JP2010184203A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010184203A5
JP2010184203A5 JP2009030366A JP2009030366A JP2010184203A5 JP 2010184203 A5 JP2010184203 A5 JP 2010184203A5 JP 2009030366 A JP2009030366 A JP 2009030366A JP 2009030366 A JP2009030366 A JP 2009030366A JP 2010184203 A5 JP2010184203 A5 JP 2010184203A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spectrum
control device
combination
visible light
wavelength range
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009030366A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5340760B2 (ja
JP2010184203A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2009030366A external-priority patent/JP5340760B2/ja
Priority to JP2009030366A priority Critical patent/JP5340760B2/ja
Priority to KR1020117018132A priority patent/KR20110114613A/ko
Priority to US13/201,155 priority patent/US20110315228A1/en
Priority to CN2010800072264A priority patent/CN102316967A/zh
Priority to PCT/JP2010/051973 priority patent/WO2010092985A1/ja
Priority to TW099104628A priority patent/TWI494729B/zh
Publication of JP2010184203A publication Critical patent/JP2010184203A/ja
Publication of JP2010184203A5 publication Critical patent/JP2010184203A5/ja
Publication of JP5340760B2 publication Critical patent/JP5340760B2/ja
Application granted granted Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009030366A 2009-02-12 2009-02-12 流体制御方法及び流体制御装置 Expired - Fee Related JP5340760B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009030366A JP5340760B2 (ja) 2009-02-12 2009-02-12 流体制御方法及び流体制御装置
PCT/JP2010/051973 WO2010092985A1 (ja) 2009-02-12 2010-02-10 流体制御方法及び流体制御装置
US13/201,155 US20110315228A1 (en) 2009-02-12 2010-02-10 Fluid control method and fluid control device
CN2010800072264A CN102316967A (zh) 2009-02-12 2010-02-10 流体控制方法及流体控制装置
KR1020117018132A KR20110114613A (ko) 2009-02-12 2010-02-10 유체제어방법 및 유체제어장치
TW099104628A TWI494729B (zh) 2009-02-12 2010-02-12 Fluid control method and fluid control device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009030366A JP5340760B2 (ja) 2009-02-12 2009-02-12 流体制御方法及び流体制御装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010184203A JP2010184203A (ja) 2010-08-26
JP2010184203A5 true JP2010184203A5 (enExample) 2012-02-16
JP5340760B2 JP5340760B2 (ja) 2013-11-13

Family

ID=42561826

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009030366A Expired - Fee Related JP5340760B2 (ja) 2009-02-12 2009-02-12 流体制御方法及び流体制御装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110315228A1 (enExample)
JP (1) JP5340760B2 (enExample)
KR (1) KR20110114613A (enExample)
CN (1) CN102316967A (enExample)
TW (1) TWI494729B (enExample)
WO (1) WO2010092985A1 (enExample)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5180263B2 (ja) * 2010-07-23 2013-04-10 倉敷紡績株式会社 基板処理装置
JP5741056B2 (ja) * 2011-02-25 2015-07-01 栗田工業株式会社 ガス溶解水の製造装置
KR101958387B1 (ko) * 2011-07-28 2019-03-20 주식회사 동진쎄미켐 근적외선 분광기를 이용한 구리막 식각 공정 제어방법 및 구리막 식각액 조성물의 재생방법
EP2748841A4 (en) * 2011-08-22 2015-10-14 1366 Tech Inc FORMULATION FOR ACIDIC CHEMICAL NUTRITION OF SILICON WAFERS
JP5752530B2 (ja) * 2011-08-31 2015-07-22 倉敷紡績株式会社 基板処理装置
CN102814143A (zh) * 2012-09-13 2012-12-12 中国海洋石油总公司 即时混配装置
JP5642137B2 (ja) * 2012-10-25 2014-12-17 日機装株式会社 溶液の調製装置および溶液の調製方法
TWI574789B (zh) * 2012-11-13 2017-03-21 氣體產品及化學品股份公司 漿料供應及／或化學品摻合物供應設備、方法、使用方法及製造方法
US9770804B2 (en) 2013-03-18 2017-09-26 Versum Materials Us, Llc Slurry supply and/or chemical blend supply apparatuses, processes, methods of use and methods of manufacture
CN105301174B (zh) * 2014-07-16 2017-07-18 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 用于微流控芯片的试剂滴定方法及装置、微流控芯片
RU2017115832A (ru) * 2014-11-07 2018-12-07 Окси Солюшнз Ас Устройство для растворения газа в жидкости
WO2017131580A1 (en) * 2016-01-28 2017-08-03 Clearbridge Biomedics Pte Ltd Multi-stage target cell enrichment using a microfluidic device
CN106249773A (zh) * 2016-08-31 2016-12-21 张源兴 混合酸中单项酸检测控制装置
CN106841088A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 西安景辉信息科技有限公司 一种油料水分测定仪用传感器及其实施方法
RU2019126721A (ru) 2017-02-06 2021-03-09 Ифа - Инжиниринг Фор Олл Лтд. Портативное цифровое диагностическое устройство
JP6909620B2 (ja) * 2017-04-20 2021-07-28 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理方法
JP7110558B2 (ja) * 2017-09-01 2022-08-02 日産自動車株式会社 混合燃料供給装置及び混合燃料供給方法
JP6899760B2 (ja) * 2017-12-18 2021-07-07 三菱重工機械システム株式会社 液体混合装置
JP2019158794A (ja) * 2018-03-16 2019-09-19 シスメックス株式会社 検体処理方法、検体処理チップおよび検体処理装置
CN108869410A (zh) * 2018-06-11 2018-11-23 中国科学院工程热物理研究所 一种叶片以及用于叶片的流体控制方法
JP2020055214A (ja) * 2018-10-02 2020-04-09 東芝テック株式会社 液体吐出ヘッド及びプリンタ
CN111640661B (zh) * 2019-03-01 2024-01-30 东京毅力科创株式会社 基板处理方法、基板处理装置以及存储介质
WO2021236009A1 (en) 2020-05-18 2021-11-25 National University Of Singapore Microfluidic device and liquid control system therefor
CN112763450A (zh) * 2020-12-14 2021-05-07 中国原子能科学研究院 一种同时测定水溶液中硝酸铝和硝酸浓度的方法
TWI880391B (zh) * 2023-10-11 2025-04-11 弘塑科技股份有限公司 流體流量校正系統及校正方法
CN118253246B (zh) * 2024-02-29 2025-03-14 安瑞科(廊坊)能源装备集成有限公司 甲醇溶液的自动配制装置、方法和电子设备
WO2025239355A1 (ja) * 2024-05-15 2025-11-20 慶應義塾 マイクロ流体デバイスにおける流体の粘度を制御するためのシステム及びマイクロ流体デバイスにおける流体の粘度を制御する方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8712135D0 (en) * 1987-05-22 1988-01-27 Plessey Co Plc Fibre-optic vapour/liquid ratio sensor
US5268147A (en) * 1992-02-26 1993-12-07 Miles, Inc. Reversible direction capsule chemistry sample liquid analysis system and method
US20020068357A1 (en) * 1995-09-28 2002-06-06 Mathies Richard A. Miniaturized integrated nucleic acid processing and analysis device and method
JP4110304B2 (ja) * 1998-06-30 2008-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置および流体制御装置組立て方法
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
JP3010489B1 (ja) * 1999-03-10 2000-02-21 メルト技研株式会社 ホットメルト剤用可変ｔダイ
DE19959249A1 (de) * 1999-12-08 2001-07-19 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Modulares Mikroreaktionssystem
US7037416B2 (en) * 2000-01-14 2006-05-02 Caliper Life Sciences, Inc. Method for monitoring flow rate using fluorescent markers
US8329118B2 (en) * 2004-09-02 2012-12-11 Honeywell International Inc. Method and apparatus for determining one or more operating parameters for a microfluidic circuit
JP4258489B2 (ja) * 2000-07-31 2009-04-30 日本化成株式会社 エッチング液の製造方法およびエッチング方法
TW511180B (en) * 2000-07-31 2002-11-21 Mitsubishi Chem Corp Mixed acid solution in etching process, process for producing the same, etching process using the same and process for producing semiconductor device
JP2002236131A (ja) * 2000-12-08 2002-08-23 Minolta Co Ltd マイクロチップ
US7010391B2 (en) * 2001-03-28 2006-03-07 Handylab, Inc. Methods and systems for control of microfluidic devices
US20040109793A1 (en) * 2002-02-07 2004-06-10 Mcneely Michael R Three-dimensional microfluidics incorporating passive fluid control structures
US6892745B2 (en) * 2002-04-10 2005-05-17 Honeywell International Inc. Flow control valve with integral sensor and controller and related method
EP1545780B1 (en) * 2002-09-06 2007-02-28 Epigem Limited Modular microfluidic system
JP2004113987A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Shibaura Mechatronics Corp 液体の混合装置、混合方法及び基板の処理装置
JP3964850B2 (ja) * 2003-10-14 2007-08-22 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置
JP4372567B2 (ja) * 2004-01-30 2009-11-25 倉敷紡績株式会社 紫外光による水および水溶液測定方法
US8158728B2 (en) * 2004-02-13 2012-04-17 The University Of North Carolina At Chapel Hill Methods and materials for fabricating microfluidic devices
JP2006013158A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Nagase & Co Ltd 酸性エッチング液再生方法及び酸性エッチング液再生装置
JP2006023200A (ja) * 2004-07-08 2006-01-26 Kurabo Ind Ltd 光学プローブ及びそれを用いた分光測定装置
JP2006029485A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Pentax Corp マイクロバルブ及び該バルブを有するマイクロ流体デバイス
JP4677805B2 (ja) * 2005-03-22 2011-04-27 株式会社フジキン 流体制御装置
US20090145485A1 (en) * 2005-08-11 2009-06-11 Eksigent Technologies, Llc Microfluidic methods and apparatuses for fluid mixing and valving
JP2007133829A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Hamlet Motoyama Japan:Kk 流体制御装置と圧力調節弁と制御方法
JP2008147637A (ja) * 2006-11-16 2008-06-26 Kurita Water Ind Ltd エッチング方法およびエッチング装置
WO2008144577A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Optiscan Biomedical Corporation Fluid mixing systems and methods
EP2285491A1 (en) * 2008-04-25 2011-02-23 Claros Diagnostics, Inc. Flow control in microfluidic systems
GB2474388B (en) * 2008-08-07 2012-11-21 Agilent Technologies Inc Synchronization of supply flow paths

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010184203A5 (enExample)
JP2012100800A5 (enExample)
JP2009245945A5 (enExample)
JP2011506949A5 (enExample)
JP2010524750A5 (enExample)
FR2942665B1 (fr) Dispositif electrocommandable a coloration/decoloration homogene sur toute la surface
BRPI0820533A2 (pt) mecanismo sensor de pressão
JP2011510317A5 (enExample)
JP2014513003A5 (enExample)
DK2349476T3 (da) Skråstillet strålelinjebevægelsesmekanisme
JP2011259411A5 (enExample)
DE602008000115D1 (de) Überwachungsvorrichtung der Fahrzeugumgebung, Fahrzeug mit der Überwachungsvorrichtung der Fahrzeugumgebung
FI20085010A0 (fi) Valaisinelementti
FI20095837L (fi) Lähellä maata oleva valo-opaste
JP2009149090A5 (enExample)
CL2007002400S1 (es) Columna que despliega informacion visual mediante colores del nivel de radiacion solar ultravioleta.
DE602007000458D1 (de) Kinderwagen mit mehreren Verwendungsstellungen
FR2927241B1 (fr) Dispositif a la creation des meubles transformables
CN301122328S (zh) 感烟探测器
CN301111355S (zh) 感温探测器
CL2007002401S1 (es) Dispositivo compacto que despliega informacion visual mediante colores del nivel de radiacion solar ultravioleta.
CN301103521S (zh) 包装罐(mg-2)
CN300996486S (zh) 电容器元件盒
CN300950583S (zh) 电饭煲(mb-fzv2)
SE0800053L (sv) Termiskt aktiverad utfällningsmekanism