JP2010171680A - 弾性表面波装置およびその製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010171680A JP2010171680A JP2009011676A JP2009011676A JP2010171680A JP 2010171680 A JP2010171680 A JP 2010171680A JP 2009011676 A JP2009011676 A JP 2009011676A JP 2009011676 A JP2009011676 A JP 2009011676A JP 2010171680 A JP2010171680 A JP 2010171680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- wiring
- surface acoustic
- resin layer
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73257—Bump and wire connectors
Abstract
【解決手段】本発明に係る弾性表面波装置100は、第1の面12を有する基板10と、第1の面12に樹脂層20を介して設けられたインダクタ素子30と、インダクタ素子30と電気的に接続された弾性表面波素子50と、基板10、インダクタ素子30、および弾性表面波素子50を収納するパッケージ60と、を含み、基板10は、第1の面12に形成された第1配線40を有し、第1配線40は、平面的に見て、樹脂層20の周囲を囲み、基板10は、第1の面12がパッケージ60の底面66と対向して収納され、パッケージ60は、当該パッケージ60の底面66であって、第1配線40と対向する領域に設けられた第2配線70を有し、第1配線40と第2配線70とは、接合して配置され、樹脂層20を気密封止する空間82を形成している。
【選択図】図2
Description
第1の面を有する基板と、
前記第1の面に樹脂層を介して設けられたインダクタ素子と、
前記インダクタ素子と電気的に接続された弾性表面波素子と、
前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納するパッケージと、を含み、
前記基板は、前記第1の面に形成された第1配線を有し、
前記第1配線は、平面的に見て、前記樹脂層の周囲を囲み、
前記基板は、前記第1の面が前記パッケージの底面と対向して収納され、
前記パッケージは、当該パッケージの前記底面であって、前記第1配線と対向する領域に設けられた第2配線を有し、
前記第1配線と前記第2配線とは、接合して配置され、前記樹脂層を気密封止する空間を形成している。
前記樹脂層は、当該樹脂層の外縁部に突起部を有し、
前記第1配線は、前記突起部を覆っていることができる。
前記第1配線は、少なくとも前記樹脂層の側面を覆うことができる。
前記基板は、前記第1の面と対向する第2の面を有し、
前記弾性表面波素子は、前記第2の面に固定されていることができる。
前記弾性表面波素子と前記インダクタ素子とは、前記基板に設けられた貫通電極を介して、電気的に接続されていることができる。
前記樹脂層を気密封止する空間は、前記弾性表面波装置の設けられた空間と分離されていることができる。
基板の第1の面に樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層の上方にインダクタ素子を形成する工程と、
前記第1の面に、平面的に見て、前記樹脂層の周囲を囲む第1配線を形成する工程と、
前記インダクタ素子と電気的に接続する弾性表面波素子を設ける工程と、
前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納するパッケージを製造する工程と、
前記パッケージの底面であって、前記第1配線と対向する領域に第2配線を形成する工程と、
前記パッケージに、前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納する工程と、を含み、
前記パッケージに収納する工程は、
前記第1配線と前記第2配線とを接合して、前記樹脂層を気密封止する空間を形成する工程を有する。
前記第1配線を形成する工程は、
前記樹脂層の外縁部に突起部を形成する工程と、
前記突起部を第1配線で覆う工程と、
を有することができる。
まず、本実施形態に係る弾性表面波装置100について説明する。
次に、本実施形態に係る弾性表面波装置100の製造方法について、説明する。
次に本実施形態に係る弾性表面波装置の変形例について説明する。なお、上述した弾性表面波装置100の例と異なる点について説明し、本実施形態に係る弾性表面波装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、同様の点については説明を省略する。
Claims (8)
- 第1の面を有する基板と、
前記第1の面に樹脂層を介して設けられたインダクタ素子と、
前記インダクタ素子と電気的に接続された弾性表面波素子と、
前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納するパッケージと、を含み、
前記基板は、前記第1の面に形成された第1配線を有し、
前記第1配線は、平面的に見て、前記樹脂層の周囲を囲み、
前記基板は、前記第1の面が前記パッケージの底面と対向して収納され、
前記パッケージは、当該パッケージの前記底面であって、前記第1配線と対向する領域に設けられた第2配線を有し、
前記第1配線と前記第2配線とは、接合して配置され、前記樹脂層を気密封止する空間を形成している、弾性表面波装置。 - 請求項1において、
前記樹脂層は、当該樹脂層の外縁部に突起部を有し、
前記第1配線は、前記突起部を覆っている、弾性表面波装置。 - 請求項1において、
前記第1配線は、少なくとも前記樹脂層の側面を覆う、弾性表面波装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記基板は、前記第1の面と対向する第2の面を有し、
前記弾性表面波素子は、前記第2の面に固定されている、弾性表面波装置。 - 請求項4において、
前記弾性表面波素子と前記インダクタ素子とは、前記基板に設けられた貫通電極を介して、電気的に接続されている、弾性表面波装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記樹脂層を気密封止する空間は、前記弾性表面波装置の設けられた空間と分離されている、弾性表面波装置。 - 基板の第1の面に樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層の上方にインダクタ素子を形成する工程と、
前記第1の面に、平面的に見て、前記樹脂層の周囲を囲む第1配線を形成する工程と、
前記インダクタ素子と電気的に接続する弾性表面波素子を設ける工程と、
前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納するパッケージを製造する工程と、
前記パッケージの底面であって、前記第1配線と対向する領域に第2配線を形成する工程と、
前記パッケージに、前記基板、前記インダクタ素子、および前記弾性表面波素子を収納する工程と、を含み、
前記パッケージに収納する工程は、
前記第1配線と前記第2配線とを接合して、前記樹脂層を気密封止する空間を形成する工程を有する、弾性表面波装置の製造方法。 - 請求項7において、
前記第1配線を形成する工程は、
前記樹脂層の外縁部に突起部を形成する工程と、
前記突起部を第1配線で覆う工程と、
を有する、弾性表面波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009011676A JP5176979B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009011676A JP5176979B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010171680A true JP2010171680A (ja) | 2010-08-05 |
JP5176979B2 JP5176979B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=42703378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009011676A Active JP5176979B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5176979B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013114918A1 (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2016068096A1 (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | 株式会社村田製作所 | 受動素子付フィルタ部品および高周波モジュール |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0590884A (ja) * | 1991-09-28 | 1993-04-09 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置及びその実装方法 |
JPH05152881A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-18 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子モジユールの製造方法 |
JP2001504280A (ja) * | 1997-03-05 | 2001-03-27 | ティブルティウス,ベルント | シールディングケースの製造方法 |
JP2001084351A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Icカードの製造方法 |
JP2002290200A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
WO2004109796A1 (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品装置 |
JP2006060563A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Alps Electric Co Ltd | Sawフィルタ |
JP2006128327A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Fujitsu Media Device Kk | 電子部品及びその製造方法 |
JP2007180166A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Seiko Epson Corp | 電子部品、電子部品の製造方法、回路基板及び電子機器 |
JP2008160146A (ja) * | 2008-02-04 | 2008-07-10 | Seiko Epson Corp | 電子部品及びその製造方法、並びに電子機器 |
JP2009010121A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 中空封止素子、その製造方法ならびに中空封止素子を用いた移動通信機器 |
-
2009
- 2009-01-22 JP JP2009011676A patent/JP5176979B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0590884A (ja) * | 1991-09-28 | 1993-04-09 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置及びその実装方法 |
JPH05152881A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-18 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子モジユールの製造方法 |
JP2001504280A (ja) * | 1997-03-05 | 2001-03-27 | ティブルティウス,ベルント | シールディングケースの製造方法 |
JP2001084351A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Icカードの製造方法 |
JP2002290200A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
WO2004109796A1 (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 電子部品装置 |
JP2006060563A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Alps Electric Co Ltd | Sawフィルタ |
JP2006128327A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Fujitsu Media Device Kk | 電子部品及びその製造方法 |
JP2007180166A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Seiko Epson Corp | 電子部品、電子部品の製造方法、回路基板及び電子機器 |
JP2009010121A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 中空封止素子、その製造方法ならびに中空封止素子を用いた移動通信機器 |
JP2008160146A (ja) * | 2008-02-04 | 2008-07-10 | Seiko Epson Corp | 電子部品及びその製造方法、並びに電子機器 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013114918A1 (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN104067515A (zh) * | 2012-01-30 | 2014-09-24 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
JPWO2013114918A1 (ja) * | 2012-01-30 | 2015-05-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US9166556B2 (en) | 2012-01-30 | 2015-10-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
CN104067515B (zh) * | 2012-01-30 | 2016-08-24 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2016068096A1 (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | 株式会社村田製作所 | 受動素子付フィルタ部品および高周波モジュール |
JPWO2016068096A1 (ja) * | 2014-10-30 | 2017-08-10 | 株式会社村田製作所 | 受動素子付フィルタ部品および高周波モジュール |
US10236859B2 (en) | 2014-10-30 | 2019-03-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter component with passive element and radio-frequency module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5176979B2 (ja) | 2013-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11277114B2 (en) | Elastic wave device and manufacturing method therefor | |
JPWO2006001125A1 (ja) | 圧電デバイス | |
KR102653201B1 (ko) | 음향파 디바이스 및 그 제조방법 | |
KR20060128640A (ko) | 반도체 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 전자 부품, 회로기판, 및 전자 기기 | |
JP2006109400A (ja) | 電子部品、回路基板、電子機器、電子部品の製造方法 | |
JP5277971B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JP2008131549A (ja) | 水晶振動デバイス | |
KR100476564B1 (ko) | 수정진동자 세라믹 패키지 | |
JPWO2016158744A1 (ja) | 電子部品 | |
US9035535B2 (en) | Acoustic wave device and multilayered substrate | |
KR102611168B1 (ko) | 음향파 디바이스 및 그 제조방법 | |
JP2012090202A (ja) | 圧電デバイス、圧電発振器 | |
JP5170282B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP5176979B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法 | |
JP2016201780A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2005012751A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2007027211A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2019103127A (ja) | 弾性波装置 | |
JP2007235289A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2011023929A (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
JP4704819B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP5338575B2 (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
CN114208027A (zh) | 压电振动板、压电振动器件以及压电振动器件的制造方法 | |
JP7344290B2 (ja) | 弾性波装置及び弾性波装置の製造方法 | |
JP2013140874A (ja) | 電子デバイス、セラミック基板、製造方法、及び圧電発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111011 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5176979 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |