JP2010223365A - 振動防止装置、振動防止方法および振動防止プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】周期的に運動する運動体から伝わる振動が機器へ及ぼす影響を抑えることができ、調整が容易な振動防止装置を提供する。
【解決手段】偏心した運動体の周期的運動から伝わる振動を防止する振動防止装置１００であって、振動が伝わる被振動体に設けられ、振動の第１成分を検知する第１の振動検知部１１１と、運動体の運動に基づき位相同期信号を生成する位相同期信号生成部１５０と、検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する第１の信号生成ユニット１１０と、第１の振動発生信号に基づいて被振動体を駆動する第１の駆動部１１６と、を備える。これにより、微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。また、運動体の種類を問わず適用でき、設置の際の細かい調整は不要である。
【選択図】図１

Description

本発明は、偏心した運動体の周期的運動から伝わる振動を防止する振動防止装置、振動防止方法および振動防止プログラムに関する。

従来、工作機械、半導体や液晶の製造設備など振動を嫌う機器の設置には、防振台などを用いて、床から伝わる振動を遮断している。一方で、これら機器自体に駆動系としてモータ、スピンドルなどが使われている。したがって、どれほど床の振動の防止を徹底しても、これら機器自身に取り付けられている駆動系から振動が発生し、機器の精度が制限される。

これに対して振動の発生原因であるモータやスピンドルなどの偏心を抑えることで、ある程度振動を防止することができるが、市販品のモータやスピンドルの偏心をバランスさせる作業は、かなりの労力と熟練を必要とする。したがって、偏心のバランス作業により作業負担が増加し、機器の価格を上げる一因ともなっている。また、一度バランスさせたモータやスピンドルが経年劣化で偏心が悪化した場合には、機器の振動が増えるため、再度駆動系を機器から外してバランスを取る作業も必要となる。

このようなバランス調整作業について、能率を高めようとする技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１記載の回転バランス修正方法は、工具ホルダを装着してスピンドルを高速回転させ、振動センサと回転センサによってスピンドルと工具ホルダとから回転体の不釣り合い量と不釣り合いの角度位置とを測定する。一方で、回転体に試し重りをつけ、その回転体を高速回転して、不釣り合い量と不釣り合いの角度位置を測定する。そして、二つの測定データからベクトル演算し、回転体の不釣り合い位置においてドリルユニットによりバランス修正リングを不釣り合い重さに対応する量だけ切削して回転体の回転バランスを修正している。

特開２００２−２１９６２９号公報

しかしながら、上記の技術では結局バランスの修正に作業が必要となる。また、自動的に調整されないため、修正時期により振動の影響が大きいことがある。スピンドルの種類に応じて対応を変える必要があり、作業負担や監視負担も大きい。また、バランス修正リングを切除するためにはスピンドルへのリングの取り付け等、調整が難しいことがある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、周期的に運動する運動体から伝わる振動が機器へ及ぼす影響を抑えることができ、調整が容易な振動防止装置、振動防止方法および振動防止プログラムを提供することを目的とする。

（１）上記の目的を達成するため、本発明の振動防止装置は、偏心した運動体の周期的運動から伝わる振動を防止する振動防止装置であって、前記振動が伝わる被振動体に設けられ、前記振動の第１成分を検知する第１の振動検知部と、前記運動体の運動に基づき位相同期信号を生成する位相同期信号生成部と、前記検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する第１の信号生成ユニットと、前記第１の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動する第１の駆動部と、を備えることを特徴としている。

このように本発明の振動防止装置は、被振動体を駆動することで振動を相殺する振動を発生させるため、振動を抑制することができる。これにより、周囲で行われる微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。また、本発明の振動防止装置は、偏心の調整等を行うことはなく、運動体に対して直接働きかけないため、運動体の種類を問わず適用できる。また、構造が単純であり、設置の際の細かい調整は不要である。

（２）また、本発明の振動防止装置は、前記第１の信号生成ユニットが、前記検知された振動の第１成分を前記生成された位相同期信号を用いて検波し、平均化して前記生成された位相同期信号を用いて乗算することで前記第１の振動発生信号を生成することを特徴としている。

これにより、運動体の周期的運動に同期する成分を利用して、偏心による運動を抽出できる。そして、運動体から伝わる振動を再現し、これを相殺する振動を発生できる。

（３）また、本発明の振動防止装置は、前記第１の駆動部が、前記運動体の周期的運動の中心を通り、前記第１の駆動部の振動方向に平行な直線上に配置されていることを特徴としている。運動体から伝わる振動は、運動体の周期的運動の中心を通る直線上で最も大きいため、この振動を抑制することで効率的に振動を防止することができる。

（４）また、本発明の振動防止装置は、前記振動の第１成分とは異なる方向の第２成分に対応する第２の振動検知部、第２の信号生成ユニットおよび第２の駆動部を更に備え、第２の振動検知部は、前記振動が伝わる被振動体に設けられ、前記振動の第２成分を検知し、前記第２の信号生成ユニットは、前記振動の第２成分を相殺する振動を発生させる第２の振動発生信号を生成し、第２の駆動部は、前記第２の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動することを特徴としている。これにより、多次元的に合成されて伝わる振動を防止することができる。

（５）また、本発明の振動防止装置は、前記運動体が、回転体であり、前記各振動検知部および前記各駆動部は、前記回転体の軸に垂直な面上で直交する２方向成分に対して設けられ、前記各信号生成ユニットは、前記２方向成分に対して、それぞれ相殺する振動を発生させる振動発生信号を生成することを特徴としている。これにより、モータやスピンドルの回転による振動を防止することができる。

（６）また、本発明の振動防止方法は、偏心した運動体の周期的運動から被振動体を介して伝わる振動を防止する振動防止方法であって、前記被振動体の振動の第１成分を検知するステップと、前記運動体の運動に基づき位相同期信号を生成するステップと、前記検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成するステップと、前記第１の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動するステップと、を含むことを特徴としている。これにより、周囲で行われる微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。

（７）また、本発明の振動防止プログラムは、偏心した運動体の周期的運動から被振動体を介して伝わる振動を防止する振動防止プログラムであって、検知された被振動体の振動の第１成分および運動体の運動の位相に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する処理をコンピュータに実行させ、前記第１の振動発生信号を出力し、前記被振動体を駆動させることを特徴としている。これにより、周囲で行われる微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。

本発明によれば、微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。また、本発明の振動防止装置は、偏心の調整等を行うことはなく、運動体に対して直接働きかけないため、運動体の種類を問わず適用できる。また、構造が単純であり、設置の際の細かい調整は不要である。

本発明に係る振動防止装置のブロック図である。 本発明に係る振動防止装置の特徴的な動作を示すフローチャートである。 本発明に係る振動防止装置の一例を示す正面図である。 本発明に係る振動防止装置の電気的構成を示す回路図である。 振動を模式的に示す図である。 振動を模式的に示す図である。 回転体から伝わる振動とアクチュエータが与える加速度とを示す図である。

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

（振動防止装置の構成）
図１は、振動防止装置１００のブロック図である。振動防止装置１００は、偏心した運動体（振動源）の周期的運動から伝わる振動を防止する。図１に示すように、振動防止装置１００は、第１の振動検知部１１１、第１の信号生成ユニット１１０、第１の駆動部１１６、第２の振動検知部１２１、第２の信号生成ユニット１２０、第２の駆動部１２６および位相同期信号生成部１５０を備えている。

第１の振動検知部１１１は、振動が伝わる被振動体に設けられ、振動の第１成分を検知し、第１の振動信号を生成する。被振動体は、たとえば回転体を直接あるいは支持部材を介して支持する台座や壁部材等である。被振動体は、硬くて振動に対する応答性の高い物質で形成されているほど好ましい。第１の振動検知部１１１は、たとえば振動センサを有しており、振動を検知する。振動センサは一般的なものであればよく、振動センサとしては加速度センサを用いることができる。

位相同期信号生成部１５０は、運動体の運動の位相を検知し、位相同期信号を生成する。たとえば、回転体に対しては回転角を位相として検知することができ、位相同期信号生成部１５０として回転角センサを設けることができる。また、運動体が電気的に駆動されるものであれば、駆動用の信号をモニタし位相同期信号を生成してもよい。

第１の信号生成ユニット１１０は、第１の振動信号を位相同期信号で検波し、検波された第１の振動信号を平均化する。そして、平均化された第１の振動信号を位相同期信号で乗算して第１の振動発生信号を生成する。第１の振動発生信号に基づいてアクチュエータ等の第１の駆動部１１６が駆動することで、被駆動体に検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させることができる。

第１の信号生成ユニット１１０は、第１の検波部１１２、第１の平均化部１１３、第１の乗算部１１４および第１の加算部１１５を備えている。第１の検波部１１２は、検知された位相の位相同期信号とその位相を９０°遅らせた位相同期信号とにより第１の振動信号を検波し、同相検波信号および直交検波信号を生成する。

第１の平均化部１１３は、第１の振動信号をそれぞれ平均化し、第１の乗算部１１４は、平均化された第１の振動信号のそれぞれに検知された位相の位相同期信号とその位相を９０°遅らせた位相同期信号とを乗算する（後述の図４の例参照）。第１の加算部１１５は、乗算されたそれぞれの第１の振動信号を加算し、第１の駆動部１１６に出力する。このように、同じ周波数で同期をとることで元の振動と同じ振動を発生させることができる。

第１の駆動部１１６は、第１の振動発生信号に基づいて、被駆動体の振動の第１成分とは反対方向に被振動体を駆動する。これにより、振動を打ち消し、周囲で行われる微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。また、振動源に近い場所で振動を打ち消すことができるため、効果が大きく、周囲の機械の精度が飛躍的に向上する。なお、第１の駆動部１１６は、運動体の周期的運動の中心を通り、第１の駆動部の振動方向に平行な直線上に配置されていることが好ましい。運動体から伝わる振動は、運動体の周期的運動の中心を通る直線上で最も大きいため、この振動を抑制することで効率的に振動を防止することができる。

運動体は、偏心（重さが偏っている）しており周期的運動を行う。たとえばモータに搭載されたロータ等の回転体であってもよい。回転体の振動は２成分に分解でき、２次元的な振動として対応できる。なお、振動防止装置１００は、偏心の調整等を行うことはなく、運動体に対して直接働きかけないため、運動体の種類を問わず適用できる。

第２の振動検知部１２１、第２の信号生成ユニット１２０および第２の駆動部１２６は、第１の振動検知部１１１、第１の信号生成ユニット１１０、第１の駆動部１１６と同様の機能を有しており、振動の第２成分を検知し、第２成分を相殺する振動を発生させ、第２の振動発生信号に基づいて被振動体を駆動する。

第２の信号生成ユニット１２０は、第２の検波部１２２、第２の平均化部１２３、第２の乗算部１２４および第２の加算部１２５を備えている。第２の検波部１２２、第２の平均化部１２３、第２の乗算部１２４および第２の加算部１２５は、第１の検波部１１２、第１の平均化部１１３、第１の乗算部１１４および第１の加算部１１５と同様の機能を有しており、振動の第２成分を検知し、第２成分を相殺する振動を発生させ、第２の振動発生信号に基づいて被振動体を駆動する。

なお、上記の振動防止装置１００の例では、信号の２成分に対応した構成が採用されているが、１成分対応の構成であってもよく、その場合には、一方の振動検知部、信号生成ユニットおよび駆動部があれば十分である。また、信号の３成分に対応した構成が採用されてもよく、その場合に、振動防止装置１００は、さらに第３の振動検知部、第３の信号生成ユニットおよび第３の駆動部を備える。

各振動検知部１１１、１２１および駆動部１１６、１２６は、回転体の軸に垂直な面上で直交する２方向成分に対して設けられている。各信号生成ユニット１１０、１２０は、２方向成分に対して、それぞれ相殺する振動を発生させる振動発生信号を生成する。なお、上記の機能は、回路によって構成されていてもよいし、コンピュータプログラムの実行により同等の機能が構成されていてもよい。

（振動防止装置の動作）
次に、このように構成された振動防止装置１００の動作を説明する。図２は、振動防止装置１００の特徴的な動作を示すフローチャートである。

まず、振動防止装置１００は、被振動体に伝わる振動および位相を検知する（ステップＳ１）。そして、振動信号を検知された位相の位相同期信号とその位相を９０°遅らせた位相同期信号とで検波する（ステップＳ２）。次に、検波された振動信号を平均化し、振動の強度と位相を検出する（ステップＳ３）。なお、平均化された信号の強度の２乗平均は振動の強度を反映している。次に、平均化された振動信号に、検知された位相の位相同期信号とその位相を９０°遅らせた位相同期信号とを乗算する（ステップＳ４）。そして、位相同期信号を乗算された振動信号を出力し（ステップＳ５）、アクチュエータを駆動する。実際には、これらの一連の処理を繰り返すことになる。なお、繰り返し途中に終了を判断する処理があってもよい。

（振動防止装置の構成例）
図３は、振動防止装置１００の一例を示す正面図である。設置されたモータ２０１に対して、振動防止装置１００は、モータ２０１から生じる振動を防止するために設置されている。モータ２０１は、内部に回転体（図示せず）を有しており、支持部２０２によって、板状の台座２１０（被振動体）に設置されている。台座２１０は、静止している機器のボデー２５０に固定されており、台座２１０に対して垂直に板状の壁部材２２０（被振動体）が接合されている。モータ２０１には、回転体の回転角を検知する回転角センサ１５１が設けられている。なお、モータ２０１は、高速回転可能なスピンドルであってもよい。

モータ２０１がある側から見て台座２１０の反対側の面には、垂直振動センサ１１１および垂直伸縮アクチュエータ１１６が設けられている。垂直振動センサ１１１および垂直伸縮アクチュエータ１１６は、たとえばボデーに２５０に設けられた穴に設置されている。垂直振動センサ１１１は、回転体から台座２１０に伝わる振動信号の垂直成分を検知する。垂直伸縮アクチュエータ１１６は、台座２１０に伝わる振動信号の垂直成分、すなわち壁部材２２０から伝わる加速度の垂直成分１３１を打ち消す加速度１４１を台座２１０に与える。垂直伸縮アクチュエータ１１６は、回転体の軸から垂直（アクチュエータの伸縮方向）に引いた直線上に設置されている。

また、モータ２０１がある側から見て壁部材２２０の反対側の面には、水平振動センサ１２１および水平伸縮アクチュエータ１２６が壁部材２２０に接触して設けられている。なお、アクチュエータには、圧電素子を用いることができる。圧電素子のアクチュエータは特に微小で振動数の大きい振動への適用に優れている。水平振動センサ１２１は、回転体から壁部材２２０に伝わる振動信号の水平成分を検知する。水平伸縮アクチュエータ１２６は、壁部材２２０に伝わる振動信号の水平成分、すなわち壁部材２２０から伝わる加速度の水平成分１３２を打ち消す加速度１４２を壁部材２２０に与える。水平伸縮アクチュエータ１２６は、回転体の回転中心から水平（アクチュエータの伸縮方向）に引いた直線上に設置されている。なお、伸縮アクチュエータは、壁部材２２０の垂直な面上または台座２１０の水平な面上に設けられていることが好ましい。

回転体は、回転角０°を基点として正面から見て左回転しているものとし、説明のためにある時刻において、回転体の位置が回転角０°の方向に偏芯しているものとする。回転体が０°の回転角にある場合、モータ２０１には０°方向に引っ張られる振動が発生する。そして、回転体が回転するにつれ、振動の方向も回転し、左回転に偏芯による振動の方向が逐次移動する回転振動になる。この場合には、水平振動センサ１２１、垂直振動センサ１１１には、各々振動信号の水平成分、垂直成分に比例した値が検出される。振動防止装置１００は、ハード構成上、センサやアクチュエータを所定箇所に設置すればよく、構造が単純であり、設置の際の細かい調整は不要である。なお、アクチュエータは、回転体による振動と同じ振動を発生させる信号を受けたときに反対向きに伸縮するよう向きを調整して設置する。

図４は、振動防止装置１００の電気的構成を示す回路図である。図４において、「×」の記号は、乗算回路を示しており、「＋」の記号は加算回路を示している。９０°移相回路１５２は、位相センサ１５１で検出された位相同期信号の位相を９０°移相する。なお、位相センサ１５１および９０°移相回路１５２は、位相同期信号生成部１５０を構成する。

乗算回路１１２ａは、垂直振動センサ１１１（第１の振動検知部）および位相センサ１５１に接続され、振動信号を、検知された位相の位相同期信号で検波し、同相検波信号を生成する。一方、乗算回路１１２ｂは、垂直振動センサ１１１および９０°移相回路１５２に接続され、振動信号を、検知された位相から９０°位相を遅らせた位相同期信号で検波し、直交検波信号を生成する。乗算回路１１２ａおよび乗算回路１１２ｂは、第１の検波部１１２を構成する。

平均化回路１１３ａは、乗算回路１１２ａに接続され、同相検波信号を平均化し、同相平均化信号を生成する。一方、平均化回路１１３ｂは、乗算回路１１２ｂに接続され、直交検波信号を平均化し、直交平均化信号を生成する。平均化回路１１３ａおよび平均化回路１１３ｂは、第１の平均化部１１３を構成する。

乗算回路１１４ａは、平均化回路１１３ａおよび位相センサ１５１に接続され、同相平均化信号に位相同期信号を乗算し、同相乗算信号を生成する。乗算回路１１４ｂは、平均化回路１１３ｂおよび９０°移相回路１５２に接続され、直交平均化信号に９０°移相された位相同期信号を乗算し、直交乗算信号を生成する。乗算回路１１４ａおよび１１４ｂは、第１の乗算部１１４を構成する。加算回路１１５（第１の加算部）は、同相乗算信号および直交乗算信号を加算し、第１の振動発生信号を生成し、垂直伸縮アクチュエータ１１６に出力する。第１の振動発生信号は、台座２１０に伝わる垂直方向の振動を反映したものとなる。垂直伸縮アクチュエータ１１６は、出力された第１の振動発生信号により、垂直に伸縮し、台座２１０へ振動を打ち消す加速度を与える。

また、乗算回路１２２ａは、水平振動センサ１２１（第２の振動検知部）および位相センサ１５１に接続され、振動信号を、検知された位相の位相同期信号で検波し、同相検波信号を生成する。一方、乗算回路１２２ｂは、水平振動センサ１２１および９０°移相回路１５２に接続され、振動信号を、検知された位相から９０°位相を遅らせた位相同期信号で検波し、直交検波信号を生成する。乗算回路１２２ａおよび乗算回路１２２ｂは、第２の検波部１２２を構成する。

平均化回路１２３ａは、乗算回路１２２ａに接続され、同相検波信号を平均化し、同相平均化信号を生成する。一方、平均化回路１２３ｂは、乗算回路１２２ｂに接続され、直交検波信号を平均化し、直交平均化信号を生成する。平均化回路１２３ａおよび平均化回路１２３ｂは、第１の平均化部１２３を構成する。

乗算回路１２４ａは、平均化回路１２３ａおよび位相センサ１５１に接続され、同相平均化信号に位相同期信号を乗算し、同相乗算信号を生成する。乗算回路１２４ｂは、平均化回路１２３ｂおよび９０°移相回路１５２に接続され、直交平均化信号に９０°移相された位相同期信号を乗算し、直交乗算信号を生成する。乗算回路１２４ａおよび１２４ｂは、第２の乗算部１２４を構成する。加算回路１２５（第２の加算部）は、同相乗算信号および直交乗算信号を加算し、第２の振動発生信号を生成し、水平伸縮アクチュエータ１２６に出力する。第２の振動発生信号は、壁部材２２０に伝わる水平方向の振動を反映したものとなる。水平伸縮アクチュエータ１２６は、出力された第２の振動発生信号により、水平に伸縮し、壁部材２２０へ振動を打ち消す加速度を与える。

このように、振動発生信号を各々垂直伸縮アクチュエータ１１６、水平伸縮アクチュエータ１２６に加えることで、回転体から発生する回転振動とまったく同じ周波数で回転体により発生する振動と逆向きの回転振動を発生することができる。

なお、さらに奥行き方向の振動についても、同様に第３の振動センサ、乗算回路、平均化回路、加算回路、奥行き伸縮アクチュエータを設けることができる。その場合、奥行き伸縮アクチュエータは、回転体の軸の延長上に設けるのが好ましい。また、上記の例では、９０°移相回路が位相同期信号生成部１５０に含まれているが、プログラムの機能により検波部や乗算部を構成する場合には、検波部や乗算部で移相の処理を行ってもよい。

（偏芯の向き）
図５Ａおよび図５Ｂは、台座２１０および壁部材２２０の振動１３０を模式的に示す図である。振動１３０は、ある時刻の振動の強さと方向を示している。図５Ａの例では、まず偏芯は、最初０°向きを有している。そして、図５Ｂに示すように、回転体の回転とともに、偏芯の向きも変わる。このとき振動は、水平成分１３２と垂直成分１３１とに分解できる。

図６は、振動およびそれに対して各伸縮アクチュエータ１１６、１２６が与える振動を示す図である。図６に示すように振動１３０に対して、水平伸縮アクチュエータ１２６および垂直伸縮アクチュエータ１１６により振動１３０を打ち消す加速度１４０が被振動体へ与えられる。振動１３０も、実質的には被振動体に与えられる加速度であり、加速度１４０はこれと反対向きで大きさが同じである。このようにして、振動をアクティブに抑えることができる。

なお、アクチュエータのみの伸縮によって、振動を発生することはできるが、より大きな偏芯に対応するために、アクチュエータの先端に錘を設置し、同じ大きさの加速度を与えられるように調整可能にしてもよい。

１００ 振動防止装置
１１０ 第１の信号生成ユニット
１１１ 垂直振動センサ（第１の振動検知部）
１１２ 第１の検波部
１１２ａ、１１２ｂ 乗算回路
１１３ 第１の平均化部
１１３ａ、１１３ｂ 平均化回路
１１４ 第１の乗算部
１１４ａ、１１４ｂ 乗算回路
１１５ 加算回路（第１の加算部）
１１６ 垂直伸縮アクチュエータ（第１の駆動部）
１２０ 第２の信号生成ユニット
１２１ 水平振動センサ（第２の振動検知部）
１２２ 第２の検波部
１２２ａ、１２２ｂ 乗算回路
１２３ 第２の平均化部
１２３ａ、１２３ｂ 平均化回路
１２４ 第２の乗算部
１２４ａ、１２４ｂ 乗算回路
１２５ 加算回路（第２の加算部）
１２６ 水平伸縮アクチュエータ（第２の駆動部）
１３０ 振動
１３１ 振動の垂直成分
１３２ 振動の水平成分
１４０ 加速度
１４１ 加速度の垂直成分
１４２ 加速度の水平成分
１５０ 位相同期信号生成部
１５１ 回転角センサ（位相センサ）
１５２ ９０°移相回路
２０１ モータ
２０２ 支持部
２１０ 台座
２２０ 壁部材
２５０ ボデー

Claims (7)

1. 偏心した運動体の周期的運動から伝わる振動を防止する振動防止装置であって、
   前記振動が伝わる被振動体に設けられ、前記振動の第１成分を検知する第１の振動検知部と、
   前記運動体の運動に基づき位相同期信号を生成する位相同期信号生成部と、
   前記検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する第１の信号生成ユニットと、
   前記第１の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動する第１の駆動部と、を備えることを特徴とする振動防止装置。
2. 前記第１の信号生成ユニットは、前記検知された振動の第１成分を前記生成された位相同期信号を用いて検波し、平均化して前記生成された位相同期信号を用いて乗算することで前記第１の振動発生信号を生成することを特徴とする請求項１記載の振動防止装置。
3. 前記第１の駆動部は、前記運動体の周期的運動の中心を通り、前記第１の駆動部の振動方向に平行な直線上に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の振動防止装置。
4. 前記振動の第１成分とは異なる方向の第２成分に対応する第２の振動検知部、第２の信号生成ユニットおよび第２の駆動部を更に備え、
   第２の振動検知部は、前記振動が伝わる被振動体に設けられ、前記振動の第２成分を検知し、
   前記第２の信号生成ユニットは、前記振動の第２成分を相殺する振動を発生させる第２の振動発生信号を生成し、
   第２の駆動部は、前記第２の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の振動防止装置。
5. 前記運動体は、回転体であり、
   前記各振動検知部および前記各駆動部は、前記回転体の軸に垂直な面上で直交する２方向成分に対して設けられ、
   前記各信号生成ユニットは、前記２方向成分に対して、それぞれ相殺する振動を発生させる振動発生信号を生成することを特徴とする請求項４記載の振動防止装置。
6. 偏心した運動体の周期的運動から被振動体を介して伝わる振動を防止する振動防止方法であって、
   前記被振動体の振動の第１成分を検知するステップと、
   前記運動体の運動に基づき位相同期信号を生成するステップと、
   前記検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成するステップと、
   前記第１の振動発生信号に基づいて前記被振動体を駆動するステップと、を含むことを特徴とする振動防止方法。
7. 偏心した運動体の周期的運動から被振動体を介して伝わる振動を防止する振動防止プログラムであって、
   検知された被振動体の振動の第１成分および運動体の運動の位相に基づいて、前記検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する処理をコンピュータに実行させ、
   前記第１の振動発生信号を出力し、前記被振動体を駆動させることを特徴とする振動防止プログラム。

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