JP2010224340A

JP2010224340A - 機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置

Info

Publication number: JP2010224340A
Application number: JP2009073204A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Hayashi; 千良林
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-03-25
Filing date: 2009-03-25
Publication date: 2010-10-07
Anticipated expiration: 2029-03-25
Also published as: JP5326722B2

Abstract

【課題】ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去することができる。
【解決手段】布製のワイピングシートＳを繰り出すシート繰出しリール５１からワイピングシートＳを巻き取るシート巻取りリール５２に至るシート送り経路５４に、ワイピングシートＳを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３８に相対的に押圧する押圧ローラー５３を配置し、押圧ローラー５３により、走行するワイピングシートＳをノズル面３８に押し付けてノズル面３８を払拭する機能液滴吐出ヘッド１４のワイピングユニット１７であって、シート繰出しリール５１から押圧ローラー５３に至るシート送り経路５４の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊する異物を吸着するように、走行するワイピングシートＳを帯電するテンションローラー６１を、備えた。
【選択図】図６

Description

本発明は、走行するワイピングシートを機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付けて当該ノズル面を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。

従来、この種の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置として、カラーフィルターや有機ＥＬデバイスなどの各種成膜処理に用いる液滴吐出装置に搭載したものが知られている（特許文献１参照）。このワイピング装置は、ワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、ワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、両リール間のワイピングシートを、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧する押圧ローラーと、繰出しリール側のワイピングシートに対して制動回転して、ワイピングシートに一定の張力を付加するトルクリミッター付のテンションローラーと、を備えている。

特開２００７−３０７９１５号公報

しかしながら、このようなワイピング装置では、機能液滴吐出ヘッドのノズル面以外の部位（機能液滴吐出ヘッドの側面や基板等）に付着した異物（ゴミ）が、ワイピング処理の際に浮遊し、ワイピング処理後のノズル面に付着してしまうという問題があった。また、ワイピング処理の際、ワイピングシートから発生した異物（ケバ）が浮遊し、ワイピング処理後のノズル面に付着してしまうという問題もある。これらの結果、ノズル面に異物が付着してしまうと、液滴吐出動作を精度良く行うことができない。特に、カラーフィルターや有機ＥＬデバイスなどの各種成膜処理に用いる液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドとワークとの間隙を極力狭めて、描画処理を実施するため、ノズル面に付着した異物の先端が、ワーク上の着弾液滴を引き伸ばしてしまい、広域に亘ってワークを不良にしてしまう。

本発明は、ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去することができる機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。

本発明の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置は、布製のワイピングシートを繰り出すシート繰出しリールからワイピングシートを巻き取るシート巻取りリールに至るシート送り経路に、ワイピングシートを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に相対的に押圧する押圧ローラーを配置し、押圧ローラーにより、走行するワイピングシートをノズル面に押し付けてノズル面を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置であって、シート繰出しリールから押圧ローラーに至るシート送り経路の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊した異物を吸着するように、走行するワイピングシートを帯電する帯電手段を、備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワイピングシートを、周囲に浮遊する異物を吸着するように帯電させることで、ワイピング処理の際に浮遊した異物を、ワイピングシートに吸着させることができる。これにより、ワイピング処理の際に機能液滴吐出ヘッドから浮遊した異物や、ワイピング処理の際にワイピングシートから発生した異物を除去することができるため、ワイピング処理後のノズル面に異物が付着することがなく、液滴吐出動作を精度良く行うことができる。なお、帯電手段は、ワイピングシートを帯電するものであれば、例えば、摩擦（接触）により、自由電子を移動させるものであっても良いし、イオナイザーのように、正イオンや負イオン、ひいては帯電した媒体（気体や液体等）を、ワイピングシートに付与して、ワイピングシートの自由電子を授受するものであっても良い。

上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置において、帯電手段は、走行するワイピングシートに摺接する摺接部材で構成されていることが好ましい。

この構成によれば、ワイピングシートの走行を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートを帯電することにより、ワイピングシートの帯電に、特段の駆動部を必要とせず、帯電手段を簡単な構成とすることができる。

上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置において、帯電手段は、走行するワイピングシートに摺接してバックテンションを付与するテンションローラーで構成されていることが好ましい。

この構成によれば、バックテンションを付与して、ワイピングシートに一定の張力を与えるためのバックテンション機構（テンションローラー）を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートを帯電することにより、ワイピングシートの帯電に、特段の機構を必要とせず、ワイピング装置を簡単な構成とすることができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする。

この構成によれば、ワイピング処理の際、周囲に浮遊する異物を除去できるワイピング装置を用いることで、簡単な構成で、描画処理を精度良く行うことができる。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。液滴吐出装置の平面図である。液滴吐出装置の側面図である。キャリッジの外観斜視図である。機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。ワイピングユニットの断面模式図である。第１変形例のワイピングユニットにおける断面模式図である。第２変形例のワイピングユニットにおける断面模式図である。

以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るワイピング装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。特に、この液滴吐出装置は、ワイピング処理の際、周囲の異物を除去することができるワイピングユニット（ワイピング装置）を用いることで、精度良く描画処理を行うことができる。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１２を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４が搭載された１３個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー５と、チャンバー５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、各部を制御する制御装置５８（図６参照）と、を備えている。また、チャンバー５の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク４９等を収納するタンクキャビネット７が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１４を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された機能液を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７（詳細は後述する。）および吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１４の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行う。また、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置８（吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７）が交わる領域にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１４の機能維持および機能回復を行う。なお、ワイピングユニット１７によるワイピング動作は、吸引ユニット１６による吸引動作後毎に行ってもよいし、定期的に行ってもよい。

図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２２と、上記したフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２２およびＸ軸第２スライダー２３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。

Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート２４と、各ブリッジプレート２４を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース１３上に設置され、ブリッジプレート２４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１４を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１４を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。

図４に示すように、各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１４と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１４を６個ずつ２群に分けて、各機能液滴吐出ヘッド１４が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート２５と、から成るヘッドユニット２６を備えている。また、各キャリッジユニット４は、機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁２７と、ヘッドユニット２６をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構２８（図３参照）と、θ回転機構２８を介して、ヘッドユニット２６をブリッジプレート２４に支持させる吊設部材２９（図３参照）と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、機能液を一時的に貯留するサブタンク４６（図１参照）が配設されており（実際には、ブリッジプレート２４上に配設）、このサブタンク４６および圧力調整弁２７により、各機能液滴吐出ヘッド１４に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。なお、キャリッジユニット４をＺ軸方向に昇降させるＺテーブル（図示省略）を、さらに備えていてもよい。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１４は、いわゆる２連のインクジェットヘッド（インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４）であり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体３３と、を備えている（図５（ａ）参照）。機能液導入部３１は、ノズル列３９の数に対応した２連の接続針３４を有しており、サブタンク４６からの機能液が供給されるようになっている。また、ヘッド本体３３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部３５と、複数の吐出ノズル３７が形成されたノズル面３８を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズルプレート３６のノズル面３８に形成された多数の吐出ノズル３７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列３９を構成しており、各ノズル列３９は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３７で構成されている（図５（ｂ）参照）。そして、制御装置５８（図６参照）から出力された駆動波形が各ポンプ部３５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３７から機能液が吐出される。

ここで図６を参照して、ワイピングユニット１７について、詳細に説明する。ワイピングユニット１７は、布製のワイピングシートＳを適宜繰出すシート繰出しリール５１と、シート繰出しリール５１から繰出されたワイピングシートＳを巻取るシート巻取りリール５２と、両リール５１，５２間に掛け渡されたワイピングシートＳを機能液滴吐出ヘッド１４に押圧する押圧ローラー５３と、両リール５１，５２間において、押圧ローラー５３を経由するシート送り経路５４を構成する各種のローラー（詳細は後述する。）と、これら構成装置を支持する装置フレーム（図示省略）と、をカバーボックス５５に収容して構成されている。ワイピングシートＳをシート送り経路５４に沿って繰り出しつつ、巻き取ることで、ワイピングシートＳが走行する。

また、ワイピングユニット１７は、シート繰出しリール５１と押圧ローラー５３との間に掛け渡されたワイピングシートＳに臨み、ワイピングシートＳのシートエンドを検出するシートエンド検出装置５６と、押圧ローラー５３とシート巻取りリール５２との間に掛け渡されたワイピングシートＳに臨み、ワイピングシートＳの送り速度を検出する送り速度検出装置５７と、を備えている。シートエンド検出装置５６および送り速度検出装置５７は、上記の制御装置５８に接続されており、それぞれ検出信号を制御装置５８に出力する。

さらに、シートエンド検出装置５６と押圧ローラー５３との間には、シート繰出しリール５１から繰出されたワイピングシートＳに一定のバックテンションを付与すると共に、ワイピングシートＳを帯電するテンションローラー（帯電手段）６１が配設されている。詳細は後述するが、ワイピングシートＳを帯電することで、ワイピング動作の際、周囲に浮遊する異物をワイピングシートＳに吸着することができる。

またさらに、押圧ローラー５３と送り速度検出装置５７との間には、太径の第１経路変更ローラー６２、細径の第２経路変更ローラー６３、第３経路変更ローラー６４、第４経路変更ローラー６５および送り速度検出装置５７が連結された第５経路変更ローラー６６が上流側から順番に配設されている。なお、図６における矢印は、各ローラーの回転方向を示している。

ワイピングシートＳは、ヘッドユニット２６に対応する幅を有し、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維（不織布）で構成されている。ワイピングシートＳは、リールコア６７に巻回した状態で搬入され、シート繰出しリール５１の装着軸６８に軸方向から装着される。この場合、ワイピングシートＳのシートエンド（巻回開始端）は、粘着テープ等でリールコア６７に粘着されており、ワイピングシートＳを使い切る直前には、この粘着テープがリールコア６７から剥がれることにより、ワイピングシートＳのシートエンドがシート繰出しリール５１から外れる。言うまでもないが、ワイピングシートＳは、シート繰出しリール５１から繰り出され、シート送り経路５４に沿って、シートエンド検出装置５６、テンションローラー６１、押圧ローラー５３、第１経路変更ローラー６２、第２経路変更ローラー６３、第３経路変更ローラー６４、第４経路変更ローラー６５および送り速度検出装置５７、を順に経由して、回転駆動するシート巻取りリール５２に巻取られる。

シート繰出しリール５１の装着軸６８には、繰出されてゆくワイピングシートＳに対しバックテンションを付与するトルクコントローラー（図示省略）が組みこまれている。一方、シート巻取りリール５２の駆動軸７１には、巻取りモーター７２が連結されており、巻取りモーター７２は、送り速度検出装置５７の検出結果に基づいて、ワイピングシートＳの走行速度が一定になるように制御される。これにより、ワイピングシートＳは、シート送り経路５４上を、一定の張りを与えた状態で且つ一定の速度で送られる（走行させる）。

押圧ローラー５３は、テンションローラー６１と第１経路変更ローラー６２との間に位置して装置の頂部に配設されており、軸端に連結された一対のエアーシリンダー７５により、カバーボックス５５のワイプ開口７６から出没自在に構成されている。そして、ワイプ開口７６から突出した払拭位置でワイピングシートＳを複数の機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３８に押し付けて、付着した機能液を払拭する。なお、上記したＺ軸方向に移動するＺテーブルにより機能液滴吐出ヘッド１４を下降させることで、ノズル面３８を押圧ローラー５３に押し当てるようにしてもよい。

送り速度検出装置５７は、第５経路変更ローラー６６に連結しており、第５経路変更ローラー６６の回転速度を検出するいわゆるエンコーダーで構成されている。エンコーダーは、第５経路変更ローラー６６の軸端に連結した回転軸と、スリット円板と、透過形フォトセンサと、を有している（いずれも図示省略）。そして、エンコーダーの検出結果から算出された第５経路変更ローラー６６の回転速度に基づいて、ワイピングシートＳの送り速度が算出される。そして、その検出信号は制御装置５８に出力され、入力した検出信号に基づいて、制御装置５８がワイピングシートＳの送り速度が一定になるように巻取りモーター７２の回転数を制御する。

テンションローラー６１は、押圧ローラー５３の送り方向の上流側近傍（送り込み経路）に配設されており、いわゆるニップローラーで構成されている。テンションローラー６１は、シート送り経路５４の内側に配設されると共に、トルクリミッターが組み込まれたフリーローラーである第１ローラー７３と、シート送り経路５４の外側に配設されると共に、第１ローラー７３に向かって付勢されたフリーローラーである第２ローラー７４と、を備えている。第２ローラー７４は、ワイピングシートＳの繰出し端部を通過させ得るように、第１ローラー７３に対し離接自在に構成されている。すなわち、ワイピングユニット１７に、ワイピングシートＳをセットする際には、第２ローラー７４を第１ローラー７３から離間する。一方、ワイピングユニット１７の駆動時には、ワイピングシートＳに介して、第１ローラー７３を第２ローラー７４に接触させる。この一対のローラー７３,７４によって、ワイピングシートＳを挟むと共に、ワイピングシートＳの走行に伴って、第１ローラー７３を制動回転させることで、第１ローラー７３がワイピングシートＳに摺接する。これによって、ワイピングシートＳに一定のバックテンションを付与する。

そして、テンションローラー６１は、ワイピングシートＳを帯電させる機能をも担っている。すなわち、ワイピングシートＳの走行に伴って、第１ローラー７３がワイピングシートＳに摺動すると、摩擦帯電によって、ワイピングシートＳが所定帯電量で帯電する。そのため、第１ローラー７３は、ワイピングシートＳに対し、所定の帯電量（の範囲）で摩擦帯電する材質で構成されている。すなわち、ワイピングシートＳの材質に対し、帯電列に基づいて、第１ローラー７３の材質を決定する。なお、所定の帯電量とは、周囲に浮遊する異物（ゴミやケバ等）を吸着（静電吸着）する帯電量である。また、第１ローラー７３は、絶縁体で構成されることが好ましい。

このようなワイピングユニット１７を用いた機能液滴吐出ヘッド１４のワイピング動作では、先ず、機能液滴吐出ヘッド１４をＹ軸テーブル３によりワイピングユニット１７の直上部に移動させる。一方、ワイピングユニット１７側では、押圧ローラー５３を上動させてワイピングシートＳをワイプ開口７６から突出させ、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３８の端に接触させる。続いて、機能液滴吐出ヘッド１４をＹ軸テーブル３によりＹ軸方向に移動させると共に、ワイピングシートＳを送ることによりノズル面３８を払拭する。この際、ワイピングシートＳを送ることによって、テンションローラー６１の第１ローラー７３が制動回転する。これにより、第１ローラー７３とワイピングシートＳとの間で摩擦帯電が起り、上記所定の帯電量でワイピングシートＳを帯電する。そのため、帯電したワイピングシートＳが、機能液滴吐出ヘッド１４（特に、そのノズル面３８）の周囲に浮遊するゴミやケバ等の異物を吸着し、これらの異物を除去しつつ、ノズル面３８が払拭される。

このような構成によれば、バックテンションを付与して、ワイピングシートＳに一定の張力を与えるためのバックテンション機構（テンションローラー６１）を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートＳを帯電することにより、ワイピングシートＳの帯電に特段の機構を必要とせず、ワイピングユニット１７を簡単な構成とすることができる。

ここで図７を参照して、第１変形例のワイピングユニット１７について、特に異なる部分を主に説明する。図７に示すように、第１変形例のワイピングユニット１７では、摺接部材（帯電手段）８１を用いて、ワイピングシートＳを摩擦帯電する構成である。ワイピングユニット１７は、図６に記載の各装置に加え、シートエンド検出装置５６とテンションローラー６１との間に配設されると共にワイピングシートＳに摺接する摺接部材８１を備えている。摺接部材８１は、ワイピングシートＳを挟み込む一対の摺接パッド８２で構成されており、ワイピングシートＳの走行に伴ってワイピングシートＳに摺接し、この摩擦帯電によってワイピングシートＳを上記所定の帯電量で帯電する。各摺接パッド８２は、頂部をワイピングシートＳに当接する半円形に形成されており、一方の摺接パッド８２は、他方の摺接パッド８２側に付勢されている。また、各摺接パッド８２は、上記所定の帯電量で、ワイピングシートＳを摩擦帯電する材質で構成されている。この構成によれば、ワイピングシートＳの走行を利用した摩擦帯電によって、ワイピングシートＳを帯電することにより、ワイピングシートＳの帯電に特段の駆動部を必要とせず、帯電手段を簡単な構成とすることができる。

次に図８を参照して、第２変形例のワイピングユニット１７について、特に異なる部分を主に説明する。図８に示すように、第２変形例のワイピングユニット１７では、イオナイザー（帯電手段）８３（イオン発生装置）を用いて、ワイピングシートＳを帯電する構成である。ワイピングユニット１７は、図６に記載の各装置に加え、テンションローラー６１と押圧ローラー５３との間に位置するワイピングシートＳに向かって、イオンを放出するイオナイザー８３を備えている。このイオナイザー８３は、正イオンおよび負イオンのいずれか一方のみをワイピングシートＳに放出して、ワイピングシートＳを帯電する。なお、イオナイザー８３の出力は、ワイピングシートＳが、上記所定の帯電量に帯電されるように調整される。

以上のような構成によれば、ワイピングシートＳを、周囲に浮遊する異物を吸着するように帯電させることで、ワイピング動作の際に浮遊した異物を、ワイピングシートＳに吸着させることができる。これにより、ワイピング動作の際に機能液滴吐出ヘッド１４から浮遊した異物や、ワイピング動作の際にワイピングシートＳから発生した異物を除去することができるため、ワイピング処理後のノズル面３８に異物が付着することがなく、液滴吐出動作を精度良く行うことができる。特に、他の部材（各種ローラー等）に接触し、ワイピングシートの帯電が、押圧ローラー５３に臨む前に除去されてしまう可能性を考慮して、押圧ローラー５３に繰り出される直前に、ワイピングシートＳを帯電することが好ましい。

なお、上記実施形態においては、第１ローラー７３全体や摺接パッド８２全体を上記所定の帯電量を摩擦帯電する材質で構成したが、ワイピングシートＳへの当接部（第１ローラー７３であれば、その外周部）のみを当該材質で構成しても良い。

また、上記実施形態においては、第１ローラー７３や摺接パッド８２の材質によって、帯電量を調整したが、ワイピングシートＳへの接触面積によって、帯電量を調整するものであっても良いし、これらを組み合わせて、帯電量を調整するものであっても良い。

さらに、上記実施形態においては、周囲に浮遊する異物を吸着する帯電量となるように、ワイピングシートＳを帯電したが、機能液滴吐出ヘッド１４のノズル面３８以外の部位（ヘッド本体３３の側面やヘッド基板３２等）に付着した異物（ゴミ）をワイピングシートＳに吸着する帯電量としても良い。また、上限として、機能液滴吐出ヘッド１４の駆動に支障をきたさない範囲の帯電量とすることが好ましい。

またさらに、上記実施形態においては、摩擦帯電する帯電の極性については記載を省略したが、正負いずれの極性に帯電しても良い。なお、例えば、ワイピング動作（ワイピングシートＳの摺接）によるノズル面３８の帯電の極性に対応して、ワイピングシートＳの帯電の極性を設定するものであっても良い。

また、上記実施形態においては、押圧ローラー５３をノズル面３８に押圧した状態で、ワイピングシートＳを走行しつつ、機能液滴吐出ヘッド１４を移動することにより、ワイピング動作を実施したが、ワイピングシートＳの走行を停止し、機能液滴吐出ヘッド１４の移動だけで、ワイピング動作を実施しても良いし、逆に、押圧面積を広くし、ワイピングシートＳの走行だけで、ワイピング動作を実施しても良い。

１：液滴吐出装置、１４：機能液滴吐出ヘッド、１７：ワイピングユニット、３８：ノズル面、５１：シート繰出しリール、５２：シート巻取りリール、５３：押圧ローラー、５４：シート送り経路、６１：テンションローラー、８１：摺接部材、８３：イオナイザー、Ｓ：ワイピングシート、Ｗ：ワーク

Claims

布製のワイピングシートを繰り出すシート繰出しリールから前記ワイピングシートを巻き取るシート巻取りリールに至るシート送り経路に、前記ワイピングシートを、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に相対的に押圧する押圧ローラーを配置し、前記押圧ローラーにより、走行する前記ワイピングシートを前記ノズル面に押し付けて前記ノズル面を払拭する機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置であって、
前記シート繰出しリールから前記押圧ローラーに至る前記シート送り経路の送り込み経路に臨み、周囲に浮遊する異物を吸着するように、走行する前記ワイピングシートを帯電する帯電手段を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
前記帯電手段は、走行する前記ワイピングシートに摺接する摺接部材で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
前記帯電手段は、走行する前記ワイピングシートに摺接してバックテンションを付与するテンションローラーで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする液滴吐出装置。