JP5219878B2 - 露光装置及び外気導入ユニット、それを用いたデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態である露光装置の構成を示す概略図である。なお、液晶パネル製造工場には、クリーンルームが設置されており、本発明の露光装置は、このクリーンルーム内に設置されているものとする。該クリーンルームは、所定の温度及び湿度に空調されている。
本発明は、上記実施形態に限定するものでなく、本発明の目的が達成される範囲において、各構成が代替的に置換されても良い。
次に、上記の露光装置を利用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
2 環境チャンバ
3 露光ユニット
4 照明光学系
5 浄化手段
7 マスクステージ系
8 投影光学系
9 基板ステージ系
11 光源
12a 不純物除去フィルタ
12b 不純物除去フィルタ
20 外気導入ユニット
21 可動パネル
23a ガス濃度計
23b ガス濃度計
24 算出部
25 表示装置
26 外気導入口
27 温度検出手段
30 外気導入ユニット
31 開閉パネル
Claims (11)
- 露光装置本体を収容するチャンバと、該チャンバ内の空気を浄化する浄化手段とを備える露光装置であって、
前記チャンバ内に空気を導入する外気導入口の位置を鉛直方向で変更可能な可動機構を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記浄化手段は、空気中の不純物を除去する不純物除去フィルタを含むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記可動機構は、複数の移動可能なパネルを含み、該パネルを移動させることにより、所定の位置に前記外気導入口を設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記可動機構は、複数の開閉可能なパネルを含み、該パネルを開閉させることにより、所定の位置に前記外気導入口を設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記不純物濃度を検出する検出手段を備え、
前記検出手段は、前記不純物除去フィルタの一次側及び二次側に設置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記検出手段の検出結果に基づいて、前記不純物除去フィルタの予測寿命を算出する算出手段を備えることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記不純物除去フィルタの予測寿命に基づいて、前記可動機構を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記外気導入口の温度を検出する温度検出手段を備え、
前記温度検出手段により検出された導入空気の温度に基づいて、前記可動機構を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記不純物除去フィルタの予測寿命を表示する表示装置を備えることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 露光装置本体を収容するチャンバ内に空気を導入する外気導入ユニットであって、
前記空気を導入する外気導入口の位置を鉛直方向で変更可能な可動機構を備えることを特徴とする外気導入ユニット。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
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