては、例えば、減圧濾過装置、フィルタープレス、スクリュープレス等を用いて濾過する方法や、遠心分離機を用いて遠心分離する方法等が挙げられる。
固液分離して得られる固形分は、通常、水酸化第一鉄、セレン、フッ素、水酸化マグネシウムの他に、ダスト中の成分に由来する重金属、カルシウム等を含むことがある。この固形分は、セメント原料等として用いることができる。
固液分離して得られる液分は、必要に応じて、重金属を除去する工程(例えば、凝集沈殿や、キレート樹脂への通液等)や、塩素分を回収する工程(例えば、晶析法による塩化ナトリウムや塩化カリウムの分別回収等)を経た後、セレンおよびフッ素を実質的に含まない廃液として、外部に排出することができる。
図2中、本発明の処理装置1は、前処理槽2と、流路3と、セレン沈殿槽4と、水酸化マグネシウム沈殿槽5と、固液分離手段6とを含むものである。
本発明の処理対象物であるセレンおよびフッ素を含む溶液は、まず、セレンおよびフッ素を含む溶液の導入手段10によって前処理槽2に導かれる。導入手段10は、例えば、管路とポンプ11の組み合わせからなるものである。なお、図2中、ポンプの配設箇所は、符号Pで示してある。
前処理槽2は、第一鉄化合物(二価の鉄イオンの供給源)の導入手段12、酸の導入手段13、撹拌翼14を備えている。第一鉄化合物の導入手段12は、例えば、塩化第一鉄等の第一鉄化合物の水溶液を貯留したタンクと、管路と、該管路の途中に設けたポンプとから構成される。酸の導入手段13は、例えば、塩酸等の酸を貯留したタンクと、管路と、該管路の途中に設けたポンプとから構成される。
前処理槽2内におけるセレン、フッ素および二価の鉄イオンを含む溶液の滞留時間は、例えば、10分間以上である。
なお、流路3を構成する管路の内径および長さは、特に限定されることがなく、処理すべき溶液の量やセレン等の濃度等の条件によって適宜定められる。流路3を構成する管路内にスクリューを設置すれば、管路内を流通する溶液の撹拌効率を向上させることができる。
また、アルカリ剤の導入地点において、滞留時間が極めて短い撹拌翼付きの小型のタンクを設けることができる。ただし、この小型のタンクは、滞留時間が長い貯留用タンク(例えば、前処理槽2等)とは区別されるものであり、流路の一部を構成するものである。
セレン沈殿槽4内のスラリーは、流路17によって水酸化マグネシウム沈殿槽5に導かれる。
水酸化マグネシウム沈殿槽5は、アルカリ剤の導入手段18、マグネシウム化合物の導入手段19、撹拌翼20を備えている。アルカリ剤の導入手段18は、例えば、水酸化ナトリウム等のスラリーを貯留したタンクと、管路と、該管路の途中に設けたポンプとから構成される。マグネシウム化合物の導入手段19は、マグネシウム化合物(通常、水溶液の形態である。)を貯留したタンクと、管路と、該管路の途中に設けたポンプとから構成される。
水酸化マグネシウム沈殿槽5内のスラリーの滞留時間は、例えば、20〜40分間である。
本発明の処理装置1において、前処理槽2、セレン沈殿槽4、水酸化マグネシウム沈殿槽5の各部におけるpHは、pH測定手段によって測定されている。その測定値に基づいて、酸の導入手段13、アルカリ剤の導入手段15、アルカリ剤の導入手段18の各部における酸またはアルカリ剤の供給量が制御されている。
また、本発明の処理装置1において、前処理槽2、セレン沈殿槽4、水酸化マグネシウム沈殿槽5の各部における液量は、一定に保たれている。導入手段10から連続的に導入される処理対象液は、処理装置1で連続的に処理される。
まず、処理対象となる溶液を用意した。本溶液中に含まれるセレンの濃度は1.1mg/リットル、フッ素の濃度は30mg/リットルであった。この溶液を100ml/分の流量で連続的に前処理槽2(塩化ビニル樹脂製)に供給した。また、前処理槽2には、槽内の溶液中のFe2+濃度が3,000mg/リットルとなるように、32重量%の塩化第一鉄(FeCl2)溶液を供給した。さらに、前処理槽2には、槽内の溶液のpHが4以下となるように35重量%の塩酸溶液を供給した。前処理槽2の液量は、常時、1リットルに調整した。前処理槽2内の溶液の滞留時間は、10分間である。
前処理槽2内の溶液は、塩化ビニル樹脂製の配管である流路3によってセレン沈殿槽4に導いた。流路3の途中で添加するアルカリ剤としては、20重量%の水酸化ナトリウム溶液を用いた。水酸化ナトリウム溶液の添加量は、セレン沈殿槽4内のスラリーのpHが8.5〜9.0となるように調整した。
なお、流路3を構成する配管の内径は、8mmであった。アルカリ剤の導入手段15を構成するT字部の内径は、4mmであった。このT字部(アルカリ剤の導入地点)から流路3の後流側の端部までの長さは、27cm(スラリーの所要時間で8秒)であった。
セレン沈殿槽4内のスラリーは、塩化ビニル樹脂製の配管である流路17によって水酸化マグネシウム沈殿槽5に導いた。水酸化マグネシウム沈殿槽5には、マグネシウムイオン濃度が2,000mg/リットルになるように、25重量%の塩化マグネシウム溶液を供給した。また、水酸化マグネシウム沈殿槽5には、槽内のスラリーのpHが10.0〜11.0の範囲内に保たれるように、20重量%の水酸化ナトリウム溶液を供給した。水酸化マグネシウム沈殿槽5内のスラリーの液量は、常時、3リットルに調整した。水酸化マグネシウム沈殿槽5内のスラリーの滞留時間は、30分間である。
なお、液温は、前処理槽2から水酸化マグネシウム沈殿槽5に亘り、50℃に保った。
水酸化マグネシウム沈殿槽5内のスラリーを流路21によって固液分離手段(濾過装置)6に導き、濾過した。濾過で得られた液分中のセレンおよびフッ素の濃度を測定した。その結果、セレンの濃度は0.06mg/リットルであった。フッ素の濃度は0.6mg/リットルであった。
2 前処理槽
3,17,21 流路
4 セレン沈殿槽
5 水酸化マグネシウム沈殿槽
6 固液分離手段
10 セレンおよびフッ素を含む溶液の導入手段
11 ポンプ
12 第一鉄化合物の導入手段
13 酸の導入手段
14,16,20 撹拌翼
15,18 アルカリ剤の導入手段
19 マグネシウム化合物の導入手段
Claims (7)
- セレン及びフッ素を含む溶液に必要に応じて酸を添加して、pHを酸性に調整した状態で、第一鉄化合物を添加し、セレン、フッ素及び二価の鉄イオンを含む酸性溶液を得る第一鉄化合物添加工程と、
上記酸性溶液を流路内にて一方向に流通させながら、該流路における所定の地点にてアルカリ剤を添加し、該地点の後流側のpHをアルカリ性に調整して、水酸化第一鉄及びセレンを含有する固体分を含むアルカリ性のスラリーを得るアルカリ剤添加工程と、
上記アルカリ性のスラリーにマグネシウム化合物を添加して、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固体分を含むスラリーを得るマグネシウム化合物添加工程と、
該マグネシウム化合物添加工程で得られたスラリーを固液分離して、セレン及びフッ素が除去された液分と、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固形分を得る固液分離工程と
を含むことを特徴とするセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。 - 上記アルカリ剤添加工程と上記マグネシウム化合物添加工程の間に、上記アルカリ性のスラリーを貯留して該スラリー中の上記固体分をセレン含有沈殿物として十分に成長させる沈殿物成長工程を含む請求項1に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
- 上記マグネシウム化合物添加工程において、マグネシウム化合物と共にアルカリ剤を添加する請求項1又は2に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
- 上記マグネシウム化合物添加工程で添加されるマグネシウム化合物が、塩化マグネシウム、酸化マグネシウム、硫酸マグネシウム、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム、及び硝酸マグネシウムの中から選ばれる一種以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理方法。
- セレン及びフッ素を含む溶液の導入手段と、第一鉄化合物の導入手段と、酸の導入手段とを備えている前処理槽であって、セレン、フッ素及び二価の鉄イオンを含む溶液を貯留するための前処理槽と、
該前処理槽から排出される上記溶液を流通させるための流路であって、該流路における所定の地点に、上記溶液をスラリーにするためのアルカリ剤の導入手段を備えている流路と、
該流路を通過したスラリーを貯留するための沈殿槽であって、マグネシウム化合物の導入手段を備えている水酸化マグネシウム沈殿槽と、
該水酸化マグネシウム沈殿槽から排出される上記スラリーを固液分離して、セレン及びフッ素が除去された液分と、水酸化第一鉄、セレン、フッ素及び水酸化マグネシウムを含有する固形分を得るための固液分離手段と
を含むことを特徴とするセレン及びフッ素を含む溶液の処理装置。 - 上記流路と上記水酸化マグネシウム沈殿槽の間に、上記流路を通過した上記スラリーを貯留してセレン含有沈殿物を成長させるためのセレン沈殿槽を含む請求項5に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理装置。
- 上記水酸化マグネシウム沈殿槽が、アルカリ剤の導入手段を備えている請求項5又は6に記載のセレン及びフッ素を含む溶液の処理装置。
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