JP2010223860A - 混合ガス供給装置および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数種類のガスを混合して供給する混合ガス供給装置において、混合ガスの主成分ガスが流れる第一の供給経路に、水を気化して水蒸気として主成分ガスと混合させる気化器が接続されてなり、気化器の下流側に設けた、主成分ガスと水蒸気との混合ガスが流れる予備混合路に、混合ガスの主成分ガスおよび水蒸気以外の残余のガスが流れる第二の供給経路を合流させることにより、混合ガスが流れる一の混合ガス供給路が形成されてなるようにする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る検査装置1の構成を概略的に示す模式図である。検査装置1は、混合ガスを所望される混合比にて供給する混合ガス供給装置2と、混合ガス供給装置2から混合ガスの供給が導入される測定チャンバ3と、測定チャンバ3に配置したガスセンサ101の所定位置にプローブ4を接続することにより、所定の電気的測定を行える測定装置5と、を備える。
次に、混合ガス供給装置2の構成について詳細に説明する。なお、本実施の形態においては、窒素(N2)ガスを混合比(流量比)が最大の第1主成分とし、酸素(O2)ガスを次に混合比の大きな第2主成分として10%〜18%程度含み、微量成分として、水蒸気(H2O)を全体のおよそ数%程度含む混合ガス、あるいはさらに、数百ppmオーダーの一酸化窒素(NO)ガスを含む混合ガスを混合ガス供給装置2による供給の対象であるとする。これは、NOxセンサが対象とする、内燃機関からの排ガス成分に類似するガスを供給する場合に該当する。
次に、混合ガス供給装置2を含む検査装置1において、ガスセンサ101を対象に行われる測定の測定例を、混合ガス供給装置1002を含む検査装置1001を用いて行った場合と対比しつつ説明する。
2、1002 混合ガス供給装置
3 測定チャンバ
4 プローブ
5 測定装置
10、1010 窒素供給系
20、1020 水供給系
30、1030 酸素供給系
40、1040 NO供給系
50、1050 気化器
80、1080 混合ガス供給路
81 ガスミキサー
82 バルブ
101 ガスセンサ
101a、101b、101c (ガスセンサ101の)セラミックス層
102 第一の内部空室
103 第二の内部空室
104 ガス導入口
145 測定電極
147 基準電極
C1、C2、C1001 合流点
H1、H2、H3、H1001、H1002 ヒータ
Claims (6)
- 複数種類のガスを混合して供給する混合ガス供給装置であって、
混合ガスの主成分ガスが流れる第一の供給経路に、水を気化して水蒸気として前記主成分ガスと混合させる気化器が接続されてなり、
前記気化器の下流側に設けた、前記主成分ガスと前記水蒸気との混合ガスが流れる予備混合路に、前記混合ガスの前記主成分ガスおよび水蒸気以外の残余のガスが流れる第二の供給経路を合流させることにより、前記混合ガスが流れる一の混合ガス供給路が形成されてなる、
ことを特徴とする混合ガス供給装置。 - 請求項1に記載の混合ガス供給装置であって、
前記混合ガス供給路に、ガスミキサーを備えることを特徴とする混合ガス供給装置。 - 請求項2に記載の混合ガス供給装置であって、
前記ガスミキサーがスタティックミキサーであることを特徴とする混合ガス供給装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の混合ガス供給装置であって、
前記気化器および前記混合ガス供給路にヒータが付設されてなることを特徴とする混合ガス供給装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の混合ガス供給装置であって、
前記主成分ガスが窒素ガスであり、
前記残余のガスが酸素ガスとNOガスであり、
前記第二の供給路において、前記酸素ガスの供給路と前記NOガスの供給路とを合流させてなる、
ことを特徴とする混合ガス供給装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の混合ガス供給装置と、
前記混合ガス供給装置の前記混合ガス供給路に接続された測定チャンバと、
前記測定チャンバに挿入されたガスセンサを対象に所定の測定を行う測定装置と、
を備えることを特徴とする検査装置。
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