JP2013536937A5 - - Google Patents

Description

第１センサ１６及び第２センサ３８からの信号が、制御手段４０に送信され、第１センサまたは第２センサが限界値以上の濃度を測定すると、制御ライン４１によって第１センサ１６をブラインドモードに切り替える。これによって、第１センサが飽和するか、またはコンタミネーションの限界を超えることがそれぞれ回避される。

Claims (8)

1. ガスが取り込まれる真空ポンプ装置（１３，５３）、及び取り込まれた前記ガスの少なくとも１つのガス成分を検出するための第１センサ（１６）を有し、該第１センサが可飽和ガス選択性センサタイプである漏れ検出器において、
   熱伝導センサタイプである第２センサ（３８）が取り込まれた前記ガスの熱伝導度を検出するために設けられ、前記第１及び／または第２センサが限界値以上の前記ガス成分の濃度を検出すると、前記第１センサ（１６）をブラインドモードに切り替えるための手段が設けられ、前記第１センサ（１６）が前記ガス成分の低濃度の範囲をカバーし、前記第２センサ（３８）が高濃度の範囲をカバーすることを特徴とする漏れ検出器。
2. 前記第１センサ（１６）の上流で、弁（Ｖ２）が取り込まれたガスのガス流の中に配置され、前記弁は、前記ブラインドモードを実行するために閉じた状態に切り替えられることを特徴とする請求項１に記載の漏れ検出器。
3. 前記第１センサ（１６）は、加熱可能で、選択的にガスを透過させる膜（１７）を備え、前記ブラインドモードを実行するために、前記膜の加熱が停止されることを特徴とする請求項１に記載の漏れ検出器。
4. 大気からガスを取り込むためのスニファープローブ（１２）が設けられ、前記第１センサ（１６）が測定管（３５）に設けられ、前記第２センサ（３８）が吸入管（３６）に設けられ、前記吸入管は、距離感度を増加させるように、前記スニファープローブ（１２）から前記真空ポンプ装置（１３）に直接繋がり、前記測定管よりも速い速度の流れを運ぶことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の漏れ検出器。
5. 前記第２センサ（３８）は大気圧に近い一定の全圧が広がる位置に配置され、前記センサは特に吸入管（３６）に、または前記漏れ検出器の空気出口に配置されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の漏れ検出器。
6. 前記第１センサ（１６）の前記ブラインドモードの実行のために、制御装置（４０）によって制御される弁（５６，５６ａ）を有するバイパス管（５４）を備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の漏れ検出器。
7. ガスが取り込まれる真空ポンプ装置（１３，５３）、及び取り込まれた前記ガスの少なくとも１つのガス成分を検出するための第１センサ（１６ａ）を有し、該第１センサが可飽和ガス選択性センサタイプである漏れ検出器において、
   熱伝導センサタイプである第２センサ（３８）が取り込まれた前記ガスの熱伝導度を検出するために設けられ、全圧が限界値以上であると、前記第１センサ（１６ａ）をブラインドモードに切り替えるための手段が設けられ、前記第１センサ（１６ａ）が前記全圧の低い範囲をカバーし、前記第２センサ（３８）が前記全圧の高い範囲をカバーすることを特徴とする漏れ検出器。
8. 前記第１センサ（１６ａ）の上流で、弁（Ｖ２）が取り込まれたガスのガス流の中に配置され、前記弁は、前記ブラインドモードを実行するために、閉じた状態に切り替えられることを特徴とする請求項７に記載の漏れ検出器。