JP2010197329A - 回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法 - Google Patents
回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】プローブピン駆動手段により被検査回路基板と平行なX−Y平面上を移動するプローブピン10を、回路基板検査装置の原点Oに移動させた際の原点Oに対するオフセット量を取得するにあたって、プローブピン10と静電的に結合可能なセンサ電極31を、X−Y平面と直交し原点Oを通る仮想のZ軸線を中心とする一定半径の円に沿って移動させながら、静電容量測定手段40によりセンサ電極31とプローブピン10との間で生ずる静電容量値を複数回にわたって測定し、その静電容量値が一定値を示すようにプローブピン10を移動させることにより、プローブピン10のオフセット量を取得する。
【選択図】図1
Description
30 円筒体
31 センサ電極
40 Cメータ(静電容量測定手段)
Claims (6)
- 回路基板検査装置が備えるプローブピン駆動手段により被検査回路基板と平行なX−Y平面上を移動するプローブピンを、上記回路基板検査装置の原点位置に移動させた際の上記原点位置に対する上記プローブピンのオフセット量を取得するにあたって、
上記プローブピンと静電的に結合可能なセンサ電極を、上記X−Y平面と直交し上記原点位置を通る仮想のZ軸線を中心とする一定半径の円に沿って移動させながら、静電容量測定手段により上記センサ電極と上記プローブピンとの間で生ずる静電容量値を複数回にわたって測定し、上記静電容量値が一定値を示すように上記プローブピン駆動手段により上記プローブピンを移動させることにより、上記原点位置に対する上記プローブピンのオフセット量を取得することを特徴とする回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。 - 上記プローブピンが上記原点位置にあるときの上記センサ電極との間で生ずる静電容量値が既知であり、上記静電容量値が一定値を示すように上記プローブピン駆動手段により上記プローブピンを移動させる際、上記既知静電容量値との差が小さくなる方向に上記プローブピンを移動させることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。
- 回路基板検査装置が備えるプローブピン駆動手段により被検査回路基板と平行なX−Y平面上を移動するプローブピンを、上記回路基板検査装置の原点位置に移動させた際の上記原点位置に対する上記プローブピンのオフセット量を取得するにあたって、
上記プローブピンと静電的に結合可能なセンサ電極を、上記X−Y平面と直交し上記原点位置を通る仮想のZ軸線を中心とする一定半径の円に沿って移動させながら、静電容量測定手段により上記センサ電極と上記プローブピンとの間で生ずる静電容量値を測定し、上記静電容量値の最大値もしくは最小値に基づいて、上記原点位置に対する上記プローブピンのオフセット量を取得することを特徴とする回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。 - 上記静電容量値が最大値もしくは最小値を示す上記センサ電極の特定位置の上記円上における回転角と、上記最大値もしくは最小値から算出される上記プローブピンと上記センサ電極との間の距離と、上記円の半径距離とから、上記原点位置に対する上記プローブピンのオフセット量を座標データとして取得することを特徴とする請求項3に記載の回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。
- 上記Z軸線に対して同軸的に配置され、所定の回転駆動手段により回転駆動される円筒体を備え、上記センサ電極が上記円筒体の内面の1箇所にその軸線方向に沿って設けられた帯状電極からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。
- 上記帯状電極の幅は、上記プローブピンの直径とほぼ等しいことを特徴とする請求項5に記載の回路基板検査装置におけるプローブピンのオフセット量取得方法。
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JP2012225710A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-15 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
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JPS61250568A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-07 | Toshiba Corp | プリント基板の端子位置検出方法 |
JP2005241491A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置、位置調整方法 |
JP2008519962A (ja) * | 2004-11-09 | 2008-06-12 | パーキンエルマー ラス インコーポレイテッド | プローブの位置を決定するための方法およびシステム |
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