JPH04168304A

JPH04168304A - 画像処理の原点位置決定装置

Info

Publication number: JPH04168304A
Application number: JP2296460A
Authority: JP
Inventors: Yukiaki Tsuji; 辻　幸明; Kura Tomita; 富田　蔵; Hiroshi Tajima; 洋田島; Masaru Maruki; 勝丸喜
Original assignee: Kanzaki Paper Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Kanzaki Paper Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1990-10-31
Filing date: 1990-10-31
Publication date: 1992-06-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は３画像処理の位置精度の向上に関し、特に機
械式リミッタ−１光学式リミッフタを用い、ｘ、ｙテー
ブルを用いて　画像処理を行う場合の測定位置またはス
ケールの精度向上に関するものである。

（従来の技術）従来２機械式リミフタ、光学式リミンタ等による原点復
帰時よりの相対距離により、測定点位置を決定する方法
やエンコーダ使用による測定点位置決定方法がある。

これは例えば第６図のような方法であるが、複数サンプ
ルで同一点を測定り、サンプル間の差異を測定する場合
には、ホーム位置が毎回具なり同一の点を測定すること
が困難であった。

即ち１．原点位置が毎回の測定時においてつねに一定位
置にあることが原則であるが、原点位置が毎回の測定時
に変動する場合は、原点位置からの相対距離を素養する
システムであれば　原点位置の変動に伴い、測定位置が
変動する問題があった。

（発明が解決しようとする課題）この発明は　機械式リミッタ　光学式リミッタを使用し
たＸ、Ｙテーブルを用いて画像処理する場合における測
定位置の精度を向上させることを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明では、原点復帰時に原点位置に目印をおき？その
目印を画像入力し重心位置を得て、その重心位置を記憶
する。

次回測定時の原点復帰時に再度目印を画像入力し重心位
置を得る。

前回の重心位置と今回の重心位置とを比較することによ
り、前回との位置差が設けられ、その位置誤差を考慮し
相対移動距離を決定することにより、前回と同一測定点
を計測することが可能になる。

本発明はさらに原点を通るスケールを設置し。

これを撮像カメラにより画像入力し１画像処理により定
まった距離を計測し、スケール決定を自動化することが
できる。

（作用）本発明によれば０本発明では、原点復帰時に原点位置に
目印をおき　その目印を撮像カメラより取り込み重心位
置を得て、その重心位置を記憶する。

次回測定時の原点復帰時に再度目印を撮像カメラより取
り込み重心位置を得る。

本発明はさらに原点を通るスケールを設置し。

（実施例）第１図は本発明の１実施例の画像処理原点決定装置の概
略図であり、　（１）は試料台、（２）。

（３）、　　（４）はｘ、ｙ、ｚ各方向の微動機構のつ
まみである。試料台（１）は、パルスモータで駆動し、
コンピュータで制御するようにしてもよい。

（５）は光学顕微鏡等の拡大観察装置、　（６）はＣＣ
Ｄカメラ等の撮像装置、　（７）は映像信号の分離部、
Ａ／Ｄ変換器９Ａ／Ｄ変換器。

第１図は本発明の画像処理の原点位置決定装置の基本構
成図であり、　（１）は観察対象物を載置するためのス
テージであり、Ｘ方向移動テーブル（２）がＹ方向移動
テーブル（３）上に摺動可能に保持され、またＹ方向移
動テーブル（３）は水平な基台（４）上に同様に保持さ
れている。基台（４）は図示されていない保持機構によ
りＺ方向（上下方向）に移動可能に保持されている。

（５）、　　（６）、　　（７）はテーブル（２）、（
３）、基台（４）をそれぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に
前進・後退駆動するための駆動機構であり、例えば後述
のように、各々パルスモータとパルスモータ駆動系によ
り構成さそれる。

（８）は顕微鏡その他の観察対象物拡大装置。

（９）は（８）により拡大された画像を入力するための
画像入力装置であり、ｃｃＤｆｌｉｋ像カメラ等で構成
される。（８）は本発明に不可欠なものではない。

（１０）は画像入力装置の出力を処理する画像処理部で
あり、第２図に具体的に示されている。

（Ｍ）はテーブル（Ｘ）上の位置原点とすべき適当な位
置に設けられた原点マークであり十字線または円で囲っ
た十字線等で形成される。原点マークはテーブル表面上
に直接刻印してもよいし。

また原点マークを表示した小物体を磁石板２紙片等を磁
気吸引力、粘着剤等により保持させるようにしてもよい
。

さらに原点位置に長さのスケールを設置し、これを画像
入力して付加的に利用することもできる（１１）は撮像
カメラ（９）の映像出力信号を増幅、Ａ／Ｄ変換等を行
う画像入力部、　　（１２）は人力部（１１）の出力の
１画面分の画像信号を記憶するフレームメモリ、　　（
１３）はメモリ　（１２）に記憶されている画像信号を
読み出しＤ／Ａ変換する画像出力部、　　（１４）はこ
の出力を表示するためのモニタＣＲＴである。

（２）、　　（３）は上述のＸ、Ｙステージ、（１５）
は各ステージをそれぞれの方向に駆動するための駆動機
構、　　（１６）はＸ、Ｙ、Ｚ各方向のステージの位置
を制御するためのＸＹＺコントローラである。（１７）
は観察対象物の像を最適の状態で画像入力するための自
動焦点機構であり、この信号によりモードライバーを制
御し、Ｚステージ（基台）の停止位置を規定することが
できる。

（ｌＢ）はホストインタフェース、　　（１９）はホス
トコンピュータである。

なおステージを移動する代わりに、ステージを固定式と
し２画像計測袋？！　（８）、　　（９）をＸ。

Ｙ、Ｚ方向に駆動する方式としてもよいことはもちろん
である。

（２０）は観察対象物を照射するだめの光源。

（２０）はフレームメモリに記憶されている画像信号を
読みだし必要な処理を行う画像処理部、　（２１）は画
像処理の結果を記憶するための画像メモリ、）、　　（
２２）は本発明に特有の画像処理プログラムを記憶した
原点位置決定ロダラム格納部である。

（２３）は観察対象物を証明するだめの光源装置である
。

本発明装置の動作を第３図、第４図の動作説明図、第５
図のプログラム図をもとに説明する。

ａ）１試料の場合（または最初の試料の場合）は、第５
図の様な手順により、測定を行う。

ｂ）先ず原点マークの設置されている「ホーム位置」に
おいて１画像入力を行い、原点マークを画像として取り
込み９画像入力部で必要な処理を行った後、フレームメ
モリ　（１２）に記憶する。

Ｃ）次にＸ、Ｙステージをそれぞれ駆動して（例えばＸ
方向に　５０００パルス、Ｙ方向に　５０００パルス分
移動）画像入力装置がステージの中心位置に来るように
操作する。

ｄ）この状態で観察対象物を画像入力しくモニタＣＲＴ
を観察しながら）、目的に応じて画像の観察３部分画像
の形状、大きさ及びその分布の測定等所要の画像計測を
行う。

ｅ）画像計測の途中または終了後１画像入力装置をホー
ム位置に復帰させ（Ｘ方向に−５０００、Ｙ方向に−５
０００パルス分移動）、この状態で再度原点マークを画
像入力し重心位置を求めるｆ）原点マークの予め人力・
記憶しておいた重心位置と今回の画像入力より得た重心
位置との差を求めて、原点の位置誤差を決定し、この量
を補正して前回と同一の測定点を計測することができる
。

（発明の効果）以上の説明からも明らかなように１本発明により主とし
て次の効果を得ることができる。

■）原点位置に目印（原点マーク）を設け、原点の位置
を画像入力して記憶しておき、原点位置に移動したとき
に、予め入力しておいた目標点とのずれを計測し、その
ずれ量に応じて補正用パルスを駆動装置に送出すること
により、正確に同一点に移動することができる。

２）従って手数を要せず、迅速、正確に原点位位置を確
保することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本構成図　　、第２図は第１図の装
置全体のシステム構成図、第３図は本発明装置の動作説
明図、第５図、第６図は本発明装置における原点決定ブ
ロクラムのフローチャート、第６図は従来の装置におけ
る原点位置決定プログラムの１例図である。（１）ステージ（２）、（３）、（４）　　Ｘ、Ｙ、Ｚステージ（５）
、　　（６）、　　（７）　　ステージ駆動機構（８）
顕微鏡　　（９）　画像入力装置（１０）　画像処理部（１２）　画像メモリ、　　　（１３）画像出力部（１
４）　モニタＣＲＴ（１５）　　モータドライバ（１６）Ｘ、Ｙ、Ｚコントローラ（１９）ホストＣＰＵ　　　（２０）画像メモリ（２１
）画像処理部（２２）原点位置決定プログラム部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ステージ上の観察対象物の画像を入力する手段と
、この出力を記憶する画像メモリと、画像処理手段とを
備えた装置において、ステージ上の原点位置に目印をお
き、その目印を画像入力し重心位置を得て画像処理の原
点とするように構成したことしを特徴とする、画像処理
の原点位置決定装置。
（２）画像入力に基づく重心位置を記憶し、次回測定時
の原点復帰時に再度目印を画像入力し重心位置を得て、
前回の重心位置と今回の重心位置とを比較することによ
り、前回との位置差が設けられ、その位置誤差を考慮し
相対移動距離を決定することにより、前回と同一測定点
を計測するように構成したことを特徴とする請求項（１
）記載の画像処理の原点位置決定装置。
（３）原点位置の目印をステージ上に直接設けたことを
特徴とする請求項（１）記載の画像処理の原点位置決定
装置。