JP2010182731A - レーザ露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光の断面形状を拡大する第1のフライアイレンズ2と、第1のフライアイレンズ2のレーザ光の入射側に配置され、第1のフライアイレンズ2の各集光レンズ2aに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第1の光路差調整部材3と、第1のフライアイレンズ3を射出したレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズ4と、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第2のフライアイレンズ6と、第2のフライアイレンズ6のレーザ光の入射側に配置され、第2のフライアイレンズ6の各集光レンズ6aに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第2の光路差調整部材7と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
レーザ光源1から放射されたレーザ光は、二つの反射ミラー11,12で反射されて、第1の光路差調整部材3に入射する。この第1の光路差調整部材3は、第1のフライアイレンズ2の各集光レンズ2aに対応して、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なり屈折率が1よりも大きい複数の透明部材3aを組み合わせて構成したものであるため、第1の光路差調整部材3の複数の透明部材3aを射出するレーザ光は、互いに位相がずれたものとなっている。
2…第1のフライアイレンズ(フライアイレンズ)
2a…第1のフライアイレンズの集光レンズ
3…第1の光路差調整部材(第1の位相差生起手段)
3a…第1の光路差調整部材の透明部材
4…第1のコンデンサーレンズ
5…平行平面回転板
6…第2のフライアイレンズ
6a…第2のフライアイレンズの集光レンズ
7…第2の光路差調整部材(第2の位相差生起手段)
7a…第2の光路差調整部材の透明部材
8…第2のコンデンサーレンズ
9…フォトマスク
10…フォトマスク上の照明領域
Claims (2)
- レーザ光を放射するレーザ光源と、
前記レーザ光の光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、射出光を一旦集光した後、放射状に発散させてレーザ光の断面形状を拡大する第1のフライアイレンズと、
前記第1のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第1のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第1の位相差生起手段と、
前記第1のフライアイレンズを射出し断面形状が拡大されたレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズと、
前記コンデンサーレンズの光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第2のフライアイレンズと、
前記第2のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第2のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第2の位相差生起手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ露光装置。 - 前記コンデンサーレンズのレーザ光の入射側に、光軸に対して傾いて配置され、光軸を中心に回転する透明な平行平面回転板を設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザ露光装置。
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