JP2010192793A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、露光装置本体を収容するチャンバと、該チャンバ内の空気を浄化する浄化手段とを備える露光装置であって、チャンバ内に空気を導入する外気導入口の位置を鉛直方向で変更可能な可動機構を備えることを特徴とする。

外気導入ユニット２０は、露光装置１の高さ方向（鉛直方向）に設置される空洞装置であり、まず、それぞれ鉛直方向に移動可能な複数枚の可動パネル２１と、該可動パネル２１の駆動を制御する制御部２２とを備える。更に、外気導入ユニット２０は、ガス濃度計２３ａ、２３ｂと、該ガス濃度計２３ａ、２３ｂの測定値に基づいて、不純物除去フィルタ１２ａ、１２ｂの寿命を算出する算出部２４と、表示装置２５とを備える。

ガス濃度計２３ａは、不純物除去フィルタ１２ａの一次側に設けられた検出手段であり、導入空気の不純物濃度を測定する。また、ガス濃度計２３ｂは、不純物除去フィルタ１２ａの二次側に設けられたガス濃度計であり、不純物除去フィルタ１２ａを通過した空気のガス濃度を測定する。ここで、ガス濃度計としては、例えば、電気化学センサー式のガス濃度測定器が採用可能である。

Claims (11)

1. 露光装置本体を収容するチャンバと、該チャンバ内の空気を浄化する浄化手段とを備える露光装置であって、
   前記チャンバ内に空気を導入する外気導入口の位置を鉛直方向で変更可能な可動機構を備えることを特徴とする露光装置。
2. 前記浄化手段は、空気中の不純物を除去する不純物除去フィルタを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記可動機構は、複数の移動可能なパネルを含み、該パネルを移動させることにより、所定の位置に前記外気導入口を設定することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記可動機構は、複数の開閉可能なパネルを含み、該パネルを開閉させることにより、所定の位置に前記外気導入口を設定することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
5. 前記不純物濃度を検出する検出手段を備え、
   前記検出手段は、前記不純物除去フィルタの一次側及び二次側に設置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記検出手段の検出結果に基づいて、前記不純物除去フィルタの予測寿命を算出する算出手段を備えることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 前記不純物除去フィルタの予測寿命に基づいて、前記可動機構を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
8. 前記外気導入口の温度を検出する温度検出手段を備え、
   前記温度検出手段により検出された導入空気の温度に基づいて、前記可動機構を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
9. 前記不純物除去フィルタの予測寿命を表示する表示装置を備えることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
10. 露光装置本体を収容するチャンバ内に空気を導入する外気導入ユニットであって、
    前記空気を導入する外気導入口の位置を鉛直方向で変更可能な可動機構を備えることを特徴とする外気導入ユニット。
11. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    前記基板を現像する工程と、
    を有することを特徴とするデバイスの製造方法。