JPH07158640A

JPH07158640A - 磁気軸受

Info

Publication number: JPH07158640A
Application number: JP30827693A
Authority: JP
Inventors: Koichi Suda; 紘一須田
Original assignee: Seiko Seiki KK
Current assignee: Seiko Seiki KK
Priority date: 1993-12-08
Filing date: 1993-12-08
Publication date: 1995-06-20
Anticipated expiration: 2016-11-05
Also published as: JP3226686B2

Abstract

(57)【要約】【目的】回転体を幾何学的中心軸回りに回転させなが
ら、回転体の不釣合による振動を抑制することができる
ようにする。【構成】制振データテーブル用記憶装置４３に、回転
体の角度に応じて回転体の不釣合によって生じる遠心力
を打ち消すための力を電磁石より発生させる制振用励磁
電流に対応した制振データを記憶し、この制振データを
回転体の角度毎に読み出して、ＤＡコンバータ４８ａ〜
４８ｄによって回転バランス信号Ｖａ〜Ｖｄに変換し、
各軸毎の制御回路２０ａ〜２０ｄにおける電磁石の制御
電圧に重畳する。回転バランス信号Ｖａ〜Ｖｄに応じ
た制振用励磁電流によって、電磁石より、回転体の不釣
合によって生じる遠心力を打ち消す力が発生され、回転
体の振動が抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転体の不釣合による
振動を抑制できるようにした磁気軸受に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気軸受において、電磁石で軸支された
回転体に不釣合があると回転したときに好ましくない振
動を生じる。この回転体の不釣合をなくすため、従来か
ら機械的なバランス調整が行われている。この方法は、
実際に回転体を回転させ、不釣合箇所を調べ、次に一旦
回転を止めて、回転体に取り付けるバランスウエイトの
取り付け位置および重さを調整することを、繰り返して
行うものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな機械的なバランス調整を十分に行った場合でも、回
転体の不釣合をほぼ完全になくすことは難しく、通常、
残留不釣合が存在する。しかし、磁気軸受は通常数万ｒ
ｐｍという高速回転で使用することが多く、わずかな残
留不釣合があっても危険な振動を生じる。

【０００４】一方、特公昭６０−１４９２９号公報に示
されるように、残留不釣合による振動を防止するため、
回転軸を慣性中心軸回りに回転するように磁気軸受を制
御する方法もあるが、回転軸が幾何学的中心軸から慣性
中心軸にずれてしまうため、幾何学的中心軸で回転させ
なければならない加工装置等の用途には使用できないと
いう問題点がある。

【０００５】そこで、本発明の目的は、回転体を幾何学
的中心軸回りに回転させながら、回転体の不釣合による
振動を抑制できるようにした磁気軸受を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明では、回転体を磁
気浮上させるための電磁石と、回転体の変位を検出する
センサと、回転体を所定の位置に保持するために、セン
サの出力に基づいて電磁石の励磁電流を制御する電磁石
制御回路と、回転体の回転位置に応じて回転体の不釣合
によって生じる遠心力を打ち消すための力を電磁石より
発生させる制振用励磁電流に対応した制振データを記憶
する記憶手段と、この記憶手段に記憶された制振データ
に基づいて、回転体の回転位置に応じた制振用励磁電流
を、電磁石制御回路による励磁電流に重畳する回転バラ
ンス制御手段とを、磁気軸受に具備させて、前記目的を
達成する。

【０００７】

【作用】この磁気軸受では、電磁石制御回路によって、
センサの出力に基づいて電磁石の励磁電流が制御され
て、回転体が所定の位置に保持される。また、記憶手段
によって、回転体の回転位置に応じて回転体の不釣合に
よって生じる遠心力を打ち消すための力を電磁石より発
生させる制振用励磁電流に対応した制振データが記憶さ
れ、この制振データに基づいて、回転バランス制御手段
によって、回転体の回転位置に応じた制振用励磁電流
が、電磁石制御回路による励磁電流に重畳される。

【０００８】そして、制振用励磁電流に応じて電磁石よ
り発生される力によって、回転体の不釣合によって生じ
る遠心力が打ち消され、回転体は、幾何学的中心軸回り
に回転しながら、振動が抑制される。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の磁気軸受における一実施例を
図１ないし図７を参照して詳細に説明する。まず、本実
施例の磁気軸受における振動抑制の原理について説明す
る。

【００１０】図６および図７に示すように、磁気軸受は
通常ラジアル方向が４軸、スラスト方向が１軸の合計５
軸で構成されているが、回転バランスに関係するのはラ
ジアル４軸である。ラジアル４軸のうち２軸は回転軸の
一端を支持しており、これをＶ１Ｖ３軸およびＷ１Ｗ３
軸と呼ぶことにする。Ｖ１Ｖ３軸とＷ１Ｗ３軸は直交し
ている。残りの２軸は回転軸の他端を支持しており、こ
れをＶ２Ｖ４軸およびＷ２Ｗ４軸と呼ぶことにする。

【００１１】Ｖ２Ｖ４軸とＷ２Ｗ４も直交している。ス
ラスト方向はＺ軸で支持している。Ｖ１Ｖ３軸において
は、電磁石Ｖ１と電磁石Ｖ３が回転軸Ｏのそれぞれ反対
側にあり、電磁石の吸引力が回転体１０に作用するよう
になっている。ラジアル方向の他の軸についても同様で
ある。

【００１２】図７に示すように、回転体１０に分布して
いるアンバランス分は、図中符号１１、１２で示すよう
に、上と下の２箇所に集中しているとみなせる。従来
は、この上および下のアンバランス分１１、１２を打ち
消すようなバランスウエイト１３、１４を回転体１０に
取り付けて、機械的なバランス調整によって振動を抑制
するようにしていた。本実施例は、機械的なバランス調
整で取りきれなかった残留不釣合をほぼ完全に除去する
ため、機械的なバランス調整と同じ考え方で、ある質量
のバランスウエイトを取り付けたのと同じ効果を電気的
に実現しようとするものである。

【００１３】図１は、本実施例の磁気軸受における振動
抑制の原理を説明するための説明図である。なお、この
図では、上側の軸についてのみ示しているが、下側の軸
についても同様である。この図に示すように、本実施例
では、バランスウエイト１３（１４）と等価な遠心力Ｆ
を発生させるように、上下それぞれの直交するする２軸
の電磁石に、本来の励磁電流に重畳して、ｓｉｎθ、ｃ
ｏｓθに比例した制振用励磁電流Ｉａ、Ｉａ＊、Ｉｂ、
Ｉｂ＊を流すようにする。なお、このＩａ、Ｉａ＊は、
大きさが等しく極性が反対の電流で、電磁石Ｖ１および
Ｖ３のうち一方の電磁石の力を強め他方の電磁石の力を
弱めるように作用する。Ｉｂ、Ｉｂ＊についても同様で
ある。

【００１４】θは、バランスウエイト１３（１４）の角
度（回転位置）である。これより、回転する力を発生さ
せ、不釣合による遠心力を打ち消して、ほぼ完全にバラ
ンスがとれた状態にすることができる。なお、当然であ
るが、上側の軸と下側の軸とでは、制振用励磁電流の位
相および振幅が同じとは限らない。

【００１５】制振用励磁電流の位相と振幅は、実際に回
転体１０を回転させて、オシロスコープ等によって変位
センサの回転振動検出波形を見ながら、制振用励磁電流
の位相と振幅および遠心力の回転方向を調整し、回転振
動が最小になるように調整する。なお、位相は、図７に
示すように、回転体１０と同じ軸に連結されたロータリ
エンコーダ１５からの信号により決められる。

【００１６】次に、本実施例の磁気軸受の構成について
具体的に説明する。図２は磁気軸受の制御回路の構成を
示すブロック図である。なお、この図は、Ｖ１Ｖ３軸の
１軸分についてのみ示しているが、他の軸についても同
様である。この図に示すように、回転体１０の周囲には
ステータ２２が設けられている。Ｖ１Ｖ３軸用制御回路
２０ａは、このステータ２２上で、回転体１０を挟んで
対向する位置に配設された電磁石Ｖ１、Ｖ３と、同じく
ステータ２２上で、電磁石Ｖ１、Ｖ３と同様の位置に配
設され、回転体１０の変位を検出するための変位センサ
２３ａ、２３ｂとを備えている。

【００１７】Ｖ１Ｖ３軸用制御回路２０ａは、さらに、
変位センサ２３ａ、２３ｂの出力から、回転体１０の位
置に応じたセンサ信号２５を生成する位置検出器２４
と、センサ信号２５と基準信号２６とに基づいて制御電
圧を生成するアンプ２７と、このアンプ２７からの制御
電圧に対してＰＩＤ補償を行うＰＩＤ補償器２８と、こ
のＰＩＤ補償器２８からの制御電圧を入力し、位相を反
転させた制御電圧と位相を反転させない制御電圧とを出
力する位相反転器２９と、この位相反転器２９からの位
相を反転させない制御電圧を制御電流に変換して電磁石
Ｖ１に供給する電力増幅器３０ａと、位相反転器２９か
らの位相を反転させた制御電圧を制御電流に変換して電
磁石Ｖ３に供給する電力増幅器３０ｂとを備えている。

【００１８】また、本実施例におけるＶ１Ｖ３軸用制御
回路２０ａでは、ＰＩＤ補償器２８と位相反転器２９の
間に、例えば加算器で構成されたＶＩ加算点３１が設け
られている。このＶＩ加算点３１では、ＰＩＤ補償器２
８からの制御電圧に対して、後述する回転バランス制御
回路４０からの回転バランス信号Ｖａが重畳されるよ
うになっている。この回転バランス信号Ｖａは、回転
体１０の不釣合によって生じる遠心力を打ち消すための
力を発生させるため、電磁石Ｖ１、Ｖ３に重畳する制振
用励磁電流ＩａおよびＩａ＊に対応した電圧である。

【００１９】図３は回転バランス制御回路４０の構成を
示すブロック図である。この回転バランス制御回路４０
は、マイクロコンピュータ４１と、このマイクロコンピ
ュータ４１に接続された操作パネル４２と、マイクロコ
ンピュータ４１からのデータＤ１を記憶する制振データ
テーブル用記憶装置４３と、制振データテーブル用記憶
装置４３のアドレスを発生させる角度カウンタ４４と、
マイクロコンピュータ４１からのアドレスＡＤ１と角度
カウンタ４４からのアドレスＡＤ２の一方を選択してア
ドレスＡＤ３として制振データテーブル用記憶装置４３
に与えるセレクタ４５とを備えている。

【００２０】角度カウンタ４４は、回転体１０に取り付
けられたロータリエンコーダ１５から１回転毎に出力さ
れるインデックスパルスＰ１によってクリアされるよう
になっている。回転バランス制御回路４０は、さらに、
回転体１０に取り付けられたロータリエンコーダ１５か
ら出力される角度パルスＰ２をてい倍し、わずかずつタ
イミングが異なる４つのパルスを出力するてい倍器４６
と、このてい倍器４６の出力の論理和をとり、角度カウ
ンタ４４のカウントアップ入力端ＵＰに入力させるオア
ゲート４７と、それぞれ制振データテーブル用記憶装置
４３からのデータＤ２がデータ入力端に印加される４つ
の入力ラッチ付き乗算型ＤＡコンバータ４８ａ〜４８ｄ
と、角度パルスＰ２を周波数−電圧変換して回転速度信
号ωを出力するＦ／Ｖ変換器４９と、このＦ／Ｖ変換器
４９からの回転速度信号ωを２乗してＤＡコンバータ４
８ａ〜４８ｄの各リファランス入力端ＲＥＦに印加する
アナログ乗算器５０とを備えている。

【００２１】ＤＡコンバータ４８ａ〜４８ｄの各ラッチ
入力端Ｌには、それぞれ、てい倍器４６の各出力パルス
が印加されるようになっている。また、ＤＡコンバータ
４８ａ〜４８ｄの各出力は、それぞれ回転バランス信号
Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄとして、Ｖ１Ｖ３軸用制御回路
２０ａ、Ｗ１Ｗ３軸用制御回路２０ｂ、Ｖ２Ｖ４軸用制
御回路２０ｃ、Ｗ２Ｗ４軸用制御回路２０ｄの各ＶＩ加
算点３１に印加されるようになっている。

【００２２】オペレータは、回転バランスを調整したい
ときに、操作パネル４２によって、各軸毎の制振データ
の位相や振幅のパラメータを入力できるようになってい
る。そして、マイクロコンピュータ４１は、このパラメ
ータに基づいて、ラジアル４軸の角度毎の制振データを
計算し、その結果を制振データテーブル用記憶装置４３
内の制振データテーブルに書き込むようになってい
る。。

【００２３】制振データテーブル用記憶装置４３は、こ
のようなラジアル４軸の角度毎の制振データを保持して
いる。この制振データテーブル用記憶装置４３は、通常
は、角度カウンタ４４によりアドレス指定され、データ
が読み出されるが、バランス調整時には、マイクロコン
ピュータ４１によりアドレス指定され、データが書き換
えられるようになっている。

【００２４】図４は制振データテーブル用記憶装置４３
内の制振データテーブルの内容を示す説明図である。こ
の図に示すように、制振データテーブルには、アドレス
の小さい方から順に、０度から１度毎の制振データが保
持され、各角度毎の制振データは、それぞれ、アドレス
の小さい順に配列されたＶ１Ｖ３軸用、Ｗ１Ｗ３軸用、
Ｖ２Ｖ４軸用、Ｗ２Ｗ４軸用の４つのデータで構成され
ている。

【００２５】次に本実施例の磁気軸受の動作について説
明する。まずマイクロコンピュータ４１により各軸ごと
に下記の式により、制振データテーブルに記憶する制振
データの値が計算される。Ｖ１Ｖ３軸…Ａｓｉｎ（θ＋α）Ｗ１Ｗ３軸…Ａ′ｃｏｓ（θ＋α′）Ｖ２Ｖ４軸…Ｂｓｉｎ（θ＋β）Ｗ２Ｗ４軸…Ｂ′ｃｏｓ（θ＋β′）ここで、θは回転体１０の角度（回転位置）であり、ロ
ータリエンコーダ１５のインデックスパルスＰ１の位置
が０度となる。また、α、α′、β、β′はインデック
スパルスＰ１の位置からの各軸の位相のずれ量であり、
バランス調整時にオペレータにより与えられる。通常
は、αとα′、βとβ′は大体同じ値であるが、直交す
る軸の角度誤差により多少異なる。

【００２６】なお、この位相値は機械的バランス調整に
おける、バランスウエイトの取り付け位置に相当する。
また、Ａ、Ａ′、Ｂ、Ｂ′は振幅であり、バランス調整
時にオペレータにより与えられる。通常は、ＡとＡ′、
ＢとＢ′は大体同じ値であるが、直交する軸の電磁石の
力のばらつきにより多少異なる。なお、この振幅値は機
械的バランス調整における、バランスウエイトの重さに
相当する。

【００２７】なお、回転体１０の回転方向と電磁力によ
る回転方向が逆になった場合は、Ｖ１Ｖ３軸のＡｓｉｎ
（θ＋α）およびＶ２Ｖ４軸のＢｓｉｎ（θ＋β）の符
号を反転させれば良い。これにより、電磁力による回転
方向が反転し、回転体１０の回転方向と電磁力による回
転方向が一致する。

【００２８】ロータリエンコーダ１５が１周で３６０パ
ルスを発生する場合、θが０度から３５９度まで１度き
ざみで増加する。従って、制振データテーブルは、図４
に示すように、４×３６０＝１４４０項目となる。な
お、このテーブルのデータは、その後、ＤＡコンバータ
４８ａ〜４８ｄに与えられるので、使用するＤＡコンバ
ータに適合した型式にして制振データテーブルに書き込
んでおく必要がある。

【００２９】マイクロコンピュータ４１により制振デー
タテーブルにデータが書き込まれた後、マイクロコンピ
ュータ４１からのアドレス切り換え信号ＡＳによってセ
レクタ４５が切り換えられ、制振データテーブルをアク
セスするアドレスＡＤ３が、マイクロコンピュータ４１
からのアドレスＡＤ１から角度カウンタ４４からのアド
レスＡＤ２側に切り換わる。

【００３０】角度カウンタ４４は、回転体１０の回転軸
に取り付けられたロータリーエンコーダ１５からの信号
により回転体１０の角度を知るためのもので、１周１発
出るロータリエンコーダ１５のインデックスパルスＰ１
によりクリアされて０になる。従って、インデックスパ
ルスＰ１の位置が基準の０度になる。

【００３１】また、ロータリエンコーダ１５からは、角
度パルスＰ２が出力される。例えば、１周３６０発の場
合は角度１度に１発ずつ角度パルスＰ２が出力される。
この角度パルスＰ２は、てい倍器４６により４倍され、
各軸に対応する４つのパルスが生成される。このてい倍
器４６からのパルスは、オアゲート４７を経て角度カウ
ンタ４４に与えられ、角度カウンタ４４はこのパルスに
よってカウントアップする。

【００３２】また、てい倍器４６からの４つのパルス
は、それぞれ、ＤＡコンバータ４８ａ〜４８ｄのラッチ
入力端Ｌに与えられる。従って、角度パルスＰ２が１発
来る毎に、制振データテーブルから４軸分の制振データ
が順に読み出され、各軸に対応したＤＡコンバータ４８
ａ〜４８ｄに与えられ、各ＤＡコンバータ４８ａ〜４８
ｄ内のレジスタに順にラッチされる。

【００３３】また、ＤＡコンバータ４８ａ〜４８ｄは、
アナログ値のリファランス入力とデジタル値のデータ入
力との積のアナログ値を出力するようになっている。回
転による遠心力は回転速度の２乗に比例する。そこで、
リファランス入力に、回転速度ωの２乗に比例するアナ
ログ値を与えるようにしている。従って、各ＤＡコンバ
ータ４８ａ〜４８ｄの出力である回転バランス信号Ｖａ
〜Ｖｄは、それぞれ下記のような式になる。

【００３４】Ｖ１Ｖ３軸…Ｖａ＝ω²Ａｓｉｎ（θ＋α）Ｗ１Ｗ３軸…Ｖｂ＝ω²Ａ′ｃｏｓ（θ＋α′）Ｖ２Ｖ４軸…Ｖｃ＝ω²Ｂｓｉｎ（θ＋β）Ｗ２Ｗ４軸…Ｖｄ＝ω²Ｂ′ｃｏｓ（θ＋β′）このように、制振データにω²を掛けることにより、回
転速度が０から目的の回転速度まで連続的に回転バラン
スをとることができる。なお、ω²は、角度パルスＰ２
をＦ／Ｖ変換器４９により回転速度に比例した電圧ωに
し、このωをアナログ乗算器５０により２乗して得る。

【００３５】図５は、インデックスパルスＰ１（図５
（ａ））と、角度パルスＰ２（図５（ｂ））と、Ｖ１Ｖ
３軸用回転バランス信号Ｖａ（図５（ｃ））との関係
を示したものである。図５（ｄ）に示すように、Ｖ１Ｖ
３軸用回転バランス信号Ｖａは、実際には、角度１度毎
にステップ状に変化している。なお、他の軸用の回転バ
ランス信号とインデックスパルス、角度パルスとの関係
も同様である。

【００３６】このようにして、回転バランス制御回路４
０から、各軸毎の回転バランス信号Ｖａ〜Ｖｄが、各
軸毎の制御回路２０ａ〜２０ｄのＶＩ加算点３１に加え
られる。これにより、ＰＩＤ補償器２８からの制御電圧
に対して回転バランス信号が重畳され、本来の励磁電流
に対して制振用励磁電流が重畳されることになる。そし
て、制振用励磁電流によって、回転体１０の不釣合によ
って生じる遠心力を打ち消すための力が電磁石より発生
され、回転体１０の振動が抑制される。

【００３７】次に、回転バランス調整の手順について説
明する。まず通常の機械的方法で、回転体１０にわずかな残留
不釣合が存在する状態までバランス調整を行う。次に、回転体１０を目的の速度で回転させる。

【００３８】次に、Ｖ１Ｖ３軸の変位センサ２３ａ、
２３ｂの出力をオシロスコープで見ながら、Ｖ１Ｖ３軸
に与える回転バランス信号Ｖａの振幅Ａおよび位相α
の値を変えていき、変位センサ２３ａ、２３ｂにより検
出される振動波形が最小になるところを求める。振幅Ａ
および位相αの値の変更は、オペレータが操作パネル４
２からマイクロコンピュータ４１に数値を与えることに
より行う。

【００３９】マイクロコンピュータ４１は、この数値が
与えられるとＡｓｉｎ（θ＋α）を計算する。計算が終
了したらセレクタ４５をＡＤ１側に切り換えて、記憶装
置４３の必要な部分を書換える。書換え後、セレクタ４
５をＡＤ２側に切り換えて最初の状態に戻す。書き換え
中は非制御状態になるが書き換えに要する時間は通常
０．０１秒程度なので回転に与える影響は少ない。Ｗ１
Ｗ３軸に関しては、制振データがＡ′ｃｏｓ（θ＋
α′）となるが、振幅と位相の値はＶ１Ｖ３軸と大体同
じになるので簡単に最良値が求まる。

【００４０】同様にＶ２Ｖ４軸、Ｗ２Ｗ４軸に関しても
調整を行う。残留不釣合程度の場合、軸相互の干渉は少
なく、各軸はほぼ独立とみなせるので調整は比較的簡単
である。各軸すべての振幅および位相の最適値が求まったら、
それらの値をマイクロコンピュータ４１内の不揮発メモ
リに書き込んでおく。

【００４１】上述のようにして一度調整すれば、その
次からはすでに求めてある振幅および位相の値を使用す
れば良い。以上説明したように、本実施例によれば、回転体１０を
幾何学的中心軸回りに回転させながら、回転体１０の不
釣合による振動をほぼ完全に抑制することができる。

【００４２】また、実際に回転体１０を回転させた動作
状態で、変位センサ２３ａ、２３ｂの出力を見ながら、
振動が最低になるように回転バランス調整ができるので
非常に精度良く調整できる。また、操作パネル４２から
各軸毎の回転バランス信号の振幅と位相を入力するだけ
で回転バランス調整ができるので、調整作業が非常に容
易である。

【００４３】また、振動抑制のための構成を、非常に簡
単な回路構成で実現することができる。また、大部分が
デジタル回路なので再現性、長期安定性が良い。なお、
本発明は、上記実施例に限定されず、例えば、回転バラ
ンス調整を行う場合、マイクロコンピュータ４１によっ
て各軸毎の回転バランス信号の振幅と位相の合計８つの
変数を順に変えて、各変数毎に変位センサの出力が最小
となる値を決定していくようして、回転バランス調整を
自動化しても良い。

【００４４】また、実施例では、回転バランス信号を１
度ごとに変えるようにしたが、より細かく、あるいはよ
り粗く変えるようにしても良い。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、記
憶手段によって、回転体の回転位置に応じて回転体の不
釣合によって生じる遠心力を打ち消すための力を電磁石
より発生させる制振用励磁電流に対応した制振データを
記憶し、この制振データに基づいて、回転バランス制御
手段によって、回転体の回転位置に応じた制振用励磁電
流を、電磁石制御回路による励磁電流に重畳するように
したので、回転体を幾何学的中心軸回りに回転させなが
ら、回転体の不釣合による振動を抑制することができる
という効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の磁気軸受における振動抑制
の原理を説明するための説明図である。

【図２】本発明の一実施例の磁気軸受の制御回路の構成
を示すブロック図である。

【図３】本発明の一実施例の磁気軸受における回転バラ
ンス制御回路の構成を示すブロック図である。

【図４】図３における制振データテーブル用記憶装置内
の制振データテーブルの内容を示す説明図である。

【図５】図３の回転バランス制御回路におけるインデッ
クスパルスと角度パルスと回転バランス信号との関係を
示す波形図である。

【図６】本発明の一実施例の磁気軸受における軸を示す
説明図である。

【図７】本発明の一実施例の磁気軸受における電磁石等
の配置を示す説明図である。

【符号の説明】

１０回転体Ｖ１〜Ｖ４、Ｗ１〜Ｗ４電磁石２０ａ〜２０ｄ制御回路２３ａ、２３ｂ変位センサ４０回転バランス制御回路４１マイクロコンピュータ４２操作パネル４３制振データテーブル用記憶装置４４角度カウンタ４８ａ〜４８ｄＤＡコンバータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転体を磁気浮上させるための電磁石
と、回転体の変位を検出するセンサと、回転体を所定の位置に保持するために、前記センサの出
力に基づいて前記電磁石の励磁電流を制御する電磁石制
御回路と、回転体の回転位置に応じて回転体の不釣合によって生じ
る遠心力を打ち消すための力を前記電磁石より発生させ
る制振用励磁電流に対応した制振データを記憶する記憶
手段と、この記憶手段に記憶された制振データに基づいて、回転
体の回転位置に応じた制振用励磁電流を、前記電磁石制
御回路による励磁電流に重畳する回転バランス制御手段
とを具備することを特徴とする磁気軸受。