JP5233046B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
(第1実施形態に係る形状測定装置の構成)
図1は、本実施形態に係る形状測定装置(三次元測定装置)の全体構成を示す斜視図である。この形状測定装置は、非接触型の測定機本体1と、この測定機本体1を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2と、計測結果をプリントアウトするプリンタ3とにより構成されている。
次に、図4〜図7を参照して形状測定装置(三次元測定装置)による貫通孔の垂直出し処理について説明する。図4は、貫通孔の垂直出しの処理を示すフローチャートである。図5は、貫通孔の垂直出し処理に係る回転テーブル13aのX軸周りの回転角、及びY軸周りの回転角を示す図である。図6及び図7は、貫通孔の垂直出し処理に係るX軸周り、Y軸周りの走査時間及びそれらに対応する輝度を示す図である。なお、貫通孔の垂直出し処理が実行される前、回転テーブル13aのX軸及びY軸周りの回転角は、原点(0°,0°)に設定されているものとする。
次に、第1実施形態に係る形状測定装置の効果について説明する。上記第1実施形態に係る形状測定装置は、ワーク12の貫通孔12aを透過した光の輝度情報に基づき、ワーク12の貫通孔12aをZ軸に平行にすることができる。したがって、第1実施形態に係る形状測定装置は、貫通孔の垂直出し処理に、接触式プローブユニット18bを用いる必要がないので、短時間でその処理を実行することができる。また、ワーク12は、貫通孔を有していればよく、第1実施形態に係る形状測定装置は、様々な形状のワークに対応して貫通孔の垂直出し処理を実行可能である。さらに、第1実施形態に係る形状測定装置は、貫通孔の垂直出し処理において、接触式プローブユニット18bを用いる必要がないため、その接触式プローブユニット18b及びワーク12を破損する虞がない。
(第2実施形態に係る形状測定装置の貫通孔の垂直出し処理)
次に、図8〜図10を参照して、第2実施形態に係る形状測定装置の貫通孔の垂直出し処理について説明する。図8は、第2実施形態に係る形状測定装置の貫通孔の垂直出し処理を示すフローチャートである。図9は、貫通孔の垂直出し処理に係る回転テーブル13aのX軸周りの回転角、及びY軸周りの回転角を示す図である。図10は、貫通孔の垂直出し処理に係る回転テーブル13aのX軸周り、Y軸周りの走査時間及びそれらに対応する輝度を示す図である。なお、貫通孔の垂直出し処理が実行される前、回転テーブル13aのX軸及びY軸周りの回転角は、原点(0°,0°)に設定されているものとする。
次に、第2実施形態に係る形状測定装置の効果について説明する。第2実施形態に係る形状測定装置は、第1実施形態と同様に、ワーク12の貫通孔12aを透過した光の輝度に基づき、ワーク12の貫通孔12aをZ軸に平行にすることができる。さらに、第2実施形態に係る形状測定装置は、回転角度面にてスパイラル状の軌跡を描くようにX軸周りの回転角、及びY軸周りの回転角を所定角度に回転して、2軸輝度最大角度(Xrot2、Yrot2)を求める。したがって、第2実施形態に係る形状測定装置は、第1実施形態よりも高い精度で貫通孔の垂直出し処理を実行することができる。
次に、図11を参照して、第3実施形態に係る形状測定装置の貫通孔の垂直出し処理について説明する。第3実施形態に係る形状測定装置において、その構成は、第1及び第2実施形態と同様であり、その貫通孔の垂直出し処理が、第1及び第2実施形態の処理と異なる。なお、第3実施形態において、第1及び第2実施形態と同一の構成及び処理については、その説明を省略する。
第3実施形態に係る形状測定装置において、制御部35は、第1実施形態及び第2実施形態の処理を実行する。したがって、第3実施形態に係る形状測定装置は、第1及び第2実施形態よりも高い精度で貫通孔の垂直出し処理を行うことができる。
以上、形状測定装置を一例として実施形態を説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、本実施形態におけるワーク12は、円筒状に限られるものではない。例えば、図12に示すように、キャップ状であって、貫通孔12cを有するワーク12bにも適応させることができる。この場合、光源13bの代わりに光ファイバ13cを用いる。つまり、光ファイバ13c先端からの光が撮像ユニット17(CCDカメラ18a)へと照射されるように、キャップ状のワーク12bの内側に光ファイバ13cの先端を配置すればよい。
Claims (3)
- 第1軸に平行に延びるスタイラスと、当該スタイラスの先端に設けられた接触子とを備え、前記接触子とワークとの接触に基づき前記ワークの形状を測定する形状測定装置であって、
貫通孔を有する前記ワークを載置可能に構成され且つ前記第1軸に直交する軸周りに回転可能に構成された回転台と、
前記貫通孔の一方側から前記第1軸に平行に光を照射する光源と、
前記貫通孔の他方側に配置され且つ前記貫通孔を通過した前記光源からの光を受光して当該受光した光に基づく輝度を測定する受光部と、
前記回転台の回転角度を前記受光部にて測定された輝度に基づき制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記回転台により前記ワークを所定角度ずつ回転させる毎に、前記受光部により前記輝度を測定させ、当該輝度が最大となる角度に前記回転台の回転角度を設定する
ことを特徴とする形状測定装置。 - 前記回転台は、
前記第1軸に直交する第2軸周り、及び第3軸周りに回転可能に構成されており、
前記制御部は、
前記回転台により前記ワークを前記第2軸周りに所定角度ずつ回転させる毎に、前記受光部により前記輝度を測定させ、当該輝度が最大となる角度に前記回転台の前記第2軸周りの回転角度を設定した後、前記回転台により前記ワークを前記第3軸周りに所定角度ずつ回転させる毎に、前記受光部により前記輝度を測定させ、当該輝度が最大となる角度に前記回転台の前記第3軸周りの回転角度を設定する
ことを特徴とする請求項1記載の形状測定装置。 - 前記回転台は、
前記第1軸に直交する第2軸周り、及び第3軸周りに回転可能に構成されており、
前記制御部は、
前記第2軸周りの回転角を表す第2角度軸及び当該第2角度軸に直交するように表され且つ前記第3軸周りの回転角を表す第3角度軸にて構成される回転角度面にてスパイラル状の軌跡を描くように、前記回転台により前記ワークを前記第2軸周り及び前記第3軸周りに所定角度ずつ回転させる毎に、前記受光部により前記輝度を測定させ、当該輝度が最大となる角度に前記回転台の前記第1軸周り及び前記第2軸周りの回転角度を設定する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の形状測定装置。
Priority Applications (1)
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JP2008280858A JP5233046B2 (ja) | 2008-10-31 | 2008-10-31 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010107413A JP2010107413A (ja) | 2010-05-13 |
JP5233046B2 true JP5233046B2 (ja) | 2013-07-10 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0737897B2 (ja) * | 1986-06-28 | 1995-04-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 貫通孔を有する焼結部品の矯正装置 |
JPH0875445A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 極小孔径の測定方法及び装置 |
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2008
- 2008-10-31 JP JP2008280858A patent/JP5233046B2/ja not_active Expired - Fee Related
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