JP2010219213A - ステンシルマスク及び電子線露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステンシルパターンが形成されるメンブレン領域と、前記メンブレン領域を取り囲むバルク領域と、前記メンブレン領域とバルク領域との境界部であるメンブレンエッジ部と、を備え、前記メンブレンエッジ部は、90°以上の屈折部位がない閉じた線形状であることを特徴とするステンシルマスク、およびそのステンシルマスクを用いて、電子線を照射させることを特徴とする電子線露光方法。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1の実施の形態に係るステンシルマスクを示す概略上面図である。図1に示すように、本発明の第1の実施の形態にかかるステンシルマスクは、メンブレン領域とバルク領域1との境界部であるメンブレンエッジ部8が、「正四角形であり、正四角形の角部は正四角形の一辺の長さの半分の長さの曲率半径で丸められている閉じた線形状」であり、メンブレンエッジ部8は直径Dの円形状を形成している。メンブレンエッジ部8の直径Dはステンシルパターン領域10に近いほど、メンブレン剛性が高まるが、パターン不良の原因となる恐れがある。そこで、プロセスにも依存するが、表裏アライメント露光の重ね精度を考慮して、メンブレンエッジ部8との距離は少なくとも30μm以上あることが望ましい。
本発明の第2の実施の形態に係るステンシルマスクは、メンブレン領域を保持するメンブレンエッジ部が五角形以上の多角形状であり、その多角形の角に鋭角を含まない形をバルク領域内に形成している。メンブレンエッジ部におけるコーナー部の角度を大きくすることにより、バルク領域側から見たメンブレンに対しても、導電膜を均一に成膜することができる。
図3は本発明の第3の実施の形態に係るステンシルマスクを示す概略上面図である。図3に示すように、本発明の第3の実施の形態に係るステンシルマスクは、メンブレン領域を保持するメンブレンエッジ部12が長方形を含む多角形状であり、その多角形の角が丸められている形をバルク領域1内に形成している。図3では多角形として長方形を採用している。メンブレンエッジ部12におけるコーナー部13に丸みを持たせることにより、バルク領域側から見たメンブレンに対しても、導電膜を均一に成膜することができる。ここで、メンブレンエッジ部12におけるコーナー部の丸み13は、曲率半径が100μm以上3000μm以下の範囲内にある程度であればよい。特に、曲率半径が100μm以上の場合、コーナー部の丸みが曲率半径100μmより小さいと導電膜を均質に成膜することが困難であるため、導電膜を形成する構成において好ましい。
本発明の第4の実施の形態に係る電子線露光方法は、上記第1から第3の実施形態におけるステンシルマスクのような円形、鋭角を含まない五角形以上の多角形、または四角形以上の多角形で角が丸い形のステンシルマスクを用い、ステンシルパターン領域内の任意のステンシルパターンを選択して電子線照射を行い、被露光基板に電子線を照射する。これにより、位置寸法やパターン精度に優れた電子線露光が行える。
8…メンブレンエッジ部
10…ステンシルパターン領域
11…補助線
12…メンブレンエッジ部
13…コーナー部の丸み
14…シリコン活性層
15…中間酸化膜
16…支持シリコン基板
17…SOI基板
18…電子線感応性ポジレジスト
19…位置合わせ用レジストマーク
20…レジストパターン
21…表裏合わせマーク用パターン
22…ステンシルパターン
23…感光層
24…メンブレン開口用レジストパターン
25…導電膜
26…ステンシルマスク
31…バルク領域
32…メンブレンエッジ部
33…メンブレン
34…ステンシルパターン
35…メンブレン部
36…補助線
37…メンブレンエッジ部
Claims (6)
- ステンシルパターンが形成されるメンブレン領域と、
前記メンブレン領域を取り囲むバルク領域と、
前記メンブレン領域と前記バルク領域との境界部であるメンブレンエッジ部と、を備え、
前記メンブレンエッジ部は、90°以上の屈折部位がない閉じた線形状であること
を特徴とするステンシルマスク。 - 前記メンブレンエッジ部は、四角形以上の多角形状であり、その多角形の角部が丸められていること
を特徴とする請求項1に記載のステンシルマスク。 - 前記メンブレンエッジ部は、正四角形状であり、該正四角形の角部は正四角形の一辺の長さの半分の長さの曲率半径で丸められていること
を特徴とする請求項1または2に記載のステンシルマスク。 - 前記角部の丸みは、100μm以上3000μm以下の曲率半径で規定されていることを特徴とする請求項2または3に記載のステンシルマスク。
- 前記メンブレンエッジ部は、鋭角を含まない五角形以上の多角形状であることを特徴とする請求項1に記載のステンシルマスク。
- 請求項1から5のいずれかに記載のステンシルマスクを用いて、電子線を照射させることを特徴とする電子線露光方法。
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