JP2010181777A - 表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の材料層の積層体からなるバリア層を備えるものであって、該バリア層の光反射率の低減を図るとともに、クラック防止、各層の密着性、バリア性の向上を図った表示装置の提供。
【解決手段】複数の積層された材料層からなるバリア層を挟持する第1材料層と第2材料層を備える表示装置であって、
前記第1材料層、前記バリア層の各材料層、および前記第2材料層のそれぞれの光屈折率は、前記第1材料層から前記第2材料層へかけて、高い方から低い方へ、あるいは低い方から高い方へ、順次変化するように構成され、
前記バリア層の各材料層は、高応力膜と低応力膜を交互に積層させて構成されている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、表示装置に係り、特に、その基板がフレキシブルなプラスチック基板によって構成された表示装置に関する。
このような表示装置は、その基板が、たとえばガラス等で構成されたものと比較し、軽量で、かつ、耐衝撃性および可とう性に優れたものとして構成される。
しかし、基板がプラスチックの場合、ガラス基板に比べ、吸湿性が高く、吸湿がなされると膨張する性質を有することから、プラスチック基板への透湿を阻止するバリア膜を該プラスチック基板の面に形成することが要求される。
そして、前記バリア膜は、該バリア膜と隣接する他の材料との関係で、応力緩和を図ったり、光反射率の低減を図ったりしなくてはならないことから、複数のバリア層からなる積層構造として構成されるのが通常となる。
図11(a)は、低密度膜LDLを低応力膜LFLによって挟持させたたとえば3層構造からなるバリア膜BRLを示し、前記低応力膜LFLを応力緩和層として機能させることによって、該バリア膜のクラックを防止するようにした構成となっている。
図11(b)は、低応力膜LFLと高応力膜HFLを交互に積層させてたとえば5層構造からなるバリア膜BRLを示し、各層の密着性を確保することによってバリア性の向上を図った構成となっている。
図11(c)は、プラスチック基板(屈折率:1.5)SUBとITO(Indium Tin Oxide)からなる透明導電材(屈折率:1.9)TCLとの間にたとえば3層構造からなるバリア層BRLを形成し、該バリア層BRLの各材料層MLの屈折率を、プラスチック基板SUB側から1.6、1.7、1.8としたものである。これにより、プラスチック基板SUBから透明導電材TCLまでの各材料層MLの屈折率を段階的に変化させ、光反射率の低減を図った構成となっている。なお、図11(c)に示す構成は、たとえば下記特許文献1、2に開示がなされている。
特開2000−192246号公報 特開2002−40205号公報
表示装置の場合、画像を映像させる光が前記バリア層を通過してしまうことは免れず、前記バリア層において光反射率の低減を図ることは、信頼性のある画像を得ることが極めて重要となる。光が入射されたバリア層(複数の層からなる積層体)には多重反射が生じ、バリア層に色がついて画像輝度の低下に繋がるからである。
しかし、このために、図11(c)に示した構成をそのまま採用することは、バリア層のクラック防止、および各層の密着性、およびバリア性の観点において優れた効果が得られなくなってしまう。一般的には、層の屈折率を段階的に変化させた場合、層の屈折率が高くなると、それにつれ、密度および応力も高くなる性質を有することから、図11(a)、あるいは図11(c) に示した構成を満足しなくなるからである。
本発明の目的は、複数の材料層の積層体からなるバリア層を備えるものであって、該バリア層の光反射率の低減を図るとともに、クラック防止、各層の密着性、バリア性の向上を図った表示装置を提供することにある。
本発明の構成は、たとえば、以下のようなものとすることができる。
(1)本発明の表示装置は、複数の積層された材料層からなるバリア層を挟持する第1材料層と第2材料層を備える表示装置であって、
前記第1材料層、前記バリア層の各材料層、および前記第2材料層のそれぞれの光屈折率は、前記第1材料層から前記第2材料層へかけて、高い方から低い方へ、あるいは低い方から高い方へ、順次変化するように構成され、
前記バリア層の各材料層は、高応力膜と低応力膜を交互に積層させて構成されていることを特徴とする。
(2)本発明の表示装置は、(1)において、前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層は透明導電膜からなることを特徴とする。
(3)本発明の表示装置は、(1)において、前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層はカラーフィルタからなることを特徴とする。
(4)本発明の表示装置は、(1)において、前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層はシリコン系の絶縁膜からなることを特徴とする。
(5)本発明の表示装置は、(1)において、前記第1材料層は透明導電膜からなり、前記第2材料層は空気層からなることを特徴とする。
(6)本発明の表示装置は、(1)において、前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層は空気層からなることを特徴とする。
(7)本発明の表示装置は、(1)において、前記バリア層の各材料層はシリコン窒化膜系の材料から構成されていることを特徴とする。
(8)本発明の表示装置は、(1)において、液晶表示装置であることを特徴とする。
(9)本発明の表示装置は、(1)において、有機EL表示装置であることを特徴とする。
なお、上記した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、上記した構成以外の本発明の構成の例は、本願明細書全体の記載または図面から明らかにされる。
なお、上記した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、上記した構成以外の本発明の構成の例は、本願明細書全体の記載または図面から明らかにされる。
このように構成した表示装置によれば、複数の材料層の積層体からなるバリア層を備えるものであって、該バリア層の光反射率の低減を図るとともに、クラック防止、各層の密着性、バリア性の向上を図ることができる。
本発明のその他の効果については、明細書全体の記載から明らかにされる。
本発明の表示装置に形成されるバリア層の実施例1を示した断面図である。 本発明の表示装置の実施例1の概略を説明する断面図である。 本発明の表示装置のバリア層を形成するためのCVD装置を示した概略構成図である。 本発明の表示装置のバリア層を形成する手順を示したフロー図である。 本発明の表示装置のバリア層の各材料層の光屈折率と応力との関係を示すグラフである。 本発明の表示装置の実施例2の概略を説明する断面図である。 本発明の表示装置が適用されたポータブルゲーム機の外観図である。 本発明の表示装置が適用された携帯端末の外観図である。 本発明の表示装置が適用されたローラブルテレビの外観図である。 本発明の表示装置が適用された電子広告の外観図である。 従来の表示装置に形成されるバリア層の例を示す断面図である。
本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。なお、各図および各実施例において、同一または類似の構成要素には同じ符号を付し、説明を省略する。
(表示装置の概略構成)
図2は、本発明の表示装置をたとえば液晶表示装置(パネル)を例に挙げて示した概略的な断面図である。
図2において、液晶LCを挟持して基板SUB1および基板SUB2が対向配置されている。基板SUB1および基板SUB2はいずれもフレキシブルな樹脂材からなるプラスチック基板によって形成されている。
基板SUB1の液晶側の面にはバリア層BRL11が形成され、このバリア層BRL11によって基板SUB1への透湿が阻止されるようになっている。このバリア層BRL11の上面には薄膜トランジスタ(図示せず)を含む回路構成層CRLが形成されている。この回路構成層CRLは、マトリックス状に配置された各画素領域に前記液晶LCに電界を生じせしめる一対の電極(画素電極、対向電極)を備え、パターン化された絶縁膜、導電膜、および半導体膜が所定の順次に積層されて構成されている。基板SUB1の液晶と反対側の面にはバリア層BRL12が形成され、このバリア層BRL12によって基板SUB1への透湿が阻止されるようになっている。このバリア層BRL12の上面にはたとえばITO(Indium Tin Oxide)からなる透明導電膜TCL1が形成されている。この透明導電膜TCL1は、表示装置の外部からの電界が液晶LCに影響を与えるのを阻止するシールド膜としての機能を有するようになっている。
基板SUB2の液晶側の面にはバリア層BRL21が形成され、このバリア層BRL21によって基板SUB2への透湿が阻止されるようになっている。このバリア層BRL21の上面にはカラーフィルタCFが形成されている。このカラーフィルタCFは隣接する3個の画素領域にそれぞれ赤、緑、青の各色が施され、該3個の画素領域によってカラー表示用の単位画素を構成するようになっている。なお、色が異なるカラーフィルタCFのそれぞれの境界にはブラックマトリックスと称される遮光膜が形成される場合がある。基板SUB2の液晶と反対側の面にはバリア層BRL22が形成され、このバリア層BRL22によって基板SUB2への透湿が阻止されるようになっている。このバリア層BRL22の上面にはたとえばITO(Indium Tin Oxide)からなる透明導電膜TCL2が形成されている。この透明導電膜TCL2は、表示装置の外部からの電界が液晶LCに影響を与えるのを阻止するシールド膜としての機能を有するようになっている。
なお、図示していないが、前記回路構成層CRLの液晶側の面、およびカラーフィルタCFの液晶側の面には、液晶LCの分子の初期配向方向を決定する配向膜が形成されている。同様に、図示していないが、基板SUB1の透明導電膜TCL1側の面、および基板SUB2の透明東電膜TCL2側の面には、光を偏光させる偏光板が配置されている。
このように構成される液晶表示パネルは、たとえば基板SUB1に対向してバックライトBLが配置され、このバックライトBLからの光Lが、図中矢印に示すように、基板SUB1、液晶LC、基板SUB2を通して、図示しない観測者に至るようになっている。各画素領域における電界に応じ、液晶LCを透過する光の透過率が変化し、これにより、観察者は画像を認識できるようになっている。
(バリア層BRLの構成)
図1は、上述したバリア層BRLの構成を示す断面図である。図1は、図2において、たとえば点線枠Aにおける部分の断面図を示している。すなわち、樹脂材からなる基板SUB2とITOからなる透明導電膜TCL1の間に挟持されてバリア層BRL22を示している。
このバリア層BRL22は、基板SUB2側から、たとえば、材料層ML1、材料層ML2、材料層ML3、材料層ML4、および材料層ML5の順次積層体によって形成されている。これら材料層ML1、材料層ML2、材料層ML3、材料層ML4、および材料層ML5は、いずれもたとえばSiON(シリコン酸窒化膜)系の材料で構成されている。
この場合、材料層ML1は低応力膜とし、材料層ML2は高応力膜とし、材料層ML3は低応力膜とし、材料層ML4は高応力膜とし、材料層ML4は高応力膜として構成されている。すなわち、複数の材料層からなるバリア層BRL22は、低応力膜と高応力膜を交互に配置させて積層されているようになっている。これにより、バリア層BRL22は、クラックを防止でき、各材料層の密着性およびバリア性を向上させることができる。このような低応力膜と高応力膜を形成する方法については後述する。
また、このバリア層BRL22の各材料層は、該バリア層BRL22を間に挟持する前記基板SUB2と透明導電膜TCL1のそれぞれの光屈折率との関係で一方の積層方向に順次光屈折率が変化するように構成されている。たとえば、基板SUB2の光屈折率が1.5、透明導電膜TCL1の光屈折率が1.9とした場合、材料層ML1の光屈折率は1.6、材料層ML2の光屈折率は1.7、材料層ML3の光屈折率は1.75、材料層ML4の光屈折率は1.8、材料層ML5の光屈折率は1.85というように、変化するようになっている。これにより、基板SUB2、材料層ML1、材料層ML2、材料層ML3、材料層ML4、材料層ML5、透明導電膜TCL1の積層体において、基板SUB2から透明導電膜TCL1にかけて、光屈折率が段差的に変化することから、光反射の少ない層構造となっている。
このようなことから、図1に示したバリア層BRL22において、その光反射率の低減を図るとともに、クラック防止、各層の密着性、バリア性の向上を図ることができる。
また、図2の点線枠Bの箇所においても、バリア層BRL21の各材料層MLは、図1に示したと同様の関係となっている。すなわち、該バリア層BRL21は基板SUB2とカラーフィルタCFによって挟持され構成となっていることから、該バリア層BRL21を構成する各材料層MLの光屈折率は、基板SUB2の光屈折率からカラーフィルタCFの光屈折率にかけて、段差的に変化されるようになっている。また、バリア層BRL21の各材料層MLは、低応力膜と高応力膜とが交互に配置された状態で積層されている。
また、図2の点線枠Cの箇所においても、バリア層BRL11の各材料層MLは、図1に示したと同様の関係となっている。すなわち、該バリア層BRL11は基板SUB1と前記回路構成層CRLによって挟持され構成となっており、この場合、該回路構成層CRLの前記バリア層BRL11と当接する層は、たとえばSiN膜等の有機絶縁膜(この明細書ではシリコン系の絶縁膜と称する場合がある)となっているのが通常である。したがって、該バリア層BRL11を構成する各材料層MLの光屈折率は、基板SUB2の光屈折率から前記有機絶縁膜の光屈折率にかけて、段差的に変化されるようになっている。また、バリア層BRL11の各材料層MLは、低応力膜と高応力膜とが交互に配置された状態で積層されている。
さらに、図2の点線枠Dの箇所においても、バリア層BRL12の各材料層MLは、図1に示したと同様の関係となっている。この場合、前記バリア層BRL12は、図1の場合と同様に、樹脂層からなる基板SUB1と透明導電層TCL1との間に挟持される構成となることから、図1に示した構成と同様となる。
この場合、本発明の適用は、図中点線枠AないしDのそれぞれ箇所において全て適用されることは必要ではなく、少なくとも1箇所において適用されていればよい。また、図1に示すバリア層BRL22は、たとえば5層からなる材料層MLの積層体で示したものである。しかし、この材料層MLは5層に限定されることはなく、5層以外の複数の材料層MLからなる積層体であってもよい。
(バリア層の形成方法)
図3は、前記バリア層BRLを形成するための装置で、たとえば誘導結合型プラズマCVD装置を概略的に示した構成図である。
図3において、反応ガスが供給されるチャンバVSがあり、このチャンバVS内にはバリア層を形成する基板(たとえば図1に示した基板SUB2)を基板台PDS上に載置できるようになっている。チャンバVSには該チャンバVS内にプラズマを発生させるための誘導コイルINCおよび高周波透過窓WDが備えられ、前記誘導コイルINCはRF電源(13.56MHz)RFPによって駆動されるようになっている。このような装置において、高密度プラズマによって多くの励起種が発生し、低温での成膜が可能となっている。ここで、この装置を用いて、前記バリア層BRLを形成する際に、必要時において、DC電源DCPによって前記基板台PDSにバイアスを印加できるようになっている。
図4は、図3に示した装置を用いて、基板SUB2上にバリア層BRL22を形成する場合の手順を示したフロー図である。
図4において、まず、ステップS1に示すように、チャンバVS内に、反応ガスとして、たとえばSiH4、N2、O2、NH3を供給する。バリア層BRL22の各材料層をSiON系の材料とするためである。次に、ステップS2に示すように、チャンバVS内の圧力を所定の圧力値(1〜100Pa)になるように制御する。そして、ステップS3に示すように、チャンバVS内を適当なプラズマ雰囲気にするため、RF電源RFPに電力(300〜1200W)を供給し、プラズマ放電を開始する。
その後、ステップ8に至るまで、プラズマ放電を持続させ、バリア層BRL2の各材料層MLを形成する。すなわち、ステップ4に示すように、前記基板台PDSにバイアスを印加しない状態(OV)で、材料層ML1(図中第1層)を形成する。ステップ5に示すように、前記基板台PDSにバイアスを印加した状態(1〜1200V)で、材料層ML2(図中第2層)を形成する。ステップ6に示すように、前記基板台PDSにバイアスを印加しない状態(OV)で、材料層ML3(図中第3層)を形成する。ステップ7に示すように、前記基板台PDSにバイアスを印加した状態(1〜1200V)で、材料層ML4(図中第4層)を形成する。ステップ8に示すように、前記基板台PDSにバイアスを印加しない状態(OV)で、材料層ML5(図中第5層)を形成する。
そして、ステップS9に示すように、RF電源RFPへの電力供給を停止させ、プラズマ放電を停止させる。その後、チャンバVS内へのSiH4、N2、O2、NH3の供給を停止させる。
図5は、上述のようにして形成される材料層ML1(図中第1層)、材料層ML2(図中第2層)、材料層ML3(図中第3層)、材料層ML4(図中第4層)、および材料層ML5(図中第5層)の光屈折率に対する応力(MPa)の関係を示したグラフである。グラフから明らかとなるように、材料層ML1(図中第1層)、材料層ML3(図中第3層)、材料層ML5(図中第5層)は、それぞれ、応力が比較的小さくなっており、材料層ML2(図中第2層)、材料層ML4(図中第4層)は、それぞれ、応力が比較的大きくなっている。応力を小さくさせる場合には、バイアスを印加させない状態で材料層を形成し、応力を大きくさせる場合には、バイアスを印加させた状態で材料層を形成すればよいことが判る。なお、このグラフではバイアスの印加は330Vとした場合を示している。バイアスを印加させた状態で材料層を形成させた場合、図3に示す装置のチャンバVS内の反応が促進され、生成される材料層の密度が緻密に形成できることに基づくものである。また、光屈折率は、材料層ML1(図中第1層)、材料層ML2(図中第2層)、材料層ML3(図中第3層)、材料層ML4(図中第4層)、および材料層ML5(図中第5層)の順番で段差的に大きくなっていることが確かめられる。
以上説明したことから明らかとなるように、本発明による表示装置によれば、複数の層の積層体からなるバリア層において、該バリア層の光反射率の低減を図るとともに、クラック防止、各層の密着性、バリア性の向上を図ることができるようになる。
上述した実施例は、液晶表示装置に本発明を適用させて示したものである。しかし、これに限定されることはなく、たとえば有機EL表示装置のような他の表示装置にも適用することができる。
図6(a)は、有機EL表示装置の概略的な断面図である。図6(a)において、基板SUBがある。この基板SUBはフレキシブルな樹脂材から構成されている。この基板SUBの一方の面(主面)にはバリア層BRL1が形成され、他方の面にはバリア層BRL2が形成されている。基板SUBはこれらバリア層BRL1、バリア層BRL2によって透湿が阻止されるようになっている。バリア層BRL1の上面には薄膜トランジスタ(図示せず)を含む回路構成層CRLが形成されている。この回路構成層CRLは、その上面にマトリックス状に配置された画素領域のそれぞれにカソード電極KTが形成されて構成されている。カソード電極KTの上面には発光層ELが形成され、この発光層ELの上面にはたとえばITO(Indium Tin Oxide)の透明導電膜からなるアノード電極ATが形成されている。このアノード電極ATは各画素領域に共通に形成されている。また、このアノード電極ATの面を被うようにして樹脂材で構成されたプラスチック基板からなる封止基板SSBが配置されている。この封止基板SSBのアノード電極AT側の面にはバリア層BR3が形成され、他方の面にはバリア層BRL4が形成されている。封止基板SSBはこれらバリア層BRL3、バリア層BRL4によって透湿が阻止されるようになっている。
この場合において、点線枠EないしHの箇所におけるバリア層BRLは、図1で示すように複数の材料層MLの積層体によって構成され、それらの光屈折、および応力の関係は図1で示したようになっている。なお、点線枠Eあるいは点線枠Hの箇所において、それぞれ、バリア層RBL4の封止基板SSB側と反対側の面、バリア層BRL2の基板SUB側と反対側の面には、透明導電層(図1では符号TCL1、TCL2で示す)が形成されておらず、大気と接触した状態となっている。この場合、点線枠Eにおけるバリア層RBL4を構成する各材料層MLの光透過率は、該バリア層RBL4が封止基板SSBと空気層で挟持されているものとし、封止基板SSBの光屈折率から空気層の光屈折率へかけて、前記各材料層MLの光透過率を順次段階的に変化させるように設定すればよい。
なお、図6(b)は、有機EL表示装置の他の実施例を示す断面図で、図6(a)と対応させて描いている。図6(b)において、図6(a)の場合と比較して異なる構成は、封止基板SSBとこの封止基板SSBの一方の側に形成されているバリア層RBL4を除去した構成となっている。図6(b)に示すバリア層RBL3を前記封止基板SSBの機能をもたせるように構成したものとなっている。このため、バリア層RBL3は、図中点線枠Iに示すように、該バリア層RBL3のアノード電極ATである透明導電膜と反対側の面が大気と接触した状態となっている。この場合も、点線枠Iにおけるバリア層RBL3を構成する各材料層MLの光透過率は、該バリア層RBL3が透明導電膜と空気層で挟持されているものとし、透明導電膜の光屈折率から空気層の光屈折率へかけて、前記各材料層MLの光透過率を順次段階的に変化させるように設定すればよい。
上述した実施例におけるバリア層BRLは、積層される各材料層MLをたとえばSiONのような絶縁材料から構成したものである。しかし、これら材料層MLのうち少なくとも一つは導電層で形成するようにしてもよい。この導電層はたとえば導電性ポリマー等で構成することができる。
たとえば、図2において回路構成層CRLの下層に形成されるバリア層BRL11において、あるいは、図6(a)、(b)において回路構成層CRLの下層に形成されるバリア層BRL1において、上述した構成とすることにより、回路構成層CRLの薄膜トランジスタのΔVthのシフトを低減できる効果を奏するからである。この場合、前記導電層は接地してもよく、あるいは接地しなくてもよい。いずれも、薄膜トランジスタのΔVthのシフト低減を図ることができるからである。
図7は、本発明の表示装置(パネル)PNLが適用されたポータブルゲーム機を示している。表示装置PNLとしては液晶表示装置、あるいは有機EL表示装置であってもよい。図7に示す表示装置PNLは湾曲していないが、それらの基板SUBは樹脂材等で構成され、軽量で耐衝撃性に優れたものとなっている。
図8は、本発明の表示装置(パネル)PNLが適用された携帯端末を示している。表示装置PNLとしては液晶表示装置、あるいは有機EL表示装置であってもよい。図8に示す表示装置PNLは湾曲して構成されている。この場合、該表示装置PNLの基板SUBのそれぞれの面に形成されるバリア層のそれぞれに、全体的な応力の差を生じるように構成することによって、一方の側への湾曲を生じさせやすくするようにしてもよい。
図9は、本発明の表示装置(パネル)PNLが適用されたいわゆるローラブルテレビを示している。表示装置PNLとしては液晶表示装置、あるいは有機EL表示装置であってもよい。この場合においても、テレビ本体内で表示装置(パネル)PNLが巻かれ易くするため、基板SUBのそれぞれの面に形成されるバリア層のそれぞれに、全体的な応力の差を生じるように構成し、一方の側への湾曲を生じさせやすくするようにしてもよい。
図10は、本発明の表示装置(パネル)PNLが適用された電子広告を示している。表示装置PNLとしては液晶表示装置、あるいは有機EL表示装置であってもよい。図10に示す表示装置PNLは湾曲して構成されている。この場合も、該表示装置PNLの基板SUBのそれぞれの面に形成されるバリア層のそれぞれに、全体的な応力の差を生じるように構成することによって、一方の側への湾曲を生じさせやすくするようにしてもよい。
以上、本発明を実施例を用いて説明してきたが、これまでの各実施例で説明した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、それぞれの実施例で説明した構成は、互いに矛盾しない限り、組み合わせて用いてもよい。
LC……液晶、SUB、SUB1、SUB2……基板、BRL、BRL1、BRL2、BRL3、BRL4、BRL11、BRL12、BRL21、BRL22……バリア層、CRL……回路構成層、TCL1、TCL2……透明導電膜、CF……カラーフィルタ、BL……バックライト、L……光、ML1、ML2、ML3、ML4……材料層、VS……チャンバ、PDS……基板台、INC……誘導コイル、WD……高周波透過窓、RFP……RF電源、KT……カソード電極、EL……発光層、AT……アノード電極、SSB……封止基板。

Claims (9)

  1. 複数の積層された材料層からなるバリア層を挟持する第1材料層と第2材料層を備える表示装置であって、
    前記第1材料層、前記バリア層の各材料層、および前記第2材料層のそれぞれの光屈折率は、前記第1材料層から前記第2材料層へかけて、高い方から低い方へ、あるいは低い方から高い方へ、順次変化するように構成され、
    前記バリア層の各材料層は、高応力膜と低応力膜を交互に積層させて構成されていることを特徴とする表示装置。
  2. 前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層は透明導電膜からなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層はカラーフィルタからなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  4. 前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層はシリコン系の絶縁膜からなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  5. 前記第1材料層は透明導電膜からなり、前記第2材料層は空気層からなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  6. 前記第1材料層はプラスチック基板からなり、前記第2材料層は空気層からなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  7. 前記バリア層の各材料層はシリコン窒化膜系の材料から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  8. 表示装置は液晶表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  9. 表示装置は有機EL表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
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