JP2007501946A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. テストピースを受け入れて包囲するよう構成された密封可能室であって、前記テストピースが前記室内にある間トレースガスを収容するものである密封可能室と、
   前記室に気体流通可能に装着されたトレースガス透過性部材と、
   イオンポンプを備えたトレースガスセンサであって、前記透過性部材と気体流通可能でありかつ、前記室から当該トレースガスセンサへと前記透過性部材を通過した前記トレースガスを検出するよう構成されたトレースガスセンサと
   を含み、
   前記密封可能室は、前記トレースガスセンサを除いて、前記イオンポンプによる漏れ検出の間、真空ポンプ装置との気体流通から切り離されているとともに、前記密封可能室へのいかなる入り口からも切り離されていることを特徴とする漏れ検出装置。
2. 前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記透過性部材が石英部材を含み、
   前記装置は更に、前記石英部材と熱接触する加熱部材と、前記加熱部材を制御するよう構成されたヒータ制御部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
4. 前記透過性部材がポリマー部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
5. 前記透過性部材のトレースガス透過度が制御可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
6. 前記透過性部材がヘリウムを透過可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
7. 前記トレースガスセンサは、前記トレースガスを収容する前記テストピースが前記室内に配置された後、指定した時に前記トレースガスを検出する手段を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
8. 前記透過性部材および前記トレースガスセンサを包囲するハウジングと、
   前記ハウジングを前記室へ取り付けるための真空フランジとを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
9. テストピースを受け入れて包囲するように構成された密封可能室、前記室と気体流通可能なトレースガス透過性部材、および、イオンポンプを備えたトレースガスセンサであって、前記透過性部材と気体流通可能なトレースガスセンサを設けることと、
   前記室にある間トレースガスを収容しているテストピースを、前記室に配置することと、
   前記トレースガスを、前記室から前記トレースガスセンサへと前記透過性部材を介して通過させることと、
   前記透過性部材を介して通過された前記トレースガスを、前記トレースガスセンサで検出することと
   を含み、
   前記密封可能室は、前記トレースガスセンサを除いて、前記イオンポンプによる漏れ検出の間、真空ポンプ装置との気体流通から切り離されているとともに、前記密封可能室へのいかなる入り口からも切り離されていることを特徴とする漏れ検出方法。
10. 前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 前記透過性部材が石英部材を含み、
    前記方法は、前記石英部材を加熱することを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
12. 前記透過性部材がポリマー部材を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
13. 前記透過性部材がヘリウムを透過可能であることを特徴とする請求項９に記載の方法。
14. 前記トレースガスを前記透過性部材を介して通過させることが、前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
15. 前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することは、漏れ検出感度を制御することを含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することは、前記透過性部材の温度を制御することを含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
17. 前記トレースガスを検出することは、ヘリウムを検出することを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
18. 前記トレースガスを検出することは、トレースガスを収容する前記テストピースが前記室内に配置された後、指定した時に前記トレースガスを検出することを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。