JP2010207739A - 減圧乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を収容する収容部と、前記収容部の所定の位置に基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板の中心位置と対向する位置に設けられ、前記収容部の大気を排気させる排気口と、前記基板保持部に保持された基板の外周縁に沿って設けられる開口部を有しており、前記基板の外周縁に沿って環状に連通して形成される環状吸引口と、を備え、前記排気口と環状吸引口とが連通して接続されていることにより、前記排気口に吸引力が発生すると収容部の大気が前記開口部を通じて排気口から排気される構成とする。
【選択図】図4
Description
このとき、基板を載置するプレートが整流板として機能することにより、基板上の塗布膜に乾燥ムラが形成されるのを抑制できるようになっている。すなわち、真空ポンプ等を作動させて排気ポートに吸引力を作用させると、基板近傍の大気は整流板の外周縁側を通って排気ポートに流れ込む。そして、整流板の外周縁側を通った大気を短時間で効率的に回収できるように、排気ポートは基板が載置される領域の外周縁内側付近に沿って複数配列されて設けられている。これにより、基板近傍の大気がほぼ均等に排気され、塗布膜に乾燥ムラが形成されるのを防止できるようになっている。
また、図4、図5に示すように、チャンバ蓋部10は、昇降動作可能に形成されており、チャンバ本体20に対して接離可能になっている。そして、このチャンバ蓋部10がチャンバ本体20に近接して当接することにより、チャンバ蓋部10とチャンバ本体20とで基板を収容する基板収容部30が形成されるようになっている。
20 チャンバ本体
21 基部
22 プレート部材
22b 貫通口
24 排気口
25 環状吸引口
25a 開口部
26 連通口
30 基板収容部
Claims (5)
- 基板を収容する収容部と、
前記収容部の所定の位置に基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板の中心位置と対向する位置に設けられ、前記収容部の大気を排気させる排気口と、
前記基板保持部に保持された基板の外周縁に沿って開口する開口部を有し、前記基板の外周縁に沿って環状に連通して形成される環状吸引口と、
を備え、
前記排気口と環状吸引口とが連通して接続されていることにより、前記排気口に吸引力が発生すると収容部の大気が前記環状吸引口を通じて排気口から排気されることを特徴とする減圧乾燥装置。 - 前記環状吸引口は、前記基板保持部に形成されており、前記基板保持部に保持された基板の外周縁全周に亘って、その外周縁から等距離となる位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の減圧乾燥装置。
- 前記開口部は、前記収容部と環状吸引口とに連通する貫通口であって、この貫通口が前記基板保持部に保持された基板の外周縁に沿って形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の減圧乾燥装置。
- 前記排気口と環状吸引口とを連通して接続する連通口を有しており、この連通口が接続される環状吸引口部分における貫通口が、他の部分における貫通口に比べて小さく形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の減圧乾燥装置。
- 前記貫通口は、前記連通口と環状吸引口とが連通して接続される部分から離れるにしたがって、次第に大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の減圧乾燥装置。
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