JP2010221186A - 塗布装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布物の塗布断面形状を均一にすることが可能な塗布装置及び塗布体の製造方法を提供すること。
【解決手段】塗布装置１は、基板Ｗに対向配置され、基板Ｗにシール剤を噴射する複数のノズル５０が一列に配設された保持部４９が回動自在に設けられた塗布ヘッド３１と、複数のノズル５０からシール剤を吐出可能に形成された圧力印加手段５１と、塗布ヘッド３１又は基板Ｗの少なくとも一方を、直線部Ｐ１及び曲線部Ｐ２を有する塗布形状Ｐに沿って移動させるＸ方向移動装置３３及びＹ方向移動装置２３と、複数のノズル５０を回動可能に形成され、曲線部Ｐ２において、保持部４９を回動させることで、複数のノズル５０の配設方向を曲線部５２の径方向と平行にするθ方向駆動機構３６と、を備える構成とした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、シール剤等の液滴を塗布体に塗布する塗布装置及び塗布体の製造方法に関する。

現在、シール剤、接着剤又は液晶の封止膜のペースト等の塗布物を基板等のワーク（塗布体）上に塗布する塗布装置として、例えば、塗布物収納筒（シリンジ）等のカートリッジを用いたヘッドを有する塗布装置が知られている。このような塗布装置は、カートリッジが接続されたノズルをヘッドの下面に設け、所定の位置にワークを移動させながら、ノズル先端から塗布物を吐出することで、ワーク上に液滴を塗布する。

また、単体のノズルを有し、カートリッジを、新たなカートリッジにセットした場合に、ノズルとワークとの間隔を高精度で保持することが可能な塗布装置も知られている。（例えば、特許文献１参照）。

特開平０５―０１５８１９号公報

上述した塗布装置では、以下の問題があった。即ち、単体のノズルを用いた場合では、ノズルの径から、液滴の塗布幅が決定する。このため、単体のノズルを用いた液滴の塗布幅は所定の塗布幅となる。しかし、単体のノズルでは、所定の塗布幅が得られない場合もある。このため、複数のノズルをヘッドに一列に配置させて、塗布幅を塗布装置も知られている。しかし、直交する２方向へ移動させてワーク上に液滴を塗布する場合、一方向から他方向へ半径部を介して塗布する塗布形状であると、一方向では、複数のノズルの配置方向と塗布方向とが直交するため、複数のノズル幅の液滴がワーク上に塗布されるが、他方向では、ノズルの配置方向と塗布方向とが沿って単体のノズル幅の液滴しか塗布されない。

このため、一方向から他方向へ半径部を有する塗布形状では、一方向から他方向に向うにつれて、塗布形状の幅が狭くなる、という問題がある。これを防止するために、例えば、単体のノズルで、塗布形状と平行な塗布形状に複数回ペーストを塗布することも考えられる。しかし、単体のノズルで塗布形状を平行に移動させた場合には、塗布されたペーストの断面が、均等でない等、断面に斑ができる問題もある。

そこで本発明は、均一な塗布断面形状が得られる塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することを目的としている。

前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の塗布装置及び塗布体の製造方法は、次のように構成されている。

本発明の一態様として、塗布体に対向配置され、前記塗布体に液滴を噴射する複数のノズルが一列に配設された塗布ヘッドと、前記複数のノズルから前記液滴を噴射可能に形成された加圧手段と、前記塗布ヘッド又は前記塗布体の少なくとも一方を、直線部及び曲線部を有する前記液滴の塗布形状に沿って移動させる移動手段と、前記複数のノズルを前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動可能に形成され、前記曲線部において、前記複数のノズルを回動させることで、前記複数のノズルの配設方向を前記曲線部の径方向と平行にする回動手段と、を備えることを特徴とする塗布装置が提供される。

本発明の一態様として、複数のノズルが一列に配設された塗布ヘッドから塗布体に液滴を噴射して塗布体を製造する塗布体の製造方法において、前記塗布ヘッドを、前記液滴の曲線部を有する塗布形状に沿って移動させる工程と、前記ノズルから前記前記液滴を噴射させる工程と、前記塗布形状の曲線部において、前記複数のノズルを前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させることで、前記複数のノズルの配設方向を前記曲線部の径方向と平行にする工程と、を備えることを特徴とする塗布体の製造方法が提供される。

本発明によれば、塗布物の塗布断面形状を均一にすることが可能な塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することが可能となる。

本発明の一実施の形態に係る塗布装置の構成を示す斜視図。 同塗布装置の塗布ヘッドの構成を模式的に示す説明図。 同塗布ヘッドを下面側から示す平面図。 同塗布装置を用いたワークへの塗布の一例を示す説明図。 同塗布装置を用いたワークへの塗布の一例を示す説明図。 同塗布装置を用いたワークへの塗布時の各ノズルの軌跡を模式的に示す説明図。

以下、本発明の一実施の形態に係る塗布装置１を図１〜６を用いて説明する。

図１は本発明の一実施の形態に係る塗布装置１の構成を示す斜視図、図２は同塗布装置１に用いられる塗布ヘッド３１の構成を模式的に示す説明図、図３は同塗布ヘッド３１を下面側から示す平面図、図４は同塗布装置１を用いたワークＷへの塗布物の塗布の一例を示す説明図、図５は同塗布装置１を用いたワークＷへの塗布物の塗布の一例を示す説明図、図６は同塗布装置１を用いたワークＷへの塗布物の塗布時の各ノズル５０の軌跡を模式的に示す説明図である。なお、図１〜６中、Ｂは制御系のバスラインを、Ｏは曲線部Ｐ２の中心を、Ｐは塗布形状を、Ｖは信号線を、Ｗはワークを、矢印Ｘ、Ｙ及びＺはそれぞれ直交する３方向を、矢印θはＺ方向を中心に回転する回転方向をそれぞれ示している。

図１に示すように、塗布装置１は、ベース１０と、支持体１１と、制御装置１２と、を備えている。塗布装置１は、例えば、基板等のワーク（塗布体）Ｗ上に、シール剤や接着剤等の塗布物（以下、「シール剤」として説明）を塗布可能に形成されている。

ベース１０は、複数の脚部をその下面に有している。ベース１０は、ステージ２０と、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）装置２１と、Ｙ方向ガイドレール２２と、Ｙ方向移動装置（移動手段）２３と、を備えている。

ステージ２０は、その上面にシール剤を塗布するワークＷ等を略水平に保持可能に形成されている。Ｉ／Ｆ装置２１は、ベース１０の内部に設けられている。Ｉ／Ｆ装置２１は、各構成品と電気的に接続されている。また、Ｉ／Ｆ装置２１は、制御装置１２と電気的に接続可能に形成されている。即ち、Ｉ／Ｆ装置２１は、各構成品と制御装置１２とを電気的に接続する装置である。

Ｙ方向ガイドレール２２は、ステージ２０の図１中のＹ方向への移動をガイド可能に形成されている。Ｙ方向移動装置２３は、モータを有している。Ｙ方向移動装置２３は、このモータにより、Ｙ方向ガイドレール２２に沿ってステージ２０をＹ方向に往復動可能に形成されている。

即ち、ステージ２０は、Ｙ方向移動装置２３によりＹ方向に移動することで、その上部に載置されたワークＷを移動させることとなる。なお、Ｙ方向移動装置２３は、例えばモータの回転をステージ２０の直線移動に変換する送りねじ等で形成され、制御装置１２に電気的に接続されている。

支持体１１は、ベース１０の上面であって、Ｙ方向ガイドレール２２を挟んで（Ｙ方向と直交して）相対する辺部側からそれぞれ略鉛直方向（図１中のＺ方向）に立設される柱部２６と、これら柱部２６の上端側を連続させるＸ方向に延設された梁部２７とにより形成されている。即ち、支持体１１は、柱部２６と梁部２７によりブリッジ状に形成されている。また、支持体１１は、Ｘ方向ガイドレール２９と、ヘッド駆動装置３０と、塗布ヘッド３１と、を備えている。

Ｘ方向ガイドレール２９は、柱部２６間であってＸ方向に延設されている。また、Ｘ方向ガイドレール２９は、複数本、図１では３本の軌条である軸体又は棒体等により形成されている。

ヘッド駆動装置３０は、Ｘ方向ガイドレール２９に移動可能に複数設けられている。なお、図１中の塗布装置１では、ヘッド駆動装置３０は４台設けられたものが図示されているが、これに限定されない。

ヘッド駆動装置３０は、Ｘ方向ガイドレール２９に沿って、Ｘ方向に移動可能に形成されたＸ方向移動体３２と、Ｘ方向移動体３２をＸ方向ガイドレール２９に沿ってＸ方向に移動させるＸ方向移動装置（移動手段）３３と、を備えている。なお、Ｘ方向移動装置３３は、制御装置１２に電気的に接続されている。

塗布ヘッド３１は、ヘッド駆動装置３０に設けられている。詳しく述べると、図２に示すように、塗布ヘッド３１は、Ｚ方向ガイドレール３５を有するＺ方向移動装置３６と、ヘッド３７と、を備えている。

Ｚ方向ガイドレール３５は、例えば、雄ネジ部が設けられた棒体が用いられる。Ｚ方向移動装置３６は、モータ部３８と、ヘッド３７に固定されるとともに、Ｚ方向ガイドレール３５に設けられた移動体３９と、を備えている。

モータ部３８は、Ｉ／Ｆ装置２１を介して制御装置１２に接続され、制御装置１２により駆動されることで、Ｚ方向ガイドレール３５を回転駆動可能に形成されている。また、例えば、モータ部３８は、ヘッド駆動装置３０に設けられる。これにより、塗布ヘッド３１とヘッド駆動装置３０とは、接続することとなる。

移動体３９は、その内部にＺ方向ガイドレール３５の雄ねじ部が螺合する雌ネジ部が形成されている。移動体３９は、Ｚ方向ガイドレール３５がモータ部３８により回転駆動することで、Ｚ方向（上下）に移動可能に形成されている。

ヘッド３７は、移動体３９に固定されたＺ軸ブラケット４１と、Ｚ軸ブラケット４１に設けられた塗布機構４２と、塗布機構４２を回動可能なθ方向回動機構（回動手段）４３と、Ｚ軸ブラケット４１の上部に設けられた箱体４４と、を備えている。

Ｚ軸ブラケット４１は、移動体３９に固定されることで、移動体３９に合わせてＺ方向に移動可能（昇降可能）に形成されている。Ｚ軸ブラケット４１は、θ方向回動機構４３の一部を固定させる固定部４５と、この固定部４５と箱体４４とを連結し、且つ、移動体３９を固定させる連結部４６と、を備えている。

塗布機構４２は、空気圧によりシール剤を吐出（噴射）することでワークＷに塗布可能に形成されている。具体的には、塗布機構４２は、複数のシリンジ４８と、シリンジ４８を保持するとともに、その内部において塗布体を移動させる保持部４９と、保持部４９に設けられた複数のノズル５０と、シリンジ４８内部へ圧力を印加する圧力印加手段（加圧手段）５１と、を備えている。

シリンジ４８は、シール剤を収納する塗布物収納筒であって、保持部４９に着脱可能なカートリッジタイプに形成されている。このようなシリンジ４８は、内部のシール剤がなくなった場合に、シール剤が充填されているシリンジ４８と交換可能に形成されている。

保持部４９は、シリンジ４８を固定するとともに、シリンジ４８とノズル５０とを連結可能に形成されている。即ち、保持部４９は、シリンジ４８から吐出されたシール剤をノズル５０へ移動させる流通路４９ａをその内部に有している。

ノズル５０は、保持部４９に着脱自在に設けられている。ノズル５０は、シリンジ４８と同数設けられ、これらノズル５０が一列に配設されている。ノズル５０は、シリンジ４８から吐出されたシール剤を吐出（噴射）可能に形成されている。

圧力印加手段５１は、シリンジ４８内部に圧力を印加することで、シリンジ４８内に充填されたシール剤を、流通路４９ａを介してノズル５０から吐出可能に形成されている。圧力印加手段５１は、例えば、ベース１０内に設けられ、二次側へ圧縮した空気を送る空気圧縮手段５２と、圧縮された空気の圧力を各配管５４毎に調整可能なレギュレータ５３と、このレギュレータ５３に接続された配管５４と、この配管５４を収納・配置する箱体４４と、を備えている。

また、圧力印加手段５１は、配管５４に接続された流路をその内部に有するロータリージョイント５６と、このロータリージョイント５６の側面に設けられ、シリンジ４８に接続されるホース５７と、を備えている。空気圧縮手段５２は、例えば、圧電素子により駆動するダイアフラムが用いられる。

θ方向回動機構４３は、ロータリージョイント５６と、ＤＤ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｄｒｉｖｅ）モータ５８と、接続部５９と、シリンジ４８の保持部４９とにより構成されている。図３に示すように、θ方向回動機構４３は、ＤＤモータ５８の回動により、保持部４９をθ方向へ回動可能に形成されている。

ここで、θ方向回動機構４３により保持部４９が回動すると、図３の二点鎖線に示すように、前記噴射方向に平行な軸を中心にノズル５０が回動する。これにより、複数のノズル５０の配設方向が、回動することとなる。

ロータリージョイント５６は、例えば、回転軸である２つの軸体５６ａ、５６ｂにより構成されている。ロータリージョイント５６は、一方の軸体５６ａが箱体４４に固定され、他方の軸体５６ｂが回動可能に形成されている。ロータリージョイント５６は、その内部に空気の流通路を備えている。また、ロータリージョイント５６の他方の軸体５６ｂの側面には、シリンジ４８と接続されるホース５７の取付部が設けられている。また、ロータリージョイント５６は、回動時であっても、流通路と配管５４との接続を維持可能に形成されている。

ＤＤモータ５８は、その回転軸の方向がＺ方向となるように固定部４５に固定されている。ＤＤモータ５８は、制御装置１２に接続されている。また、ＤＤモータ５８は、その内部に保持部４９の一部を軸支可能に形成されている。

ＤＤモータ５８は、制御装置１２により駆動されると、Ｚ方向を回転軸の方向として、保持部４９をθ方向に回動可能に形成されている。即ち、保持部４９は、保持部４９回動時に、シリンジ４８も回動可能に、シリンジ４８を保持可能に形成されるとともに、ＤＤモータ５８に軸支されている。

接続部５９は、保持部４９とロータリージョイント５６とを連結させるとともに、シリンジ４８に干渉しない形状に形成されている。即ち、接続部５９は、ＤＤモータ５８により保持部４９が回動したときに、ロータリージョイント５６の他方の軸体５６ｂも合わせて回動するように、保持部４９とロータリージョイント５６とを接続する。

箱体４４は、Ｚ軸ブラケット４１と結合されている。箱体４４は、例えば、圧力印加手段５１に接続された配管５４の一部が設けられている。また、箱体４４は、θ方向回動機構４３の一部であるロータリージョイント５６の一方の軸体５６ａを固定可能、且つ、配管５４とロータリージョイント５６とを接続可能に形成されている。

制御装置１２は、例えばパーソナルコンピュータが用いられ、塗布装置１の各構成部を制御可能な制御機能を有している。制御装置１２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等の制御部６５を備えている。

制御装置１２は、記憶媒体である記憶部６６と、記憶部６６に記憶された情報、及び、塗布ヘッド３１の位置の情報を適宜表示可能なディスプレイ等の表示部（出力手段）６７と、外部情報を入力するキーボードやマウス等の入力装置６８とを備えている。

制御装置１２は、Ｉ／Ｆ装置２１を介して各構成品と信号線Ｖで接続するためのインターフェイス（Ｉ／Ｆ）６９を備えている。これにより、制御装置１２は、ベース１０内、及び、ベース１０上に設けられた各構成品と信号線Ｖを介して信号の通信が可能に形成されている。

これら制御装置１２の各構成品は、制御部６５にアドレスバス、データバス等のバスラインＢにより接続されている。なお、制御装置１２は、パーソナルコンピュータではなく、ベース１０内部に設けられた表示部６７を有さない制御ボックスであってもよい。即ち、塗布装置１の各構成部が制御可能であればよい。

記憶部６６は、基本プログラム等の固定的データが予め格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、及び、各構成品の制御機能のプログラムデータ等の格納エリアが形成されたＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を備えている。

記憶部６６には、下記（１）〜（４）の制御機能のプログラムが少なくとも記憶されている。

（１）ノズル５０からのシール剤の吐出を制御する吐出制御機能
（２）Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動装置３３，２３，３６によるステージ２０、ヘッド駆動装置３０及び塗布ヘッド３１の移動制御機能
（３）塗布ヘッド３１のオフセット角度の角度制御機能
（４）圧力印加手段５１によリ各シリンジ４８へ印加する圧力の圧力制御機能
なお、制御機能は、（１）〜（４）だけではなく、塗布装置１の構成により適宜有している。

制御部６５は、上記制御機能（１）〜（４）により、各構成品を制御可能に形成されている。また、制御部６５は、これら制御機能（１）〜（４）により移動したステージ２０及び塗布ヘッド３１の位置を認識可能に形成されている。

また、制御部６５は、θ方向回動機構４３を駆動させる回動制御信号をθ方向駆動機構に送信可能に形成されるとともに、この回転制御信号により回転駆動された塗布ヘッド３１の位置を認識可能に形成されている。

次に、上述した制御装置１２の記憶部６６に記憶された制御機能（１）〜（４）について説明する。なお、これら制御機能（１）〜（４）は、制御装置１２により各構成品を制御する機能である。

制御機能（１）である吐出制御機能は、圧力印加手段５１の空気圧縮手段５２を駆動、停止させて、ノズル５０から吐出されるシール剤を制御する機能である。この吐出制御機能は、記憶部６６内に予め記憶されたワークＷ上面に塗布されるシール剤の量及び塗布する位置の情報に基いて、吐出制御の信号を圧電素子に信号線Ｖを介して送信するものである。このように、吐出制御機能は、塗布を行う御出制御の信号を受けた空気圧縮手段５２の圧電素子がダイアフラムを押し引きすることで、シリンジ４８内に所定の圧力を印加し、シリンジ４８内のシール剤をノズル５０から吐出（噴射）させる機能である。

制御機能（２）である移動制御機能は、Ｘ方向移動装置３３、Ｙ方向移動装置２３、Ｚ方向移動装置３６によるステージ２０及び塗布ヘッド３１の移動の制御を行なう機能である。

この移動制御機能は、ワークＷ上面に塗布するシール剤の情報に基いて、シール剤が定められたワークＷ上面に塗布されるように、Ｘ方向移動装置３３、Ｙ方向移動装置２３、Ｚ方向移動装置３６を駆動させる。これらＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向移動装置３３，２３，３６により、ステージ２０及び塗布ヘッド３１が移動することで、塗布ヘッド３１のノズル５０をワークＷ上面の所定位置に配置させる制御機能である。

なお、制御部６５は、Ｙ方向移動装置２３を駆動させることで、Ｙ方向の任意の位置までステージ２０（ワークＷ）を移動させる。また、制御部６５は、Ｘ方向移動装置３３を駆動させることで、塗布ヘッド３１が設けられたヘッド駆動装置３０をＸ方向の任意の位置まで移動させる。

さらに、制御部６５は、Ｚ方向移動装置３６を駆動させることで、ヘッド３７を所定の高さに移動させる。即ち、制御部６５は、Ｚ方向移動装置３６を駆動させることで、図４の実線Ｍに示すシール剤の塗布断面形状ように、シール剤がワークＷ上に最良の範囲で塗布できるＺ方向の高さの調整を行なう。

このように、移動制御機能は、ワークＷ上面に塗布するシール剤の情報に基いて、ステージ２０及び塗布ヘッド３１を所定の位置まで移動及び配置させる機能である。

制御機能（３）である角度制御機能について説明する。角度制御機能は、塗布するシール剤の塗布形状Ｐに基いて塗布ヘッド３１のオフセット角度を制御する機能である。即ち、θ方向回動機構４３を駆動させることで、塗布ヘッド３１の複数のノズル５０が設けられた保持部４９を回動させる。

詳しく説明すると、シール剤の塗布形状によっては、ステージ２０（ワークＷ）をＸ方向とＹ方向に移動させながらノズル５０からシール剤を吐出して、ワークＷ上にシール剤を塗布する。このようなＸ方向とＹ方向とにワークＷを移動させてシール剤をワークＷに塗布する場合には、図５に示すように、塗布するシール剤の塗布形状Ｐが、直線部Ｐ１と曲線（円弧）部Ｐ２と、を有することがある。

制御装置１２は、角度制御機能として、塗布形状Ｐの直線部Ｐ１にシール剤を塗布する場合に、入力装置６８から入力された塗布形状Ｐの軌跡の進行方向（塗布方向）に対して直交する方向に複数のノズル５０の配設方向を配置させる。具体的には、制御部６５は、複数のノズル５０の配設方向が、直線部Ｐ１の塗布方向に対して直交するように、ＤＤモータ５８を駆動して保持部４９を回動させる。

また、制御装置１２は、角度制御機能として、塗布形状Ｐの曲線部Ｐ２にシール剤を塗布する場合に、ノズル５０の角度を制御しながら、ＤＤモータ５８を駆動することで、保持部４９を曲線部Ｐ２の形状に合わせてθ方向に回動させる。

具体的には、図５に示すように、制御部６５は、曲線部Ｐ２の回転中心Ｏを通るＸ方向（又はＹ方向）を基準として、曲線部Ｐ２の回転角度と対応する角度にＤＤモータ５８を駆動して保持部４９をθ方向に回動させ、ノズル５０の角度を制御させる。即ち、制御部６５は、ヘッド３７が曲線部Ｐ２の移動時に、曲線部Ｐ２の径（半径）方向と複数のノズル５０の配設方向とが平行となるように、ＤＤモータ５８を駆動して、保持部４９をθ方向に回動させる。

次に、制御装置１２が有する制御機能（４）について説明する。
制御機能（４）は、圧力印加手段５１によリ各シリンジ４８へ印加する圧力をそれぞれ制御する圧力制御機能である。以下、圧力制御機能について説明する。

所定の塗布形状Ｐにシール剤を塗布する場合には、制御機能（２）を用いて、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動装置３３，２３，３６を駆動し、シール剤の塗布形状Ｐに合わせてワークＷ及び塗布ヘッド３１を移動させる。また、塗布形状Ｐの直線部Ｐ１及び曲線部Ｐ２おいて、制御機能（３）を用いてヘッド３７をθ方向に回動させる。さらに、塗布形状Ｐの真上にノズル５０が位置した際に、制御機能（１）を用いて、空気圧縮手段５２により、シリンジ４８内に圧力を印加し、ノズル５０からシール剤を吐出する。このようにして、シール剤がワークＷ上に塗布される。

しかし、図５，６に示すように、曲線部Ｐ２においては、複数のノズル５０を有する一つのヘッド３７を用いてシール剤を塗布するため、ヘッド３７の曲線形状の外側（外径側）に位置するノズル５０ａは、曲線形状の内側（内径側）に位置するノズル５０ｃよりもその移動速度が速くなる。

即ち、このような曲線部に各ノズル５０の移動距離は、円弧形状の外径側と内径側とで異なる。外径側のノズル５０ａの移動距離は、内径側のノズル５０ｃの移動距離よりも多くなる。このため、外径側のノズル５０ａの移動速度は、内径側のノズル５０ｃの移動速度に比べ速くなる。これらのことから、圧力印加手段５１により、全てのシリンジ４８に同一圧力を印加した場合には、その塗布形状及び塗布厚さ等の塗布断面積が各ノズル５０によって異なる。

ノズル５０の移動速度が速い場合には、塗布断面積が小さくなり、ノズル５０の移動速度が遅い場合には、塗布断面積は大きくなる。このため、図４の二点鎖線Ｎで示すシール剤の塗布断面形状に示すように、曲線部のシール剤の塗布断面形状は対称形状でなく、その高さが内側で高く、外側で低い形状となる。

例えば、図６に示すように、３つ設けられたノズル５０の中央のノズル５０ｂの塗布速度をｖ、回転半径をｒとし、外径側のノズル５０の塗布速度をｖ´、回転半径をｒ´とすると、外径側のノズル５０の塗布速度ｖ´＝（ｒ´／ｒ）ｖの関係となる。なお、図６に示す一点鎖線の矢印は、各ノズル５０の塗布形状Ｐに沿った移動の軌跡を示している。

このため、中央のノズル５０ｂにより塗布されるシール剤の塗布断面積Ｓと外径側のノズル５０により塗布されるシール剤の塗布断面積Ｓ´との関係は、
Ｓ´＝（ｖ´／ｖ）Ｓ＝（ｒ´／ｒ）Ｓ
の関係となる。このことから、制御機能（４）として、制御部６５は、空気圧縮手段５２から所定の圧力に圧縮された空気を、レギュレータ５３を用いて制御する。

即ち、制御部６５は、各ノズル５０ａ〜５０ｃから吐出されるシール剤が曲線部の塗布であっても、塗布断面積が一定となる圧力となるように、シリンジ４８に印加される圧力を、レギュレータ５３を制御することで調整する。

具体的には、制御部６５は、曲線部Ｐ２の外径側のノズル５０ａから噴射するシール剤を、曲線部Ｐ２の内径側のノズル５０ｃから噴射するシール剤よりも高い圧力で噴射させるために、圧力印加手段５１により、ノズル５０ａに接続されたシリンジ４８にノズル５０ｃに接続されたシリンジ４８よりも高い圧力を印加する。

なお、ノズル５０に印加する圧力は、ノズル５０の形状、シリンジ４８の形状及び圧力印加手段５１の能力等により適宜変更になるため、その詳細は省略する。

このように構成された塗布装置１を用いてワークＷにシール剤を塗布する塗布体の製造方法（塗布方法）について説明する。
まず、ワークＷに塗布したい塗布形状を、制御装置１２の入力装置６８から任意に設定する。制御装置１２は、移動制御機能として、入力装置６８から入力された塗布形状、及び、記憶部６６に記憶されたプログラムにより、ワークＷを載置固定したステージ２０及び塗布ヘッド３１を塗布形状の軌跡に沿って移動させる。

制御装置１２は、ステージ２０及び塗布ヘッド３１の直線的な移動に合わせて、吐出制御機能として、ワークＷが所定の位置に移動した際に、ノズル５０からシール剤を吐出させる。このように制御装置１２は、ワークＷ上にシール剤を塗布させる。

制御装置１２は、塗布形状の曲線部において、曲線部（円弧）の半径と、移動距離から、角度制御機能として、ＤＤモータ５８を駆動し、保持部４９を回動させて、ノズル５０の角度を変更させながら、ワークＷにシール剤を塗布する。

また、この際に、制御装置１２は、圧力制御機能として、圧力印加手段５１により、円弧形状の外径側、及び、円弧形状の内径側のシリンジ４８に印加する圧力に差を設けながら、ノズル５０（５０ａ〜５０ｃ）からシール剤を吐出し、ワークＷにシール剤を塗布させる。制御装置１２は、圧力制御機能により、レギュレータ５３を制御し、各ノズル５０から吐出されたシール剤の塗布断面形状が一定となるように各シリンジ４８に印加する圧力を調整する。これにより、制御装置１２により、シール剤がワークＷ上に、塗布断面積一定で塗布される。

このように構成された塗布装置１によれば、制御装置１２により、塗布形状Ｐに合わせて、塗布ヘッド３１のノズル５０の角度を変更するとともに、各ノズル５０から吐出する圧力を制御することで、ワークＷ上に、入力装置６８から入力した塗布形状Ｐでシール剤を塗布可能となる。

また、制御装置１２は、圧力印加手段５１により、曲線部Ｐ２の外径側に対応するノズル５０ａに接続されたシリンジ４８に、内径側に対応するノズル５０ｃに接続されたシリンジ４８よりも強い圧力を印加させる。これにより、外径側のノズル５０ａと内径側のノズル５０ｃとの移動速度の差による塗布断面形状の不均一を防止し、各ノズル５０から吐出されるシール剤の量を制御（調整）することが可能となる。

このため、図４の実線Ｍに示すように、シール剤の塗布断面積を一定とすることが可能となる。即ち、塗布装置１は、ノズル５０の位置及びノズル５０から吐出するシール剤の量を、塗布形状から制御することで、目標とする塗布形状に確実に合わせて塗布することが可能となる。

これにより、シール剤の塗布量のばらつきを防止することが可能となる。シール剤を用いる場合には、シール機能を確実に得ることができる塗布断面積（膜厚）で一定に塗布形状に塗布することで、製造したワーク（塗布体）Ｗの信頼性を向上させることが可能となる。また、シール剤でない塗布物（液滴）であっても、所定の塗布断面積で、確実に塗布物を塗布することが可能となる。これにより、製造する製品（ワークＷ）の精度の向上となり、信頼性を向上することが可能となる。

上述したように、本実施の形態に係る塗布装置１によれば、塗布物を塗布断面積一定に塗布することが可能となり、塗布物の塗布断面形状を均一にすることが可能となる。また、塗布物を所定の塗布形状に塗布することが可能となる。

これにより、塗布物を精度良く塗布可能な塗布装置１を提供することが可能となる。所定の塗布形状に確実に塗布することが可能となることから、所定の塗布形状に精度良く塗布された塗布体を製造することが可能となる。

なお、上述した発明の形態以外の変形例について説明する。例えば、上述した例では、入力装置６８により入力した塗布形状に基いてシリンジ４８に印加する圧力、及び、ノズル５０の角度を変更するとしたが、入力された塗布形状だけでなく、認識カメラ装置をさらに用いてもよい。例えば、ワークＷ上に、目印を設け、この目印により、より精度良くワークＷの位置を把握する構成としてもよい。

さらに、上述した例では、移動手段は、塗布ヘッド３１を駆動するＸ方向移動装置３３と、ステージ２０を駆動するＹ方向移動装置２３とにより構成されているが、これに限定されない。例えば、上述したステージ２０は、Ｙ方向移動装置２３によりＹ方向ガイドレール２２に沿ってＹ方向に移動される構成であるが、Ｙ方向移動装置及びＹ方向ガイドレールをヘッド駆動装置に設ける構成としてもよい。即ち、ステージ２０は固定とし、ヘッド駆動装置により、塗布ヘッド３１のＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向の全てを移動させる構成でもよい。

また、塗布ヘッド３１を駆動するＸ方向移動装置３３はそのままで、ステージ２０にＸ方向とＹ方向へ駆動する移動装置を付加してもよい。さらに、Ｚ方向移動装置は、ステージ２０の下方に設け、ステージ２０自体が上下（Ｚ方向）に移動可能な構成でもよい。所定の塗布形状に沿ってステージ２０（ワークＷ）及び塗布ヘッド３１の各ノズル５０の少なくとも一方を移動可能であればよく、上述の構成以外であってもよい。

また、上述した例では、制御機能（３）である角度制御機能は、塗布形状の曲線部に応じて、ヘッド３７をθ方向に回動させるとしたが、これは、入力装置６８から入力された塗布パターンに応じて、Ｘ方向及びＹ方向を同期させても良いし、塗布装置１によりワークＷへ塗布される塗布時間に基いて、所定の時間経過後に、ヘッド３７を回動させてもよい。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１…塗布装置、１０…ベース、１１…支持体、１２…制御装置、２０…ステージ、２１…インターフェイス装置（Ｉ／Ｆ装置）、２２…Ｙ方向ガイドレール、２３…Ｙ方向移動装置、６…柱部、２７…梁部、２９…Ｘ方向ガイドレール、３０…ヘッド駆動装置、３１…塗布ヘッド、３２…Ｘ方向移動体（移動手段）、３３…Ｘ方向移動装置、３５…Ｚ方向ガイドレール、３６…Ｚ方向移動装置、３７…ヘッド、３８…モータ部、３９…移動体、４１…Ｚ軸ブラケット、４２…塗布機構、４３…θ方向回動機構、４４…箱体、４５…固定部、４６…連結部、４８…シリンジ、４９…保持部、４９ａ…流通路、５０、５０ａ〜５０ｃ…ノズル、５１…圧力印加手段（加圧手段）、５２…空気圧縮手段、５３…レギュレータ、５４…配管、５６…ロータリージョイント、５６ａ…一方の軸体、５６ｂ…他方の軸体、５７…ホース、５８…ＤＤモータ、５９…接続部、６５…制御部ｍ６６…記憶部、６７…表示部、６８…入力装置、６９…インターフェイス、Ｂ…バスライン、Ｏ…曲線部の回転中心、Ｐ…塗布形状、Ｐ１…直線部、Ｐ２…曲線部、Ｖ…信号線、Ｗ…ワーク（都府体）。

Claims (5)

1. 塗布体に対向配置され、前記塗布体に液滴を噴射する複数のノズルが一列に配設された塗布ヘッドと、
   前記複数のノズルから前記液滴を噴射可能に形成された加圧手段と、
   前記塗布ヘッド又は前記塗布体の少なくとも一方を、直線部及び曲線部を有する前記液滴の塗布形状に沿って移動させる移動手段と、
   前記複数のノズルを前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動可能に形成され、前記曲線部において、前記複数のノズルを回動させることで、前記複数のノズルの配設方向を前記曲線部の径方向と平行にする回動手段と、
   を備えることを特徴とする塗布装置。
2. 前記加圧手段は、前記複数のノズルから異なる圧力にて液滴を噴射可能に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
3. 前記加圧手段は、前記曲線部において、この曲線部の外径側の前記ノズルから噴射する液滴を、前記曲線部の内径側の前記ノズルから噴射する液滴よりも高い圧力で噴射させることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
4. 複数のノズルが一列に配設された塗布ヘッドから塗布体に液滴を噴射して塗布体を製造する塗布体の製造方法において、
   前記塗布ヘッドを、前記液滴の曲線部を有する塗布形状に沿って移動させる工程と、
   前記ノズルから前記前記液滴を噴射させる工程と、
   前記塗布形状の曲線部において、前記複数のノズルを前記液滴の噴射方向に平行な軸周りに回動させることで、前記複数のノズルの配設方向を前記曲線部の径方向と平行にする工程と、
   を備えることを特徴とする塗布体の製造方法。
5. 前記曲線部において、前記曲線部の外径側の前記ノズルから噴射する液滴を、前記曲線部の内径側の前記ノズルから噴射する液滴よりも高い圧力で噴射させる工程をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の塗布体の製造方法。

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