JP2010197469A - 回路基板及び画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板100上において、下部電極101は、上部電極102と、ビアホール103を有する絶縁膜104(絶縁膜104a,絶縁膜104b,絶縁膜104c)を介して接合される。絶縁膜104に形成されるビアホール103は、マトリクス状に下部電極101上に配置され、その中心線B1−B1’,B2−B2’間の距離は、互いに異なるピッチP1,ピッチP2である。絶縁膜104aの膜厚t1を絶縁膜104bおよび104cの膜厚(t3およびt2)よりも厚くし、上部電極102形成用のマスク110と絶縁膜104aとの密着性を確保することで、隣接する上部電極102間のショートを低減することができる。
【選択図】図2
Description
前記上部電極はピッチP0でマトリクス状に配置され、
前記開口部は、少なくとも1方向にピッチP1とピッチP2で交互に配置されており、
ピッチP1<ピッチP0<ピッチP2であり、かつピッチP1+ピッチP2=2P0の関係を満たすとともに、前記絶縁膜の膜厚が、配列周期がピッチP2である前記開口部間の略中間点で極小値をとることを特徴とする。
前記開口部を有する前記絶縁膜を、ストライプ状の絶縁膜と、離散的な矩形状の絶縁膜とを積層させて形成するとともに、前記配列周期がピッチP2である前記開口部間の領域では、前記絶縁膜を、スクリーン印刷法により開口面積が同じであるマスクの開口部によって印刷された隣接するドットを一体化させることによって形成したことを特徴とする。
[絶縁膜の断面形状と上部電極102のパターニング性についての従来技術の課題]
前述した通り、ビアホール103を有する絶縁膜の形成には、絶縁インクを用いたスクリーン印刷法が適しているため、以下の説明はスクリーン印刷法に基づいて説明する。本発明のように目的とするビアホール103の配列ピッチが200μm以下の場合は、2層以上の組み合わせにより形成する公知技術(特許文献2)が利用できる。図1(a)に示すように、ビアホール103の配列ピッチP1とP2が混在する場合を考える。このようなビアホール103を特許文献2の手法に従い形成する場合について図3を用いて説明する。
上記の課題に対して、本発明では絶縁膜の形状を最適化することで、上部電極102の形状異常が発生する確率を低減するこができる。以下に本発明の方法について詳述する。
[実施例1]
ガラス基板上に図7(a)に示すような互いに対向した櫛歯状の下部電極101a,101bをパターニングした。電極材料はAu蒸着膜とし、パターニングは既存のフォトリソグラフィを用いて行った。図7(a)には3組の櫛歯からなる下部電極101a,101bを図示したが、実際には100組の櫛歯からなる電極つき基板を作成した。
L=85μm
S=42μm
また、乳剤の厚さは20μmと設定した。
P1=90μm(下部電極と整合)
P2=164μm(下部電極と整合)
P1+P2=254μm(=2×P0)
D1x=60μm
D2x=D3x=60μm
Dy=52μm
S1x=30μm
S2x=14μm
t1=9.2μm
t2=8.5μm
t3=8.3μm
Ex=Ey=65μm
実施例1と同様の手法で下部電極101a,101b、絶縁膜104および上部電極102を形成した。ただし、絶縁膜104を形成するためのスクリーン201を図11に示す形状とした。ライン版の開口部405の形状は図11(a)に示すとおり、実施例1と同様の形状とした。ドット版の開口部の形状は図11(b)に示すとおり、開口部411と開口部412の2種類の開口部を配列ピッチP1,P2で配置したものとした。開口部の形状は図11(c)に示すD1x,D2x,Dy,S1xを用いて以下の設定とした。
P1=90μm(下部電極と整合)
P2=164μm(下部電極と整合)
P1+P2=254μm(=2×P0)
D1x=60μm
D2x=134μm
Dy=52μm
S1x=30μm
t1=9.4μm
t2=12.2μm
実施例1と同様の手法を用いて、下部電極101a,101b上に絶縁膜104、上部電極102をスクリーン印刷法で形成した。ただし、ドット版の開口部形状を以下の通りとした。
P0=127μm(ライン版と同一,実施例1と同一)
P1=90μm(下部電極と整合,実施例1と同一)
P2=164μm(下部電極と整合,実施例1と同一)
P1+P2=254μm(=2×P0,実施例1と同一)
D1x=60μm(実施例1と同一)
D2x=D3x=50μm
Dy=52μm
S1x=30μm
S2x=34μm
t1=9.0μm
t2=6.8μm
t3=6.6μm
実施例1と同様の手法を用いて、下部電極101a,101b上に絶縁膜104,上部電極102をスクリーン印刷法で形成した。ただし、ドット版の開口部形状を以下の通りとした。
P0=127μm(ライン版と同一、実施例1と同一)
P1=90μm(下部電極と整合、実施例1と同一)
P2=164μm(下部電極と整合,実施例1と同一)
P1+P2=254μm(=2×P0,実施例1と同一)
D1x=60μm(実施例1と同一)
D2x=D3x=65μm
Dy=52μm
S1x=20μm
S2x=4μm
t1=9.2μm
t2=9.8μm
t3=9.7μm
実施例1で作成した回路基板100上に、図12に示すとおり電気泳動表示体601と透明電極(透明導電膜602)付の対向基板603を接着層604を介して貼りあわせることでディスプレイを作成した。電気泳動表示体601は正帯電の黒色粒子と負帯電白色粒子を分散液中に均一に分散したものを、マイクロカプセルに封入したものが一般的であり、入手可能である。対向基板603は市販のITO導電膜付PETフィルムを用いた。透明導電膜602と上部電極102間に電圧を印加することで、帯電粒子が電気泳動し表示体上面と下面に帯電粒子が局在するため観察方向から白黒の表示が観察できる。
101 下部電極
102 上部電極
103 ビアホール(開口部)
104a 絶縁膜
104b 絶縁膜
104c 絶縁膜
Claims (8)
- 基板と、前記基板上に形成される複数の下部電極と、前記基板上に形成され、前記複数の下部電極に対応する複数の開口部が形成された絶縁膜と、前記複数の開口部を介して前記下部電極と電気的に接続された複数の上部電極と、を有する回路基板であって、
前記上部電極はピッチP0でマトリクス状に配置され、
前記開口部は、少なくとも1方向にピッチP1とピッチP2で交互に配置されており、
ピッチP1<ピッチP0<ピッチP2であり、かつピッチP1+ピッチP2=2P0の関係を満たすとともに、前記絶縁膜の膜厚が、配列周期がピッチP2である前記開口部間の略中間点で極小値をとることを特徴とする回路基板。 - 請求項1において、前記開口部のピッチがP1となる部分の前記絶縁膜の膜厚をt1、前記開口部のピッチがP2となる部分の前記絶縁膜の膜厚をt2とした場合、0.9≦t2/t1≦1.0としたことを特徴とする回路基板。
- 請求項1または2において、
前記絶縁膜が無機物からなる微粒子と樹脂からなるバインダを主成分とすることを特徴とする回路基板。 - 請求項3において、
前記開口部を有する前記絶縁膜が、スクリーン印刷法で形成され、ストライプ状の絶縁膜と、離散的な矩形状の絶縁膜との積層により形成されることを特徴とする回路基板。 - 請求項1から4のいずれか1項において、
上部電極が導電材料からなる微粒子と樹脂からなるバインダを主成分とすることを特徴とする回路基板。 - 請求項5において、
前記上部電極がスクリーン印刷によって形成されたものであることを特徴とする回路基板。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の回路基板と、前記回路基板に対向配置される透明電極を備えた対向基板と、の間に表示部を備えてなる画像表示装置。
- 基板と、前記基板上に形成される複数の下部電極と、前記基板上に形成され、前記複数の下部電極に対応する複数の開口部が形成された絶縁膜と、前記複数の開口部を介して前記下部電極と電気的に接続された複数の上部電極と、を有し、前記上部電極はピッチP0でマトリクス状に配置され、前記開口部は、少なくとも1方向にピッチP1とピッチP2で交互に配置されており、ピッチP1<ピッチP0<ピッチP2であり、かつピッチP1+ピッチP2=2P0の関係を満たすとともに、前記絶縁膜の膜厚が、配列周期がピッチP2である前記開口部間の略中間点で極小値をとるように構成された回路基板の製造方法であって、
前記開口部を有する前記絶縁膜を、ストライプ状の絶縁膜と、離散的な矩形状の絶縁膜とを積層させて形成するとともに、前記配列周期がピッチP2である前記開口部間の領域では、前記絶縁膜を、スクリーン印刷法により開口面積が同じであるマスクの開口部によって印刷された隣接するドットを一体化させることによって形成したことを特徴とする回路基板の製造方法。
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JP2020077006A (ja) * | 2020-01-30 | 2020-05-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置製造用マスク |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338112A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Tokuyama Soda Co Ltd | 印刷用マスク |
JP2002277900A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-25 | Kawasaki Microelectronics Kk | 液晶表示装置および表示システム |
JP2003011321A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sp Solution:Kk | 厚塗りべた印刷用スクリーンマスク |
JP2007109852A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Ricoh Co Ltd | 貫通孔を有する厚膜、及び貫通孔を有する厚膜の製造方法 |
JP2007293329A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Canon Inc | 表示装置 |
JP2008147614A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Ricoh Co Ltd | 多層配線構造の製造方法及び多層配線構造 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338112A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-21 | Tokuyama Soda Co Ltd | 印刷用マスク |
JP2002277900A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-25 | Kawasaki Microelectronics Kk | 液晶表示装置および表示システム |
JP2003011321A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sp Solution:Kk | 厚塗りべた印刷用スクリーンマスク |
JP2007109852A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Ricoh Co Ltd | 貫通孔を有する厚膜、及び貫通孔を有する厚膜の製造方法 |
JP2007293329A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Canon Inc | 表示装置 |
JP2008147614A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Ricoh Co Ltd | 多層配線構造の製造方法及び多層配線構造 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020077006A (ja) * | 2020-01-30 | 2020-05-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置製造用マスク |
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