JP2010085309A - 画像測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像測定装置は、被測定対象を載置する測定テーブルと、被測定対象を撮像する異なる位置に設置された複数の撮像手段と、前記複数の撮像手段によって得られた前記被測定対象の画像を表示する測定表示部と、前記複数の撮像手段を前記測定テーブルに対して相対的に移動させる移動手段と、前記複数の撮像手段によって得られた前記被測定対象の画像情報を入力して前記被測定対象の測定処理を実行する測定処理手段とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施形態に係る画像測定システムの全体構成を示す斜視図である。
撮像ユニット17の内部は、図2に示すように構成されている。即ち、X軸ガイド16に沿って移動可能にスライダ31が設けられている。このスライダ31には、画像測定用の撮像手段である2個の画像プローブ32、33が設けられている。画像プローブ32、33は、それぞれZ軸方向(上下方向)に移動可能に設けられている。これにより、2個の画像プローブ32と33との相互の位置関係を保ちつつ、X、Y、Zの3軸方向に同時に移動できるようになっている。なお、画像プローブ32及び33の間隔は、後述するワーク12にある2個のアライメントマークの間隔に合わせて固定されている。また、画像プローブ32、33には、それぞれ撮像範囲を照明するための照明装置34、35が付加されている。
コンピュータ21は、例えば図3に示すように構成されている。即ち、画像プローブ32から入力される画像情報は、インタフェース(以下、I/Fと呼ぶ)41を介して画像メモリ42に格納される。同様に、画像プローブ33から入力される画像情報は、I/F43を介して画像メモリ44に格納される。画像メモリ42、44に格納された画像情報は、それぞれ表示制御部48、49を介してディスプレイ25、26に表示される。
本画像測定システムにおけるワーク12のアライメント調整について説明する。
測定の際には、2つの画像プローブ32、33の位置情報と、これらの画像プローブ32、33で得られた画像情報から求められた各画像プローブ32、33の視野内におけるワーク12の座標とから2つの画像プローブ32、33内の測定箇所を同時に測定することが可能になる。これにより、画像プローブ32、33の移動時間を短縮して測定処理を高速化することができる。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
Claims (9)
- 被測定対象を載置する測定テーブルと、
被測定対象を撮像する異なる位置に設置された複数の撮像手段と、
前記複数の撮像手段によって得られた前記被測定対象の画像を表示する測定表示部と、
前記複数の撮像手段を前記測定テーブルに対して相対的に移動させる移動手段と、
前記複数の撮像手段によって得られた前記被測定対象の画像情報を入力して前記被測定対象の測定処理を実行する測定処理手段と
を備えたことを特徴とする画像測定装置。 - 前記測定処理手段は、前記各撮像手段の被測定対象座標系における位置情報と、前記画像情報における前記被測定対象の位置情報とに基づいて、前記被測定対象の前記被測定対象座標系における測定位置の座標を算出する。
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記複数の撮像手段の相互の位置が固定されている
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記複数の撮像手段の相互の位置が可変である
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記複数の撮像手段が独立に可動する
ことを特徴とする請求項1又は4記載の画像測定装置。 - 前記複数の撮像手段が相互に干渉することを防止する干渉防止手段を備えた
ことを特徴とする請求項1、4、及び5のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記測定テーブルは、原点マークを備え、
前記複数の撮像手段は、同一の前記原点マークを撮像し、
前記測定処理手段は、前記各撮像手段の前記原点マークの撮像位置における位置情報と前記各撮像手段における前記原点マークの位置情報とに基づいて各撮像手段の位置を算出する
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の画像測定装置。 - 前記原点マークは、半径が異なる複数の同心円状のマークである
ことを特徴とする請求項7記載の画像測定装置。 - 前記複数の撮像手段は、前記被測定対象の複数のアライメントマークを同時に撮像し、
前記測定処理手段は、前記複数のアライメントマークの位置情報から前記被測定対象をアライメントする
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載の画像測定装置。
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