JP2010187505A5 - - Google Patents
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Description
上記問題を解決するため、本発明では次のように構成したものである。
請求項1記載の発明は、出力軸がZ軸方向の直進動作と当該Z軸回りのθ軸方向の回転動作を行うθZ軸リニアモータであって、中心軸をZ軸とする円筒状の界磁ヨークと、Z軸を取り囲むように界磁ヨークの内周面に複数個配置され、かつZ軸側の極性が隣同士で異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のθ軸用マグネットと、を備える界磁と、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸を取り囲むように、かつ各θ軸用マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように複数個配置された環状のθ軸用コイルを備える電機子とからなり、界磁および電機子の何れか一方を、出力軸を支持する可動部とし、他方を固定部としたθZ軸リニアモータにおいて、界磁は、中心軸をZ軸として界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第1マグネットを備え、電機子は、中心軸をZ軸としてZ軸用第1マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴としたものである。
請求項2記載の発明は、界磁は、請求項1記載の前記Z軸用第1マグネットに代えて、界磁ヨークの内周面のθ軸用マグネット間に2個だけZ軸方向に並ぶように配置され、かつZ軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなるZ軸用第1マグネットペアを備え、電機子は、請求項1記載の前記Z軸用第1コイルに代えて、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸用第1マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴としたものである。
請求項3記載の発明は、界磁は、中心軸をZ軸としてθ軸用マグネットをZ軸用第1マグネットとの間で挟み込むように界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第2マグネットをさらに備え、電機子は、中心軸をZ軸としてZ軸用第2マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴としたものである。
請求項4記載の発明は、界磁は、界磁ヨークの内周面のθ軸用マグネット間に2個だけZ軸方向に並ぶように配置され、かつZ軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなり、界磁ヨークの円周方向に対してZ軸用第1マグネットペアを含めた互いの間隔が等間隔となるように1個以上配置されたZ軸用第2マグネットペアをさらに備え、電機子は、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸用第2マグネットペアに対応するように1個以上配置され、対応するZ軸用第2マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴としたものである。
請求項5記載の発明は、θ軸用コイルおよびZ軸用第1コイルのZ軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴としたものである。
請求項6記載の発明は、θ軸用コイル、Z軸用第1コイル、およびZ軸用第2コイルのZ軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴としたものである。
請求項7記載の発明は、θ軸用コイルおよびZ軸用第1コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴としたものである。
請求項8記載の発明は、θ軸用コイル、Z軸用第1コイル、およびZ軸用第2コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴としたものである。
請求項1記載の発明は、出力軸がZ軸方向の直進動作と当該Z軸回りのθ軸方向の回転動作を行うθZ軸リニアモータであって、中心軸をZ軸とする円筒状の界磁ヨークと、Z軸を取り囲むように界磁ヨークの内周面に複数個配置され、かつZ軸側の極性が隣同士で異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のθ軸用マグネットと、を備える界磁と、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸を取り囲むように、かつ各θ軸用マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように複数個配置された環状のθ軸用コイルを備える電機子とからなり、界磁および電機子の何れか一方を、出力軸を支持する可動部とし、他方を固定部としたθZ軸リニアモータにおいて、界磁は、中心軸をZ軸として界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第1マグネットを備え、電機子は、中心軸をZ軸としてZ軸用第1マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴としたものである。
請求項2記載の発明は、界磁は、請求項1記載の前記Z軸用第1マグネットに代えて、界磁ヨークの内周面のθ軸用マグネット間に2個だけZ軸方向に並ぶように配置され、かつZ軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなるZ軸用第1マグネットペアを備え、電機子は、請求項1記載の前記Z軸用第1コイルに代えて、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸用第1マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴としたものである。
請求項3記載の発明は、界磁は、中心軸をZ軸としてθ軸用マグネットをZ軸用第1マグネットとの間で挟み込むように界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第2マグネットをさらに備え、電機子は、中心軸をZ軸としてZ軸用第2マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴としたものである。
請求項4記載の発明は、界磁は、界磁ヨークの内周面のθ軸用マグネット間に2個だけZ軸方向に並ぶように配置され、かつZ軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなり、界磁ヨークの円周方向に対してZ軸用第1マグネットペアを含めた互いの間隔が等間隔となるように1個以上配置されたZ軸用第2マグネットペアをさらに備え、電機子は、中心軸をZ軸と垂直な方向に向けてZ軸用第2マグネットペアに対応するように1個以上配置され、対応するZ軸用第2マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴としたものである。
請求項5記載の発明は、θ軸用コイルおよびZ軸用第1コイルのZ軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴としたものである。
請求項6記載の発明は、θ軸用コイル、Z軸用第1コイル、およびZ軸用第2コイルのZ軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴としたものである。
請求項7記載の発明は、θ軸用コイルおよびZ軸用第1コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴としたものである。
請求項8記載の発明は、θ軸用コイル、Z軸用第1コイル、およびZ軸用第2コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴としたものである。
請求項1記載の発明によると、1台のリニアモータで2つの動作(θ軸方向の回転動作とZ軸方向の直動動作)を可能にしている。このため、従来構成と比べてZ軸方向におけるθZ軸リニアモータの高さが低くなり、アクチュエータ体格を小さくすることが可能となる。
請求項2記載の発明によると、1台のリニアモータで2つの動作を可能にしている。このため、従来構成と比べてZ軸方向におけるθZ軸リニアモータの高さが低くなり、アクチュエータ体格を小さくすることが可能となる。また、上記請求項1記載の発明よりも、アクチュエータ体格をさらに小さくすることが可能となる。
請求項3または4記載の発明によると、推力・トルク発生時の力点位置が、Z軸方向の直進動作とθ軸方向の回転動作とで一致することになり、推力・トルクのアンバランスを防ぐことが可能となる。
請求項5または6記載の発明によると、界磁側の漏れ磁束量を低減させて、θ軸方向の回転動作およびZ軸方向の直動動作に関係するモータ性能を向上させることが可能となる。
請求項7または8記載の発明によると、Z軸方向における電機子の高さを容易に低くすることができるので、アクチュエータ体格をさらに小さくすることが可能となる。
請求項2記載の発明によると、1台のリニアモータで2つの動作を可能にしている。このため、従来構成と比べてZ軸方向におけるθZ軸リニアモータの高さが低くなり、アクチュエータ体格を小さくすることが可能となる。また、上記請求項1記載の発明よりも、アクチュエータ体格をさらに小さくすることが可能となる。
請求項3または4記載の発明によると、推力・トルク発生時の力点位置が、Z軸方向の直進動作とθ軸方向の回転動作とで一致することになり、推力・トルクのアンバランスを防ぐことが可能となる。
請求項5または6記載の発明によると、界磁側の漏れ磁束量を低減させて、θ軸方向の回転動作およびZ軸方向の直動動作に関係するモータ性能を向上させることが可能となる。
請求項7または8記載の発明によると、Z軸方向における電機子の高さを容易に低くすることができるので、アクチュエータ体格をさらに小さくすることが可能となる。
Claims (8)
- 出力軸がZ軸方向の直進動作と当該Z軸回りのθ軸方向の回転動作を行うθZ軸リニアモータであって、中心軸を前記Z軸とする円筒状の界磁ヨークと、前記Z軸を取り囲むように前記界磁ヨークの内周面に複数個配置され、かつ前記Z軸側の極性が隣同士で異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のθ軸用マグネットと、を備える界磁と、中心軸を前記Z軸と垂直な方向に向けて前記Z軸を取り囲むように、かつ各前記θ軸用マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように複数個配置された環状のθ軸用コイルを備える電機子とからなり、前記界磁および前記電機子の何れか一方を、前記出力軸を支持する可動部とし、他方を固定部としたθZ軸リニアモータにおいて、
前記界磁は、中心軸を前記Z軸として前記界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第1マグネットを備え、
前記電機子は、中心軸を前記Z軸として前記Z軸用第1マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴とするθZ軸リニアモータ。 - 前記界磁は、請求項1記載の前記Z軸用第1マグネットに代えて、前記界磁ヨークの内周面の前記θ軸用マグネット間に2個だけ前記Z軸方向に並ぶように配置され、かつ前記Z軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなるZ軸用第1マグネットペアを備え、
前記電機子は、請求項1記載の前記Z軸用第1コイルに代えて、中心軸を前記Z軸と垂直な方向に向けて前記Z軸用第1マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第1コイルを備えることを特徴とする請求項1記載のθZ軸リニアモータ。 - 前記界磁は、中心軸を前記Z軸として前記θ軸用マグネットを前記Z軸用第1マグネットとの間で挟み込むように前記界磁ヨークの内周面に配置され、かつ径方向に磁化された円筒状のZ軸用第2マグネットをさらに備え、
前記電機子は、中心軸を前記Z軸として前記Z軸用第2マグネットの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴とする請求項1記載のθZ軸リニアモータ。 - 前記界磁は、前記界磁ヨークの内周面の前記θ軸用マグネット間に2個だけ前記Z軸方向に並ぶように配置され、かつ前記Z軸側の極性が互いに異なるように各々が径方向に磁化された円弧状のZ軸用マグネットからなり、前記界磁ヨークの円周方向に対して前記Z軸用第1マグネットペアを含めた互いの間隔が等間隔となるように1個以上配置されたZ軸用第2マグネットペアをさらに備え、
前記電機子は、中心軸を前記Z軸と垂直な方向に向けて前記Z軸用第2マグネットペアに対応するように1個以上配置され、対応するZ軸用第2マグネットペアの内周面と一定のクリアランスを介して対向するように配置された環状のZ軸用第2コイルをさらに備えることを特徴とする請求項2記載のθZ軸リニアモータ。 - 前記θ軸用コイルおよび前記Z軸用第1コイルの前記Z軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のθZ軸リニアモータ。
- 前記θ軸用コイル、前記Z軸用第1コイル、および前記Z軸用第2コイルの前記Z軸側の面に配置された円筒状の電機子ヨークを備えることを特徴とする請求項3から5のいずれか1項に記載のθZ軸リニアモータ。
- 前記θ軸用コイルおよび前記Z軸用第1コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のθZ軸リニアモータ。
- 前記θ軸用コイル、前記Z軸用第1コイル、および前記Z軸用第2コイルは、樹脂で一体成型されることを特徴とする請求項3から7のいずれか1項に記載のθZ軸リニアモータ。
Priority Applications (1)
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JP2009031131A JP2010187505A (ja) | 2009-02-13 | 2009-02-13 | θZ軸リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009031131A JP2010187505A (ja) | 2009-02-13 | 2009-02-13 | θZ軸リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010187505A JP2010187505A (ja) | 2010-08-26 |
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Family
ID=42767809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009031131A Pending JP2010187505A (ja) | 2009-02-13 | 2009-02-13 | θZ軸リニアモータ |
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Families Citing this family (2)
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JP5489080B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2014-05-14 | 株式会社安川電機 | リニアモータ及びステージ装置 |
Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
JPS63181130A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-26 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
JPH0629781Y2 (ja) * | 1987-03-06 | 1994-08-10 | 株式会社コパル | 対物レンズ駆動装置 |
JPH0679383B2 (ja) * | 1988-06-16 | 1994-10-05 | 株式会社三協精機製作所 | 対物レンズ駆動装置 |
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2009
- 2009-02-13 JP JP2009031131A patent/JP2010187505A/ja active Pending
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